液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置制造方法
液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置制造方法
【专利摘要】本发明提供能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及具备该液体喷射头的液体喷射装置。其特征在于：在致动器基板（2）的第一主面（F1）中的＋X侧的端部（21），设有多个与个别电极（12b）连接的个别电极用焊盘（15），在致动器基板（2）的第一主面（F1）中比个别电极用焊盘（15）靠近－X侧，设有多个与公共电极（12a）连接的公共电极用焊盘（16），在致动器基板（2）的第一主面（F1）中个别电极用焊盘（15）与公共电极用焊盘（16）之间，沿着Y方向形成有槽部（20）。
【专利说明】液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置。
【背景技术】
[0002]一直以来，作为向记录纸等的被记录介质喷射墨等的液体、记录字符、图形等的装置，已知从多个喷嘴孔向被记录介质喷射液体的、具备所谓喷墨方式的液体喷射头的液体喷射记录装置。
[0003]作为液体喷射头，已知具备:吐出通道，从基板表面的前方端起向后方端的方向细长，互相通过隔壁来分隔，在与所述方向交叉的宽度方向排列；驱动电极，包含形成于隔壁的侧面的公共电极及个别电极；致动器基板，与驱动电极电连接，具有形成于基板表面的后方端附近的引出电极；以及柔性基板，粘接于基板表面的后方端附近，具有与引出电极电连接的布线电极，通过对驱动电极施加驱动电压，使吐出通道的侧面变形从而提高吐出通道内的压力，使吐出通道内的墨从喷嘴孔喷射。
[0004]形成在柔性基板上的布线电极，由与形成于吐出通道的侧面的公共电极连接的公共布线电极、和与形成于非吐出通道的侧面的个别电极连接的个别布线电极构成。为了将在宽度方向上并列地排列的多个吐出通道的公共电极互相电连接而设为GND电位，柔性基板的公共布线电极沿着宽度方向被形成为长条。
[0005]然而，在上述构成的液体喷射头中，将柔性基板粘接于致动器基板表面的后方端附近时，柔性基板的公共布线电极和形成于致动器基板的非吐出通道的侧面的个别电极会交叉。而且，在交叉的公共布线电极和个别电极接触而短路的情况下，不能向驱动电极施加驱动电压，无法从喷嘴孔喷射液体。
[0006]为了解决上述问题，例如在专利文献I中，记载了在公共布线电极和驱动电极(个别电极)交叉的公共布线交叉区域中，沿深度方向切削致动器基板表面和构成非吐出通道的槽的侧面之间的角部而形成倒角部，个别电极的上端部形成在比基板表面更深的位置的液体喷射头。依据该构成，使个别电极的上端部从抵接在致动器基板表面的柔性基板上的公共布线电极分离，能够电隔离公共布线电极和个别电极，因此使公共布线电极和个别电极不会电短路。
[0007]现有技术文献 专利文献
专利文献1:日本特开2012 — 101437号公报。
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
但是，现有技术的液体喷射头，切削构成非吐出通道的两个隔壁的侧面和上表面之间的角部而形成倒角部，这需要对多个非吐出通道分别进行切削加工，因此有增大制造工时的倾向。因而，在削减制造工时而进行的低成本化方面有进一步改善的余地。[0009]因此，本发明的课题是提供能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及具备该液体喷射头的液体喷射装置。
[0010]用于解决课题的方案
为了解决上述的课题，本发明的液体喷射头，具备:致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道；公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面，所述液体喷射头的特征在于，所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。
[0011]依据本发明，由于在致动器基板的第一主面中的个别电极用焊盘与公共电极用焊盘之间，沿着宽度方向形成有槽部，所以在将外部基板连接于致动器基板时，通过在与致动器基板的槽部对应的位置配置外部基板的布线，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘接触。因而，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路。此外，仅仅形成槽部，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。
[0012]此外，本发明的特征在于，具备与所述致动器基板连接的外部基板，所述外部基板具备多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子、和多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子，在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间，与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。
[0013]依据本发明，由于在与致动器基板连接的外部基板，与致动器基板的槽部对应的位置，形成有将多个公共电极用端子互相连接的连接布线，所以在将外部基板连接到致动器基板时，能够可靠地在与致动器基板的槽部对应的位置配置外部基板的连接布线。因而，能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路。此夕卜，仅仅形成槽部，能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。
[0014]此外，本发明的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部，所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。
[0015]依据本发明，由于浅槽部从吐出通道的一侧的端部向致动器基板的一侧的端面而形成，所以例如在用切削加工来形成吐出通道时，能够仅改变切削深度而形成浅槽部。因而，能以与吐出通道的形成工序相同的工序简单地形成浅槽部。此外，槽部形成为与浅槽部交叉，因此在浅槽部内成膜电极材料后，例如用切削加工来将槽部形成为与浅槽部交叉，从而利用槽部来截断成膜在浅槽部内的电极材料，能够简单地形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘。如此，无需使用掩模而能够形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘，因此能以低成本形成能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路的液体喷射头。
[0016]此外，本发明的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。
[0017]依据本发明，由于在致动器基板的第一主面中的一侧的边缘部形成有下降一级的台阶部，所以在致动器基板的第一主面连接外部基板时，能够抑制致动器基板的第一主面中的一侧的边缘部与外部基板接触。因而，能够抑制外部基板的损伤。
[0018]此外，本发明的特征在于，由所述致动器基板的所述第一主面和所述致动器基板的所述一侧的端面形成的角部被施以倒角。
[0019]依据本发明，由于由致动器基板的第一主面和致动器基板的一侧的端面形成的角部被施以倒角，所以在致动器基板的第一主面连接外部基板时，即便致动器基板的被施以倒角的部分和外部基板接触的情况下，也能抑制外部基板的损伤。
[0020]此外，本发明的特征在于，所述吐出通道和所述非吐出通道在所述宽度方向交互并列地排列。
[0021]依据本发明，能够适宜地向吐出通道和非吐出通道在宽度方向交互地并列而排列的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。
[0022]此外，本发明的特征在于，所述喷嘴孔位于所述吐出通道的所述另一侧的端部。
[0023]依据本发明，能够适宜地向所谓边缘发射型的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。
[0024]此外，本发明的特征在于，所述喷嘴孔在所述致动器基板的第二主面侧位于所述吐出通道中所述长边方向的中间部。
[0025]依据本发明，能够适宜地向所谓边缘发射型的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。
[0026]此外，本发明的特征在于，所述非吐出通道从所述致动器基板的所述一侧的端面遍及所述另一侧的端面而形成，所述个别电极用焊盘以横跨相邻的所述非吐出通道的方式形成。
[0027]依据本发明，由于个别电极用焊盘以横跨相邻的非吐出通道的方式形成，所以能够较宽地确保个别电极用焊盘的表面积。由此，无需进行外部基板的精密的定位而能够容易将外部基板上的端子(个别电极用端子)连接到个别电极用焊盘。而且，由于能够较宽地确保个别电极用焊盘的截面积，所以能够抑制个别电极用焊盘的电阻，能够做成电效率良好的液体喷射头。
[0028]此外，本发明的特征在于，所述公共电极用焊盘及所述个别电极用焊盘的宽度，分别与所述吐出通道的宽度相等。
[0029]依据本发明，由于公共电极用焊盘及个别电极用焊盘的宽度分别与吐出通道的宽度相等，所以能够极力缩窄公共电极用焊盘及个别电极用焊盘的宽度。由此，能够将液体喷射头窄幅化。[0030]此外，本发明的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备:掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料；掩模形成工序，进行所述掩模材料的构图，形成至少所述个别电极用焊盘及所述公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模；通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道；电极成膜工序，成膜电极材料；掩模材料除去工序,除去所述掩模材料；以及槽部形成工序，形成所述槽部。
[0031]依据本发明，由于在掩模形成工序之后，具备成膜电极材料的电极成膜工序，所以能够以所希望的形状进行掩模材料的构图而形成掩模，并成膜所希望形状的电极材料。此夕卜，由于具备槽部形成工序，所以例如仅进行切削加工而能够形成槽部。由此，在致动器基板连接外部基板时，在致动器基板的与槽部对应的位置，能够配置外部基板的布线。因而，能得到能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路的低成本的液体喷射头。
[0032]此外，本发明的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备:掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料；通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道；电极成膜工序，成膜电极材料；掩模材料除去工序,除去所述掩模材料；以及槽部形成工序，形成所述槽部，在所述通道形成工序中，在所述吐出通道的所述一侧，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部。
[0033]依据本发明，由于掩模材料成膜工序之后，具备在压电体基板形成吐出通道和非吐出通道的通道形成工序，所以在例如用切削加工形成吐出通道和非吐出通道时，能够以切削加工除去与各通道对应的掩模材料。由此，在之后的电极成膜工序中，能够在从掩模材料露出的与各通道对应的区域成膜电极材料，所以无需使用例如用光刻技术等来构图的掩模而成膜电极材料，能够形成公共电极及个别电极。而且，在通道形成工序中，形成比吐出通道的深度浅的浅槽部，因此在之后的电极成膜工序中，也能在从掩模材料露出的与浅槽部对应的区域成膜电极材料。而且，具备形成槽部的槽部形成工序，因此例如用切削加工以与浅槽部交叉的方式形成槽部，从而用槽部来截断成膜在浅槽部内的电极材料，能够简单地形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘。如此，无需构图掩模材料而能够形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘，因此能够简化液体喷射头的制造方法。因而，能以低成本形成能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路的液体喷射头。
[0034]此外，本发明的液体喷射装置，其特征在于，具备:上述的液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
[0035]依据本发明，由于具备能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头，所以能够得到可靠性高的低成本的液体喷射装置。
[0036]发明效果
依据本发明，由于在致动器基板的第一主面中的个别电极用焊盘与公共电极用焊盘之间沿着宽度方向形成槽部，所以在将外部基板连接到致动器基板时，通过在致动器基板的与槽部对应的位置配置外部基板的布线，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘接触。因而，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路。此外，仅仅形成槽部，就能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。
【专利附图】
【附图说明】
[0037]图1是第一实施方式所涉及的液体喷射头的示意分解立体截面图；
图2是第一实施方式所涉及的致动器基板的立体图；
图3是表示在第一实施方式所涉及的液体喷射头的致动器基板安装柔性基板的状态的平面图；
图4是分解第一实施方式所涉及的致动器基板和盖板和柔性基板时的沿着图3的A —A线的侧截面图；
图5是表示第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图；
图6是第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图；
图7是第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的槽部形成工序的说明图；
图8是第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板的立体图；
图9是具备第一实施方式所涉及的液体喷射头的液体喷射装置的说明图；
图10是表示在第二实施方式所涉及的液体喷射头的致动器基板安装柔性基板的状态的平面图；
图11是分解第二实施方式所涉及的致动器基板和盖板和柔性基板时的沿图10的B —B线的侧截面图；
图12是表示第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图； 图13是第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图；
图14是第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的槽部形成工序的说明图。
【具体实施方式】
[0038](第I实施方式)
以下，利用【专利附图】
【附图说明】本发明的第一实施方式。
[0039]图1是第一实施方式所涉及的液体喷射头的示意分解立体截面图。
[0040]如图1所示，液体喷射头I具备致动器基板2、盖板3、喷嘴板4、和柔性基板25(相当于权利要求的“外部基板”。)。此外，为了易于理解，图1中用双点划线示出柔性基板25的基板部25a。
[0041]致动器基板2被壁部5隔开，排列了多个包含开口于第一主面Fl的吐出通道6a及非吐出通道6b的通道6。
[0042]盖板3以覆盖通道6的第一主面Fl侧的开口 7的方式设置在致动器基板2，在通道6的长边方向的一侧具有向吐出通道6a供给液体的液体供给室9。
[0043]柔性基板25粘接于致动器基板2的第一主面Fl的表面中通道6的长边方向的一侧的端部21。
[0044]喷嘴板4具备与吐出通道6a连通的喷嘴孔4a，在致动器基板2的另一侧的端部22中，与致动器基板2的另一侧的端面2b接合。喷嘴孔4a位于吐出通道6a的长边方向的另一侧的端部22，能够吐出液体。此外，喷嘴孔4a不与非吐出通道6b连通。因而，非吐出通道6b不能吐出液体。[0045]再者，在以下说明中，将通道6延伸的长边方向设为X方向，将配置液体供给室9的一侧设为+ X侧，将相反的另一侧设为一 X侧。此外，将第一主面Fl上与X方向正交的通道6的宽度方向设为Y方向，将图1中纸面左侧设为一 Y侧，将图1中纸面右侧设为+Y侦U。此外，将与X方向及Y方向正交的方向设为Z方向，将第一主面Fl侧设为+Z侧，将与第一主面Fl相反的第二主面F2侧设为一 Z侧。以下，根据需要利用XYZ的正交坐标系，详细说明液体喷射头I的各构成部件。
[0046](致动器基板)
以下，详细说明液体喷射头I的各构成部件。
[0047]图2是致动器基板2的立体图。此外，为了易于理解，在图2中以双点划线示出柔性基板25的基板部25a。
[0048]如图2所示，致动器基板2利用沿Z方向实施极化处理的压电体材料例如PZT陶瓷等，形成为大体矩形板状。在致动器基板2的第一主面Fl中+X侧的边缘部21a，形成有在一 Z侧下降一级的台阶部24。
[0049]致动器基板2的通道6通过将吐出通道6a和非吐出通道6b沿与Y方向交互并列地排列而形成。
[0050]吐出通道6a从致动器基板2的+ X侧端面2a的跟前遍及致动器基板2的一 X侧端面2b而延伸。吐出通道6a的+ X侧的端部以从致动器基板2的一 Z侧(第二主面F2侧)向+ Z侧(第一主面Fl侧)切上来的方式倾斜地形成。
[0051]非吐出通道6b从致动器基板2的+ X侧端面2a遍及致动器基板2的一 X侧端面2b而延伸。
[0052]在液体喷射头I的致动器基板2的壁部5的侧面，形成有驱动电极12。
[0053]驱动电极12包含:在壁部5的侧面中形成在吐出通道6a的侧面5a的公共电极12a ;和在壁部5的侧面中设置在非吐出通道6b的侧面5b的个别电极12b。
[0054]公共电极12a从面对吐出通道6a的一对壁部5、5的侧面5a、5a中的+ X侧的端部遍及一 X侧的端部，沿着X方向延伸，形成为大致带状。
[0055]个别电极12b从面对非吐出通道6b的一对壁部5、5的侧面5b、5b中的+ X侧的端部遍及一 X侧的端部，沿着X方向延伸，形成为大致带状。
[0056]公共电极12a及个别电极12b分别在吐出通道6a及非吐出通道6b的比Z方向(SP吐出通道6a及非吐出通道6b的深度方向)的中间部靠近+ Z侧的区域形成。
[0057]在致动器基板2的第一主面Fl的+X侧的端部21，设有多个个别电极用焊盘15。个别电极用焊盘15在致动器基板2的+ X侧的端部21中，形成在第一主面Fl及台阶部24的表面。本实施方式中的个别电极用焊盘15，以横跨相邻的非吐出通道6b、6b的方式形成。个别电极用焊盘15在致动器基板2的+ X侧的端部21中，电连接形成在相邻的非吐出通道6b,6b的壁部5的侧面5b的个别电极12b、12b。
[0058]在致动器基板2的第一主面Fl中比个别电极用焊盘15靠近一 X侧，设有多个公共电极用焊盘16。公共电极用焊盘16在第一主面Fl上与吐出通道6a的+ X侧的端部连接而形成。本实施方式中的公共电极用焊盘16在Y方向的宽度，大于吐出通道6a在Y方向的宽度，且小于相邻的非吐出通道6b、6b的分离距离。公共电极用焊盘16在致动器基板2的第一主面Fl上的吐出通道6a的+ X侧的端部中，电连接形成在吐出通道6a的对置的侧面5a、5a的公共电极12a、12a。
[0059]在此，在致动器基板2的第一主面Fl中个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，以与非吐出通道6b正交的方式沿着Y方向形成有一条槽部20。槽部20在X方向具有既定的宽度，并且在Z方向具有既定的深度，遍及致动器基板2的第一主面Fl中整个Y方向而形成。
[0060]槽部20在X方向的宽度被形成为大于形成在柔性基板25的后述的连接布线26在X方向的宽度。
[0061]此外，槽部20在Z方向的深度形成为浅于壁部5的侧面中驱动电极12在Z方向的形成深度。由此，在壁部5的侧面中无需截断驱动电极12而能够形成槽部20。
[0062]盖板3例如用与致动器基板2相同的材料即PZT陶瓷等，形成为大体矩形板状。此夕卜，形成盖板3的材料并不限定于PZT陶瓷，例如，也可以用可切削陶瓷和其他陶瓷、玻璃等的低电介质材料。但是，通过用相同的材料形成盖板3和致动器基板2，能够使热膨胀相等，因此能够抑制液体喷射头I相对温度变化的翘曲、变形。在盖板3的液体供给室9，在其底部形成有多个狭缝9a。狭缝9a在与吐出通道6a对应的位置中，液体供给室9的底部沿Z方向贯通而形成，沿着X方向延伸，并且在Y方向并列地设置。液体供给室9经由狭缝9a，与吐出通道6a的+ X侧的端部连通。此外，液体供给室9不与非吐出通道6b连通。
[0063](柔性基板)
图3是表示在液体喷射头I的致动器基板2安装柔性基板25的状态的平面图。此外，为了易于理解，图3中以双点划线示出柔性基板25的基板部25a。
[0064]图4是分解致动器基板2和盖板3和柔性基板25时的沿着图3的A — A线的侧截面图。
[0065]如图3所示，柔性基板25是具有例如用以聚酰亚胺等为主成分的树脂材料形成的基板部25a的膜状的具有可挠性的部件。
[0066]如图4所示，柔性基板25在一 Z侧主面25b分别具备多个个别电极用端子27和公共电极用端子28。
[0067]如图3所示，个别电极用端子27从柔性基板25的+ X侧的端部遍及与个别电极用焊盘15对应的位置，沿着X方向形成为大致带状。相邻的多个个别电极用端子27的间距大致与相邻的多个吐出通道6a的间距相同。此外，个别电极用端子27在Y方向的宽度，小于个别电极用焊盘15在Y方向的宽度。
[0068]公共电极用端子28在比个别电极用端子27靠近一 X侧从与槽部20对应的位置遍及与公共电极用焊盘16对应的位置，沿着X方向形成为大致带状。相邻的多个公共电极用端子28的间距大致与相邻的多个吐出通道6a及多个个别电极用端子27的间距相同。
[0069]此外，在柔性基板25的一 Z侧主面25b (参照图4)，形成有连接布线26。连接布线26在个别电极用端子27与公共电极用端子28之间，致动器基板2的与槽部20对应的位置，沿着Y方向形成为大致带状。连接布线26将多个公共电极用端子28的+ X侧的端部互相电连接。
[0070]连接布线26在X方向的宽度，被形成为充分小于槽部20在X方向的宽度。此外，如图4所示，连接布线26在Z方向的厚度，被形成为薄于槽部20在Z方向的深度。由此，连接布线26在槽部20中不与致动器基板2接触地被配置。因而，连接布线26不与致动器基板2的个别电极用焊盘15及形成在壁部5的侧面的驱动电极12接触，配置在与槽部20对应的位置。
[0071]如图3所示，在连接布线26的Y方向的两端，沿着X方向形成有向柔性基板25的+ X侧的端部延伸的连接布线端子26a(图3中，仅示出+ Y侧的连接布线端子26a)。连接布线端子26a经由未图示的印刷布线等与GND连接。
[0072]柔性基板25例如用导电性粘接剂等，粘接个别电极用端子27和致动器基板2的个别电极用焊盘15，并且粘接公共电极用端子28和致动器基板2的公共电极用焊盘16，从而电性及机械连接到致动器基板2的第一主面Fl中的+X侧的端部21。在此，如图4所示，在致动器基板2的第一主面Fl中的+ X侧的边缘部21a，形成有在一 Z侧下降一级的台阶部24，因此在致动器基板2的第一主面Fl连接柔性基板25时，能抑制柔性基板25与致动器基板2的第一主面Fl中的+ X侧的边缘部21a的接触。
[0073](液体喷射头的制造方法)
接着，对上述的第一实施方式所涉及的液体喷射头I的制造方法进行说明。
[0074]图5是表示第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图。图6是液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图。此外，图6中的XYZ的正交坐标系，与图1至图4中的XYZ的正交坐标系对应。此外，图6 (a)?(c)与沿着图3的A —A线的侧截面图对应，图6 (d)?(f)与沿着从一 X侧观看压电体基板50 (致动器基板2)时的YZ平面的截面图对应。此外，关于以下的液体喷射头的制造方法的说明中的各符号，参照图6之外，还请参照图1至图4的各图。
[0075]如图5所示，第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法，主要具备:基板准备工序S10、掩模材料成膜工序S12、掩模形成工序S14、通道形成工序S16、电极成膜工序S18、掩模材料除去工序S20、槽部形成工序S22、盖板接合工序S24、喷嘴板接合工序S26、和柔性基板粘接工序S28。以下，对各工序SlO?S28进行说明。
[0076]在基板准备工序SlO中，如图6 (a)所示，准备后面成为致动器基板2的压电体基板50。作为压电体基板50的材料，适合沿Z方向被实施极化处理的压电体材料、例如PZT陶瓷。
[0077]接着，在掩模材料成膜工序S12中，如图6 (b)所示，在压电体基板50的第一主面Fl上，成膜例如用感光性树脂构成的掩模材料55。
[0078]接着，在掩模形成工序S14中，如图6 (b)所示，利用光刻技术，除去例如形成个别电极用焊盘15、公共电极用焊盘16等的电极的区域的掩模材料55，保留不形成电极的区域的掩模材料55，从而进行掩模材料55的构图。由此，形成个别电极用焊盘15及公共电极用焊盘16的形成区域开口的掩模55a。
[0079]接着，在通道形成工序S16中，如图6 (C)所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成通道6。具体而言，从压电体基板50的+ X侧端面50a的跟前遍及压电体基板50的一 X侧端面50b，将压电体基板50的第一主面Fl连同掩模材料55进行切削加工，从而形成吐出通道6a。此外，从压电体基板50的+ X侧端面50a遍及压电体基板50的一 X侧端面50b，将压电体基板50的第一主面Fl连同掩模材料55进行切削加工，形成非吐出通道6b。此外，在图6 (c)中，示出形成吐出通道6a的状态。然后，如图6 Cd)所示，形成沿Y方向交互并列的多个吐出通道6a及非吐出通道6b。[0080]此外，在通道形成工序S16中，如图6 (C)所示，在形成通道6之外，在压电体基板50的第一主面Fl侧的+ X侧的边缘部51a形成台阶部24。台阶部24与通道6同样，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工来形成。具体而言，在形成通道6时使切割刀D沿X方向移动，在形成台阶部24时使切割刀D沿Y方向移动。
[0081]接着，在电极成膜工序S18中，如图6 (e)所示，从相对于Z方向在+ Y侧及一 Y侧分别倾斜既定角度Θ的方向，向压电体基板50的第一主面F1，用斜蒸镀法蒸镀电极材料56。由此，在壁部5的两侧面5a、5b中，在吐出通道6a及非吐出通道6b的比Z方向的中间部靠近+ Z侧的区域成膜电极材料56。
[0082]接着，在掩模材料除去工序S20中，例如用剥离法来除去掩模55a (掩模材料55)，同时除去掩模55a上的电极材料56。由此，如图6 (f)所示，在壁部5的两侧面5a、5b沉积的电极材料56 (参照图6 (e))分离，形成公共电极12a及个别电极12b。
[0083]图7是槽部形成工序的说明图。
[0084]接着，在槽部形成工序S22中，如图7所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成槽部20。具体而言，在个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，遍及整个Y方向而沿着Y方向的方式移动切割刀D，同时对压电体基板50的第一主面Fl进行切削加工。由此，在压电体基板50的第一主面Fl中的个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，以与非吐出通道6b正交的方式沿着Y方向形成有一条槽部20。在形成槽部20的时间点，完成致动器基板2。
[0085]接着，在盖板接合工序S24中，如图4所示，例如用粘接剂等来将盖板3接合于致动器基板2的第一主面Fl。盖板3的液体供给室9通过形成在其底部的狭缝9a而与吐出通道6a连通。由此，在吐出通道6a中能从液体供给室9供给液体。此外，如图3所示，非吐出通道6b被盖板3的底面堵塞，不与液体供给室9连通。因此，在非吐出通道6b中不能从液体供给室9供给液体。
[0086]接着，在喷嘴板接合工序S26中，如图1所示，例如用粘接剂等来将喷嘴板4接合于致动器基板2的一 X侧端面2b。由此，喷嘴孔4a位于吐出通道6a的一 X侧的端部，并且与吐出通道6a连通，能够吐出吐出通道6a内的液体。
[0087]接着，在柔性基板粘接工序S28中，如图4所示，例如经由未图示的各向异性导电性粘接剂等来将柔性基板25粘接到致动器基板2的第一主面Fl中的十X侧的端部21。此时，粘接柔性基板25的个别电极用端子27与致动器基板2的个别电极用焊盘15，并且粘接柔性基板25的公共电极用端子28与致动器基板2的公共电极用焊盘16。由此，柔性基板25的个别电极用端子27与致动器基板2的个别电极用焊盘15被电性及机械连接，柔性基板25的公共电极用端子28与致动器基板2的公共电极用焊盘16被电性及机械连接。
[0088]此时，以使柔性基板25的连接布线26配置在致动器基板2的与槽部20对应的位置的方式，将柔性基板25粘接于致动器基板2。由此，连接布线26在槽部20中不与致动器基板2接触地被配置。在将柔性基板25粘接于致动器基板2的时间点，结束液体喷射头I的制造工序。
[0089](第一实施方式的效果)
依据第一实施方式，在致动器基板2的第一主面Fl中的个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，沿着Y方向形成有槽部20，因此在将柔性基板25连接到致动器基板2时，将柔性基板25的连接布线26配置在致动器基板2的与槽部20对应的位置，从而能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15接触。因而，能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及连接到个别电极用焊盘15的个别电极12b的电短路。此外，仅形成槽部20就能防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头I。
[0090]此外，在连接到致动器基板2的柔性基板25，致动器基板2的与槽部20对应的位置，形成有将多个公共电极用端子28互相连接的连接布线26，因此在将柔性基板25连接于致动器基板2时，在致动器基板2的与槽部20对应的位置，能够可靠地配置柔性基板25的连接布线26。因而，能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路。此外，仅形成槽部20就能防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路，因此能够得到低成本的液体嗔射头I。
[0091]此外，在致动器基板2的第一主面Fl的+X侧的边缘部21a，形成有下降一级的台阶部24，因此在将柔性基板25连接于致动器基板2的第一主面Fl时，能够抑制致动器基板2的第一主面Fl中的+ X侧的边缘部21a与柔性基板25接触。因而，能够抑制柔性基板25的损伤。
[0092]此外，能够适宜将能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15的电短路的低成本的液体喷射头I的构成适用于吐出通道6a和非吐出通道6b在Y方向交互并列地排列的液体喷射头I。
[0093]此外，能够适宜将能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15的电短路的低成本的液体喷射头I的构成适用于所谓边缘发射型的液体喷射头I。
[0094]此外，个别电极用焊盘15以横跨相邻的非吐出通道6b、6b的方式形成，因此能够较宽地确保个别电极用焊盘15的表面积。由此，能够无需进行柔性基板25的精密定位而容易将柔性基板25上的个别电极用端子27连接到个别电极用焊盘15。而且，能够较宽地确保个别电极用焊盘15的截面积，并能抑制个别电极用焊盘15的电阻，因此能够做成电效率良好的液体喷射头I。
[0095]此外，在掩模形成工序S14之后，具备成膜电极材料56的电极成膜工序S18，因此以所希望的形状进行掩模材料55的构图而形成掩模55a，能够以所希望的形状成膜电极材料56。此外，由于具备槽部形成工序S22，所以例如仅做切削加工就能形成槽部20。由此，在向致动器基板2连接柔性基板25时，在致动器基板2的与槽部20对应的位置，能够配置柔性基板25的连接布线26。因而，能得到能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及连接到个别电极用焊盘15的个别电极12b的电短路的低成本的液体喷射头I。
[0096](第一实施方式的变形例)
图8是第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2的立体图。
[0097]接着，对第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2进行说明。此外，以下对与第一实施方式同样的构成部分省略说明，仅对不同的部分进行说明。[0098]第一实施方式的致动器基板2将个别电极用焊盘15形成为在致动器基板2的第一主面Fl上横跨相邻的非吐出通道6b、6b (参照图2)。
[0099]与之相对，如图8所示，第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2，个别电极用焊盘15在致动器基板2的第一主面Fl上，相邻的非吐出通道6b、6b之间形成。如此，个别电极用焊盘15的形成范围不限定于第一实施方式。
[0100]而且，第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2中，由致动器基板2的第一主面Fl和致动器基板2的+ X侧端面2a形成的角部，成为以曲面状R倒角的倒角部2c。如此，依据第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2，由于由致动器基板2的第一主面Fl和致动器基板2的+ X侧端面2a形成的角部被施以倒角，所以在柔性基板25连接到致动器基板2的第一主面Fl时，即便致动器基板2的倒角部2c与柔性基板25接触的情况下，也能抑制柔性基板25的损伤。
[0101](液体喷射装置)
图9是具备第一实施方式所涉及的液体喷射头I的液体喷射装置30的说明图。
[0102]如图9所示，液体喷射装置30具备多个(本实施方式中为4个)液体喷射头1、向液体喷射头I供给液体的液体供给管35、向液体供给管35供给液体的液体泵33及多个(本实施方式中为4个)液体罐34。各液体喷射头I具备多个头芯片，从喷嘴孔4a (参照图1)吐出液体。作为液体泵33，设置向液体供给管35供给液体的供给泵。此外，也有设置未图示的压力传感器、流量传感器，控制液体流量的装置。
[0103]此外，液体喷射装置30具备:将纸等的被记录介质44沿主扫掠方向输送的一对输送单元41、42 ;承载液体喷射头I的滑动架单元43 ;以及使液体喷射头I沿与主扫掠方向正交的副扫掠方向扫掠的移动机构40。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、移动机构40及输送单元41、42。
[0104]一对输送单元41、42具备沿副扫掠方向延伸的、使滚筒面接触并旋转的栅格辊和夹送辊。通过未图示的电动机来使栅格辊和夹送辊绕轴转移并将夹入滚筒间的被记录介质44沿主扫掠方向输送。移动机构40具备:沿副扫掠方向延伸的一对导向轨36、37 ;能够沿着一对导向轨36、37滑动的滑动架单元43 ;连结滑动架单元43并向副扫掠方向移动的无接头带38 ;以及使该无接头带38经由未图示的滑轮而回转的电动机39。
[0105]滑动架单元43承载多个液体喷射头1，吐出例如黄色、深红色、青绿色、黑色这4种液体。液体罐34储存对应颜色的液体，经由液体泵33及液体供给管35向液体喷射头I供给。各液体喷射头I响应驱动信号吐出各色的液体。通过控制从液体喷射头I吐出液体的定时、驱动滑动架单元43的电动机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意图案。
[0106]此外，本实施方式是移动机构40移动滑动架单元43和被记录介质44并记录的液体喷射装置30，但是也可以代替为，固定滑动架单元43，移动机构40以二维地移动被记录介质44并记录的液体喷射装置。即，移动机构只要使液体喷射头I和被记录介质44相对移动即可。
[0107]依据本实施方式的液体喷射装置30，由于具备能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15的电短路的低成本的液体喷射头1，所以能够得到可靠性高的低成本的液体喷射装置30。[0108](第二实施方式)
图10是表示在第二实施方式所涉及的液体喷射头I的致动器基板2安装柔性基板25的状态的平面图。
[0109]接着，对第二实施方式所涉及的液体喷射头I及第二实施方式所涉及的液体喷射头I的制造方法进行说明。
[0110]第一实施方式所涉及的液体喷射头1，公共电极用焊盘16在Y方向的宽度大于吐出通道6a在Y方向的宽度，且小于相邻的非吐出通道6b、6b的分离距离。此外，个别电极用焊盘15以横跨相邻的非吐出通道6b、6b的方式形成(参照图3)。
[0111]与之相对，如图10所示，第二实施方式所涉及的液体喷射头1，在吐出通道6a的比+ X侧的端部靠近+ X侧形成有浅槽部23，形成在该浅槽部23内的公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15在Y方向的宽度分别与吐出通道6a在Y方向的宽度相等，这一点与第一实施方式不同。此外，以下对于与第一实施方式同样的构成部分省略说明，仅对不同的部分进行说明。
[0112]图11是分解第二实施方式所涉及的致动器基板2和盖板3和柔性基板25时的、沿着图10的B— B线的侧截面图。
[0113]如图11所示，在第二实施方式所涉及的致动器基板2中，形成有浅槽部23。浅槽部23在致动器基板2的第一主面Fl中比吐出通道6a靠近+ X侧，从吐出通道6a的+ X侧的端部向致动器基板2的+ X侧端面2a而形成。本实施方式的浅槽部23从吐出通道6a的+ X侧的端部遍及台阶部24而形成。浅槽部23的深度浅于吐出通道6a的深度，且浅于槽部20及台阶部24的深度。
[0114]如图10所示，浅槽部23在Y方向的宽度与吐出通道6a在Y方向的宽度相等。此夕卜，浅槽部23在Y方向的宽度大于形成在柔性基板25的个别电极用端子27及公共电极用端子28在Y方向的宽度。
[0115]槽部20以与浅槽部23交叉的方式形成。浅槽部23因槽部20而被截断为+X侧浅槽部23a和一 X侧浅槽部23b。在+ X侧浅槽部23a内，形成有个别电极用焊盘15。此夕卜，在一 X侧浅槽部23b内，形成有公共电极用焊盘16。因此，公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15在Y方向的宽度分别成为与吐出通道6a在Y方向的宽度相等。
[0116]在+ X侧浅槽部23a内的个别电极用焊盘15中，连接有柔性基板25的个别电极用端子27，在一 X侧浅槽部23b内的公共电极用焊盘16中，连接有柔性基板25的公共电极用端子28。在此，个别电极用焊盘15及公共电极用焊盘16分别形成在浅槽部23内，因此通过使在Y方向并列的多个个别电极用端子27及公共电极用端子28分别落入对应的多个浅槽部23内，能够在浅槽部23内容易定位多个个别电极用端子27及公共电极用端子28。因而，能够容易定位的同时可靠地连接多个个别电极用焊盘15及公共电极用焊盘16和多个个别电极用端子27及公共电极用端子28。
[0117]接着，对第二实施方式所涉及的液体喷射头I的制造方法进行说明。
[0118]图12是表示第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图。图13是第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图。此外，图13中的XYZ的正交坐标系与图10及图11中的XYZ的正交坐标系对应。此外，图13 (a)及(b)与沿着图10的B — B线的侧截面图对应。此外，关于液体喷射头的制造方法的说明中的各符号，请参照图10及图11。
[0119]在第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中，具备进行掩模材料55的构图，形成个别电极用焊盘及公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模55a的掩模形成工序S14 (参照图5及图6 (b))。
[0120]与之相对，如图12所示，在第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中，不具备掩模形成工序S14 (参照图5)，这一点与第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法不同。此外，在以下说明中，仅对与第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法不同的工序进行说明，对于相同的工序省略说明。
[0121]如图12所示，第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法主要具备:基板准备工序S10、掩模材料成膜工序S12、通道形成工序S16、电极成膜工序S18、掩模材料除去工序S20、槽部形成工序S22、盖板接合工序S24、喷嘴板接合工序S26、和柔性基板粘接工序S28。以下，对各工序SlO?S28进行说明。
[0122]在掩模材料成膜工序S12中，如图13 (a)所示，在压电体基板50的整个第一主面Fl上，成膜例如由感光性树脂构成的掩模材料55。
[0123]接着，在通道形成工序S16中，如图13 (b)所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成通道6。而且,在通道形成工序S16中形成吐出通道6a时,在吐出通道6a的+ X侧形成比吐出通道6a的深度浅的浅槽部23。具体而言，通过将旋转的切割刀D抵接于第一主面Fl，同时使切割刀D从压电体基板50的十X侧端面50a移动至压电体基板50的一 X侧端面50b，连同掩模材料55切削压电体基板50，形成浅槽部23及吐出通道6a。此外，在图13 (b)中，用实线示出形成浅槽部23时的切割刀D，用双点划线示出形成吐出通道6a时的切割刀D。
[0124]在通道形成工序S16中，首先，从压电体基板50的+X侧端面50a向一 X侧移动，同时在Z方向上与浅槽部23的深度对应的位置，使切割刀D抵接于压电体基板50，切削压电体基板50。接着，在X方向上吐出通道6a的形成位置，使切割刀D移动至一 Z侧，切削压电体基板50。接着，向压电体基板50的一 X侧端面50b移动，并且在Z方向上与吐出通道6a的深度对应的位置，使切割刀D抵接于压电体基板50，进一步切削压电体基板50。然后，在切割刀D到达压电体基板50的一 X侧端面50b的时间点，在压电体基板50的第一主面Fl侧形成浅槽部23及吐出通道6a。
[0125]此外，在通道形成工序S16中，在形成吐出通道6a及浅槽部23之后，在压电体基板50的第一主面Fl侧的+ X侧的边缘部51a形成台阶部24。
[0126]在此，在通道形成工序S16中，连同掩模材料55切削压电体基板50。因而，在结束通道形成工序S16之后，吐出通道6a、非吐出通道6b、浅槽部23及台阶部24的形成区域成为从掩模材料55露出压电体基板50的状态。
[0127]接着，在电极成膜工序S18中，向压电体基板50的第一主面Fl，用斜蒸镀法蒸镀电极材料。
[0128]接着，在掩模材料除去工序S20中，例如用剥离法除去掩模材料55，同时除去掩模材料55上的电极材料。由此，在从掩模材料55露出的吐出通道6a、非吐出通道6b、浅槽部23及台阶部24的形成区域成膜电极材料。此外，成膜在吐出通道6a内的电极材料，相当于公共电极12a，成膜在非吐出通道6b内的电极材料，相当于个别电极12b。[0129]图14是槽部形成工序的说明图。
[0130]接着，在槽部形成工序S22中，如图14所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成槽部20。具体而言，在X方向的台阶部24与吐出通道6a之间的位置，遍及整个Y方向而以沿着Y方向的方式移动切割刀D，同时对压电体基板50的第一主面Fl进行切削加工。由此，浅槽部23被截断为+ X侧浅槽部23a和一 X侧浅槽部23b，并且浅槽部23内的电极材料56被截断。而且，在+X侧浅槽部23a内形成有个别电极用焊盘15，在一 X侧浅槽部23b内形成有公共电极用焊盘16。在形成了槽部20的时间点，完成致动器基板2。
[0131](第二实施方式的效果)
依据第二实施方式，浅槽部23从吐出通道6a的+ X侧的端部向着致动器基板2的+X侧端面2a而形成，因此例如在用切削加工形成吐出通道6a时，能够仅改变切削深度而形成浅槽部23。因而，能以与通道形成工序S16相同的工序简单地形成浅槽部23。此外，槽部20被形成为与浅槽部23交叉，因此在浅槽部23内成膜电极材料56之后，例如通过切削加工以与浅槽部23交叉的方式形成槽部20，用槽部20来截断成膜在浅槽部23内的电极材料56，能简单地形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15。如此，无需使用掩模而能够形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15，因此能以低成本形成能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路的液体喷射头I。
[0132]此外，由于公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15的宽度分别与吐出通道6a的宽度相等，所以能够极力缩窄公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15的宽度。由此，能够将液体喷射头I窄幅化。
[0133]此外，在掩模材料成膜工序S12之后，具备在压电体基板50形成吐出通道6a和非吐出通道6b的通道形成工序S16，因此例如在通过切削加工形成吐出通道6a和非吐出通道6b时，能以切削加工除去与各通道6 (6a、6b)对应的掩模材料55。由此，在之后的电极成膜工序S18中，能够在从掩模材料55露出的与各通道6 (6a、6b)对应的区域成膜电极材料56，因此无需使用例如通过光刻技术等来构图的掩模而成膜电极材料56，能够形成公共电极12a及个别电极12b。而且，在通道形成工序S16中，形成比吐出通道6a的深度浅的浅槽部23，因此在之后的电极成膜工序S18中，在从掩模材料55露出的与浅槽部23对应的区域也成膜电极材料56。然后，由于具备形成槽部20的槽部形成工序S22，所以例如通过切削加工能够以与浅槽部23交叉的方式形成槽部20，从而用槽部20来截断浅槽部23内成膜的电极材料56，能够简单地形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15。如此，由于无需对掩模材料55进行构图而能够形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15，能够简化液体喷射头I的制造方法。因而，能以低成本形成能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及连接到个别电极用焊盘15的个别电极12b的电短路的液体喷射头I。
[0134]此外，本发明的技术范围不限于上述的实施方式，在不超出本发明的趣旨的范围内可增加各种变更。
[0135]在各实施方式中，以喷嘴孔4a位于致动器基板2 (吐出通道6a)的一 X侧的端部22的、所谓边缘发射型的液体喷射头I为例进行了说明，但本发明的应用不限定于边缘发射型的液体喷射头I。例如，在喷嘴孔4a位于致动器基板2的第二主面F2侧、吐出通道6a的X方向的中间部附近的所谓侧发射型的液体喷射头，也能适用本发明。而且，在侧发射型的液体喷射头中，在盖板具备液体供给室和液体排出室的所谓直接流动型的液体喷射头，也能适用本发明。
[0136]在各实施方式中，驱动电极12在致动器基板2的壁部5的侧面比Z方向的中间部靠近+ Z侧形成，但是驱动电极12的设置范围并不限定于各实施方式。例如，驱动电极12也可以设置成接近通道6的底部。
[0137]例如，关于本发明，可以采用在通道6的深度方向上将极化方向沿上下方向彼此相反方向的压电体材料层叠的人字型。在该情况下，通过在壁部5的整个侧面5a、5b形成驱动电极12，利用压电滑移效果以壁部5的高度方向中间位置为中心，会以V字状弯曲变形壁部5。由此，能以低电压变形壁部5。
[0138]在各实施方式中，通道6交互地排列了吐出通道6a和非吐出通道6b，但是通道6的方式并不限定于此。例如，也可以不交互地排列吐出通道6a和非吐出通道6b。
[0139]各实施方式的致动器基板2在第一主面Fl的+ X侧的边缘部21a形成有下降一级的台阶部24，但是也可不形成台阶部24。
[0140]此外，第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2在第一主面Fl的+X侧的端部21中，具备以曲面状R倒角的倒角部2c，但是倒角部2c的倒角形状并不限定于R倒角，例如也可为C倒角。
[0141]此外，在不超出本发明的趣旨的范围内，可以适当地将上述实施的方式中的构成要素置换成周知的构成要素。
[0142]符号说明
1...液体喷射头；2...致动器基板；2a...端面；4a...喷嘴孔；5a...侧面；5b...侧面；6a...吐出通道；6b...非吐出通道；12a...公共电极；12b...个别电极；15...个别电极用焊盘；16...公共电极用焊盘；20...槽部；21...端部；23...浅槽部；24...台阶部；
25...柔性基板(外部基板)；26...连接布线；27...个别电极用端子；28...公共电极用端子；30...液体喷射装置；34...液体罐；35...液体供给管；40...移动机构；44...被记录介质；50...压电体基板；55...掩模材料；55a...掩模；56...电极材料；F1...第一主面；F2...第二主面；S12...掩模材料成膜工序；S14...掩模形成工序；S16...通道形成工序；
518...电极成膜工序；S20...掩模材料除去工序；S22...槽部形成工序。
【权利要求】
1.一种液体喷射头，具备: 致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道； 公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及 个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面， 所述液体喷射头的特征在于， 所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列， 在所述致动器基板的所 述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘， 在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘， 在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 具备与所述致动器基板连接的外部基板， 所述外部基板具备: 多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子；以及 多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子， 在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间、与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。
3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部， 所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。
4.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。
5.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 由所述致动器基板的所述第一主面和所述致动器基板的所述一侧的端面形成的角部被施以倒角。
6.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述吐出通道和所述非吐出通道在所述宽度方向交互并列地排列。
7.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述喷嘴孔位于所述吐出通道的所述另一侧的端部。
8.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述喷嘴孔位于所述致动器基板的第二主面侧的、所述吐出通道中的所述长边方向的中间部。
9.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述非吐出通道从所述致动器基板的所述一侧的端面遍及所述另一侧的端面而形成， 所述个别电极用焊盘以横跨相邻的所述非吐出通道的方式形成。
10.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述公共电极用焊盘及所述个别电极用焊盘的宽度，分别与所述吐出通道的宽度相坐寸O
11.一种权利 要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备: 掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料； 掩模形成工序，进行所述掩模材料的构图，形成至少所述个别电极用焊盘及所述公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模； 通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道； 电极成膜工序，成膜电极材料； 掩模材料除去工序，除去所述掩模材料；以及 槽部形成工序，形成所述槽部。
12.—种权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备: 掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料； 通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道； 电极成膜工序，成膜电极材料； 掩模材料除去工序，除去所述掩模材料；以及 槽部形成工序，形成所述槽部， 在所述通道形成工序中，在所述吐出通道的所述一侧，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部。
13.一种液体喷射装置，具备: 权利要求1所述的液体喷射头； 使所述液体喷射头与被记录介质相对移动的移动机构； 向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及 向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
【文档编号】B41J2/16GK103963465SQ201410042910
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年1月29日 优先权日:2013年2月6日
【发明者】原尻俊彦, 久保田禅, 堀口悟史 申请人:精工电子打印科技有限公司
【专利摘要】本发明提供能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及具备该液体喷射头的液体喷射装置。其特征在于：在致动器基板（2）的第一主面（F1）中的＋X侧的端部（21），设有多个与个别电极（12b）连接的个别电极用焊盘（15），在致动器基板（2）的第一主面（F1）中比个别电极用焊盘（15）靠近－X侧，设有多个与公共电极（12a）连接的公共电极用焊盘（16），在致动器基板（2）的第一主面（F1）中个别电极用焊盘（15）与公共电极用焊盘（16）之间，沿着Y方向形成有槽部（20）。
【专利说明】液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置。
【背景技术】
[0002]一直以来，作为向记录纸等的被记录介质喷射墨等的液体、记录字符、图形等的装置，已知从多个喷嘴孔向被记录介质喷射液体的、具备所谓喷墨方式的液体喷射头的液体喷射记录装置。
[0003]作为液体喷射头，已知具备:吐出通道，从基板表面的前方端起向后方端的方向细长，互相通过隔壁来分隔，在与所述方向交叉的宽度方向排列；驱动电极，包含形成于隔壁的侧面的公共电极及个别电极；致动器基板，与驱动电极电连接，具有形成于基板表面的后方端附近的引出电极；以及柔性基板，粘接于基板表面的后方端附近，具有与引出电极电连接的布线电极，通过对驱动电极施加驱动电压，使吐出通道的侧面变形从而提高吐出通道内的压力，使吐出通道内的墨从喷嘴孔喷射。
[0004]形成在柔性基板上的布线电极，由与形成于吐出通道的侧面的公共电极连接的公共布线电极、和与形成于非吐出通道的侧面的个别电极连接的个别布线电极构成。为了将在宽度方向上并列地排列的多个吐出通道的公共电极互相电连接而设为GND电位，柔性基板的公共布线电极沿着宽度方向被形成为长条。
[0005]然而，在上述构成的液体喷射头中，将柔性基板粘接于致动器基板表面的后方端附近时，柔性基板的公共布线电极和形成于致动器基板的非吐出通道的侧面的个别电极会交叉。而且，在交叉的公共布线电极和个别电极接触而短路的情况下，不能向驱动电极施加驱动电压，无法从喷嘴孔喷射液体。
[0006]为了解决上述问题，例如在专利文献I中，记载了在公共布线电极和驱动电极(个别电极)交叉的公共布线交叉区域中，沿深度方向切削致动器基板表面和构成非吐出通道的槽的侧面之间的角部而形成倒角部，个别电极的上端部形成在比基板表面更深的位置的液体喷射头。依据该构成，使个别电极的上端部从抵接在致动器基板表面的柔性基板上的公共布线电极分离，能够电隔离公共布线电极和个别电极，因此使公共布线电极和个别电极不会电短路。
[0007]现有技术文献 专利文献
专利文献1:日本特开2012 — 101437号公报。
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
但是，现有技术的液体喷射头，切削构成非吐出通道的两个隔壁的侧面和上表面之间的角部而形成倒角部，这需要对多个非吐出通道分别进行切削加工，因此有增大制造工时的倾向。因而，在削减制造工时而进行的低成本化方面有进一步改善的余地。[0009]因此，本发明的课题是提供能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及具备该液体喷射头的液体喷射装置。
[0010]用于解决课题的方案
为了解决上述的课题，本发明的液体喷射头，具备:致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道；公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面，所述液体喷射头的特征在于，所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。
[0011]依据本发明，由于在致动器基板的第一主面中的个别电极用焊盘与公共电极用焊盘之间，沿着宽度方向形成有槽部，所以在将外部基板连接于致动器基板时，通过在与致动器基板的槽部对应的位置配置外部基板的布线，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘接触。因而，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路。此外，仅仅形成槽部，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。
[0012]此外，本发明的特征在于，具备与所述致动器基板连接的外部基板，所述外部基板具备多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子、和多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子，在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间，与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。
[0013]依据本发明，由于在与致动器基板连接的外部基板，与致动器基板的槽部对应的位置，形成有将多个公共电极用端子互相连接的连接布线，所以在将外部基板连接到致动器基板时，能够可靠地在与致动器基板的槽部对应的位置配置外部基板的连接布线。因而，能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路。此夕卜，仅仅形成槽部，能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。
[0014]此外，本发明的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部，所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。
[0015]依据本发明，由于浅槽部从吐出通道的一侧的端部向致动器基板的一侧的端面而形成，所以例如在用切削加工来形成吐出通道时，能够仅改变切削深度而形成浅槽部。因而，能以与吐出通道的形成工序相同的工序简单地形成浅槽部。此外，槽部形成为与浅槽部交叉，因此在浅槽部内成膜电极材料后，例如用切削加工来将槽部形成为与浅槽部交叉，从而利用槽部来截断成膜在浅槽部内的电极材料，能够简单地形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘。如此，无需使用掩模而能够形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘，因此能以低成本形成能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路的液体喷射头。
[0016]此外，本发明的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。
[0017]依据本发明，由于在致动器基板的第一主面中的一侧的边缘部形成有下降一级的台阶部，所以在致动器基板的第一主面连接外部基板时，能够抑制致动器基板的第一主面中的一侧的边缘部与外部基板接触。因而，能够抑制外部基板的损伤。
[0018]此外，本发明的特征在于，由所述致动器基板的所述第一主面和所述致动器基板的所述一侧的端面形成的角部被施以倒角。
[0019]依据本发明，由于由致动器基板的第一主面和致动器基板的一侧的端面形成的角部被施以倒角，所以在致动器基板的第一主面连接外部基板时，即便致动器基板的被施以倒角的部分和外部基板接触的情况下，也能抑制外部基板的损伤。
[0020]此外，本发明的特征在于，所述吐出通道和所述非吐出通道在所述宽度方向交互并列地排列。
[0021]依据本发明，能够适宜地向吐出通道和非吐出通道在宽度方向交互地并列而排列的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。
[0022]此外，本发明的特征在于，所述喷嘴孔位于所述吐出通道的所述另一侧的端部。
[0023]依据本发明，能够适宜地向所谓边缘发射型的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。
[0024]此外，本发明的特征在于，所述喷嘴孔在所述致动器基板的第二主面侧位于所述吐出通道中所述长边方向的中间部。
[0025]依据本发明，能够适宜地向所谓边缘发射型的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。
[0026]此外，本发明的特征在于，所述非吐出通道从所述致动器基板的所述一侧的端面遍及所述另一侧的端面而形成，所述个别电极用焊盘以横跨相邻的所述非吐出通道的方式形成。
[0027]依据本发明，由于个别电极用焊盘以横跨相邻的非吐出通道的方式形成，所以能够较宽地确保个别电极用焊盘的表面积。由此，无需进行外部基板的精密的定位而能够容易将外部基板上的端子(个别电极用端子)连接到个别电极用焊盘。而且，由于能够较宽地确保个别电极用焊盘的截面积，所以能够抑制个别电极用焊盘的电阻，能够做成电效率良好的液体喷射头。
[0028]此外，本发明的特征在于，所述公共电极用焊盘及所述个别电极用焊盘的宽度，分别与所述吐出通道的宽度相等。
[0029]依据本发明，由于公共电极用焊盘及个别电极用焊盘的宽度分别与吐出通道的宽度相等，所以能够极力缩窄公共电极用焊盘及个别电极用焊盘的宽度。由此，能够将液体喷射头窄幅化。[0030]此外，本发明的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备:掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料；掩模形成工序，进行所述掩模材料的构图，形成至少所述个别电极用焊盘及所述公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模；通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道；电极成膜工序，成膜电极材料；掩模材料除去工序,除去所述掩模材料；以及槽部形成工序，形成所述槽部。
[0031]依据本发明，由于在掩模形成工序之后，具备成膜电极材料的电极成膜工序，所以能够以所希望的形状进行掩模材料的构图而形成掩模，并成膜所希望形状的电极材料。此夕卜，由于具备槽部形成工序，所以例如仅进行切削加工而能够形成槽部。由此，在致动器基板连接外部基板时，在致动器基板的与槽部对应的位置，能够配置外部基板的布线。因而，能得到能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路的低成本的液体喷射头。
[0032]此外，本发明的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备:掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料；通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道；电极成膜工序，成膜电极材料；掩模材料除去工序,除去所述掩模材料；以及槽部形成工序，形成所述槽部，在所述通道形成工序中，在所述吐出通道的所述一侧，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部。
[0033]依据本发明，由于掩模材料成膜工序之后，具备在压电体基板形成吐出通道和非吐出通道的通道形成工序，所以在例如用切削加工形成吐出通道和非吐出通道时，能够以切削加工除去与各通道对应的掩模材料。由此，在之后的电极成膜工序中，能够在从掩模材料露出的与各通道对应的区域成膜电极材料，所以无需使用例如用光刻技术等来构图的掩模而成膜电极材料，能够形成公共电极及个别电极。而且，在通道形成工序中，形成比吐出通道的深度浅的浅槽部，因此在之后的电极成膜工序中，也能在从掩模材料露出的与浅槽部对应的区域成膜电极材料。而且，具备形成槽部的槽部形成工序，因此例如用切削加工以与浅槽部交叉的方式形成槽部，从而用槽部来截断成膜在浅槽部内的电极材料，能够简单地形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘。如此，无需构图掩模材料而能够形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘，因此能够简化液体喷射头的制造方法。因而，能以低成本形成能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路的液体喷射头。
[0034]此外，本发明的液体喷射装置，其特征在于，具备:上述的液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
[0035]依据本发明，由于具备能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头，所以能够得到可靠性高的低成本的液体喷射装置。
[0036]发明效果
依据本发明，由于在致动器基板的第一主面中的个别电极用焊盘与公共电极用焊盘之间沿着宽度方向形成槽部，所以在将外部基板连接到致动器基板时，通过在致动器基板的与槽部对应的位置配置外部基板的布线，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘接触。因而，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路。此外，仅仅形成槽部，就能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。
【专利附图】
【附图说明】
[0037]图1是第一实施方式所涉及的液体喷射头的示意分解立体截面图；
图2是第一实施方式所涉及的致动器基板的立体图；
图3是表示在第一实施方式所涉及的液体喷射头的致动器基板安装柔性基板的状态的平面图；
图4是分解第一实施方式所涉及的致动器基板和盖板和柔性基板时的沿着图3的A —A线的侧截面图；
图5是表示第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图；
图6是第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图；
图7是第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的槽部形成工序的说明图；
图8是第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板的立体图；
图9是具备第一实施方式所涉及的液体喷射头的液体喷射装置的说明图；
图10是表示在第二实施方式所涉及的液体喷射头的致动器基板安装柔性基板的状态的平面图；
图11是分解第二实施方式所涉及的致动器基板和盖板和柔性基板时的沿图10的B —B线的侧截面图；
图12是表示第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图； 图13是第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图；
图14是第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的槽部形成工序的说明图。
【具体实施方式】
[0038](第I实施方式)
以下，利用【专利附图】
【附图说明】本发明的第一实施方式。
[0039]图1是第一实施方式所涉及的液体喷射头的示意分解立体截面图。
[0040]如图1所示，液体喷射头I具备致动器基板2、盖板3、喷嘴板4、和柔性基板25(相当于权利要求的“外部基板”。)。此外，为了易于理解，图1中用双点划线示出柔性基板25的基板部25a。
[0041]致动器基板2被壁部5隔开，排列了多个包含开口于第一主面Fl的吐出通道6a及非吐出通道6b的通道6。
[0042]盖板3以覆盖通道6的第一主面Fl侧的开口 7的方式设置在致动器基板2，在通道6的长边方向的一侧具有向吐出通道6a供给液体的液体供给室9。
[0043]柔性基板25粘接于致动器基板2的第一主面Fl的表面中通道6的长边方向的一侧的端部21。
[0044]喷嘴板4具备与吐出通道6a连通的喷嘴孔4a，在致动器基板2的另一侧的端部22中，与致动器基板2的另一侧的端面2b接合。喷嘴孔4a位于吐出通道6a的长边方向的另一侧的端部22，能够吐出液体。此外，喷嘴孔4a不与非吐出通道6b连通。因而，非吐出通道6b不能吐出液体。[0045]再者，在以下说明中，将通道6延伸的长边方向设为X方向，将配置液体供给室9的一侧设为+ X侧，将相反的另一侧设为一 X侧。此外，将第一主面Fl上与X方向正交的通道6的宽度方向设为Y方向，将图1中纸面左侧设为一 Y侧，将图1中纸面右侧设为+Y侦U。此外，将与X方向及Y方向正交的方向设为Z方向，将第一主面Fl侧设为+Z侧，将与第一主面Fl相反的第二主面F2侧设为一 Z侧。以下，根据需要利用XYZ的正交坐标系，详细说明液体喷射头I的各构成部件。
[0046](致动器基板)
以下，详细说明液体喷射头I的各构成部件。
[0047]图2是致动器基板2的立体图。此外，为了易于理解，在图2中以双点划线示出柔性基板25的基板部25a。
[0048]如图2所示，致动器基板2利用沿Z方向实施极化处理的压电体材料例如PZT陶瓷等，形成为大体矩形板状。在致动器基板2的第一主面Fl中+X侧的边缘部21a，形成有在一 Z侧下降一级的台阶部24。
[0049]致动器基板2的通道6通过将吐出通道6a和非吐出通道6b沿与Y方向交互并列地排列而形成。
[0050]吐出通道6a从致动器基板2的+ X侧端面2a的跟前遍及致动器基板2的一 X侧端面2b而延伸。吐出通道6a的+ X侧的端部以从致动器基板2的一 Z侧(第二主面F2侧)向+ Z侧(第一主面Fl侧)切上来的方式倾斜地形成。
[0051]非吐出通道6b从致动器基板2的+ X侧端面2a遍及致动器基板2的一 X侧端面2b而延伸。
[0052]在液体喷射头I的致动器基板2的壁部5的侧面，形成有驱动电极12。
[0053]驱动电极12包含:在壁部5的侧面中形成在吐出通道6a的侧面5a的公共电极12a ;和在壁部5的侧面中设置在非吐出通道6b的侧面5b的个别电极12b。
[0054]公共电极12a从面对吐出通道6a的一对壁部5、5的侧面5a、5a中的+ X侧的端部遍及一 X侧的端部，沿着X方向延伸，形成为大致带状。
[0055]个别电极12b从面对非吐出通道6b的一对壁部5、5的侧面5b、5b中的+ X侧的端部遍及一 X侧的端部，沿着X方向延伸，形成为大致带状。
[0056]公共电极12a及个别电极12b分别在吐出通道6a及非吐出通道6b的比Z方向(SP吐出通道6a及非吐出通道6b的深度方向)的中间部靠近+ Z侧的区域形成。
[0057]在致动器基板2的第一主面Fl的+X侧的端部21，设有多个个别电极用焊盘15。个别电极用焊盘15在致动器基板2的+ X侧的端部21中，形成在第一主面Fl及台阶部24的表面。本实施方式中的个别电极用焊盘15，以横跨相邻的非吐出通道6b、6b的方式形成。个别电极用焊盘15在致动器基板2的+ X侧的端部21中，电连接形成在相邻的非吐出通道6b,6b的壁部5的侧面5b的个别电极12b、12b。
[0058]在致动器基板2的第一主面Fl中比个别电极用焊盘15靠近一 X侧，设有多个公共电极用焊盘16。公共电极用焊盘16在第一主面Fl上与吐出通道6a的+ X侧的端部连接而形成。本实施方式中的公共电极用焊盘16在Y方向的宽度，大于吐出通道6a在Y方向的宽度，且小于相邻的非吐出通道6b、6b的分离距离。公共电极用焊盘16在致动器基板2的第一主面Fl上的吐出通道6a的+ X侧的端部中，电连接形成在吐出通道6a的对置的侧面5a、5a的公共电极12a、12a。
[0059]在此，在致动器基板2的第一主面Fl中个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，以与非吐出通道6b正交的方式沿着Y方向形成有一条槽部20。槽部20在X方向具有既定的宽度，并且在Z方向具有既定的深度，遍及致动器基板2的第一主面Fl中整个Y方向而形成。
[0060]槽部20在X方向的宽度被形成为大于形成在柔性基板25的后述的连接布线26在X方向的宽度。
[0061]此外，槽部20在Z方向的深度形成为浅于壁部5的侧面中驱动电极12在Z方向的形成深度。由此，在壁部5的侧面中无需截断驱动电极12而能够形成槽部20。
[0062]盖板3例如用与致动器基板2相同的材料即PZT陶瓷等，形成为大体矩形板状。此夕卜，形成盖板3的材料并不限定于PZT陶瓷，例如，也可以用可切削陶瓷和其他陶瓷、玻璃等的低电介质材料。但是，通过用相同的材料形成盖板3和致动器基板2，能够使热膨胀相等，因此能够抑制液体喷射头I相对温度变化的翘曲、变形。在盖板3的液体供给室9，在其底部形成有多个狭缝9a。狭缝9a在与吐出通道6a对应的位置中，液体供给室9的底部沿Z方向贯通而形成，沿着X方向延伸，并且在Y方向并列地设置。液体供给室9经由狭缝9a，与吐出通道6a的+ X侧的端部连通。此外，液体供给室9不与非吐出通道6b连通。
[0063](柔性基板)
图3是表示在液体喷射头I的致动器基板2安装柔性基板25的状态的平面图。此外，为了易于理解，图3中以双点划线示出柔性基板25的基板部25a。
[0064]图4是分解致动器基板2和盖板3和柔性基板25时的沿着图3的A — A线的侧截面图。
[0065]如图3所示，柔性基板25是具有例如用以聚酰亚胺等为主成分的树脂材料形成的基板部25a的膜状的具有可挠性的部件。
[0066]如图4所示，柔性基板25在一 Z侧主面25b分别具备多个个别电极用端子27和公共电极用端子28。
[0067]如图3所示，个别电极用端子27从柔性基板25的+ X侧的端部遍及与个别电极用焊盘15对应的位置，沿着X方向形成为大致带状。相邻的多个个别电极用端子27的间距大致与相邻的多个吐出通道6a的间距相同。此外，个别电极用端子27在Y方向的宽度，小于个别电极用焊盘15在Y方向的宽度。
[0068]公共电极用端子28在比个别电极用端子27靠近一 X侧从与槽部20对应的位置遍及与公共电极用焊盘16对应的位置，沿着X方向形成为大致带状。相邻的多个公共电极用端子28的间距大致与相邻的多个吐出通道6a及多个个别电极用端子27的间距相同。
[0069]此外，在柔性基板25的一 Z侧主面25b (参照图4)，形成有连接布线26。连接布线26在个别电极用端子27与公共电极用端子28之间，致动器基板2的与槽部20对应的位置，沿着Y方向形成为大致带状。连接布线26将多个公共电极用端子28的+ X侧的端部互相电连接。
[0070]连接布线26在X方向的宽度，被形成为充分小于槽部20在X方向的宽度。此外，如图4所示，连接布线26在Z方向的厚度，被形成为薄于槽部20在Z方向的深度。由此，连接布线26在槽部20中不与致动器基板2接触地被配置。因而，连接布线26不与致动器基板2的个别电极用焊盘15及形成在壁部5的侧面的驱动电极12接触，配置在与槽部20对应的位置。
[0071]如图3所示，在连接布线26的Y方向的两端，沿着X方向形成有向柔性基板25的+ X侧的端部延伸的连接布线端子26a(图3中，仅示出+ Y侧的连接布线端子26a)。连接布线端子26a经由未图示的印刷布线等与GND连接。
[0072]柔性基板25例如用导电性粘接剂等，粘接个别电极用端子27和致动器基板2的个别电极用焊盘15，并且粘接公共电极用端子28和致动器基板2的公共电极用焊盘16，从而电性及机械连接到致动器基板2的第一主面Fl中的+X侧的端部21。在此，如图4所示，在致动器基板2的第一主面Fl中的+ X侧的边缘部21a，形成有在一 Z侧下降一级的台阶部24，因此在致动器基板2的第一主面Fl连接柔性基板25时，能抑制柔性基板25与致动器基板2的第一主面Fl中的+ X侧的边缘部21a的接触。
[0073](液体喷射头的制造方法)
接着，对上述的第一实施方式所涉及的液体喷射头I的制造方法进行说明。
[0074]图5是表示第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图。图6是液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图。此外，图6中的XYZ的正交坐标系，与图1至图4中的XYZ的正交坐标系对应。此外，图6 (a)?(c)与沿着图3的A —A线的侧截面图对应，图6 (d)?(f)与沿着从一 X侧观看压电体基板50 (致动器基板2)时的YZ平面的截面图对应。此外，关于以下的液体喷射头的制造方法的说明中的各符号，参照图6之外，还请参照图1至图4的各图。
[0075]如图5所示，第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法，主要具备:基板准备工序S10、掩模材料成膜工序S12、掩模形成工序S14、通道形成工序S16、电极成膜工序S18、掩模材料除去工序S20、槽部形成工序S22、盖板接合工序S24、喷嘴板接合工序S26、和柔性基板粘接工序S28。以下，对各工序SlO?S28进行说明。
[0076]在基板准备工序SlO中，如图6 (a)所示，准备后面成为致动器基板2的压电体基板50。作为压电体基板50的材料，适合沿Z方向被实施极化处理的压电体材料、例如PZT陶瓷。
[0077]接着，在掩模材料成膜工序S12中，如图6 (b)所示，在压电体基板50的第一主面Fl上，成膜例如用感光性树脂构成的掩模材料55。
[0078]接着，在掩模形成工序S14中，如图6 (b)所示，利用光刻技术，除去例如形成个别电极用焊盘15、公共电极用焊盘16等的电极的区域的掩模材料55，保留不形成电极的区域的掩模材料55，从而进行掩模材料55的构图。由此，形成个别电极用焊盘15及公共电极用焊盘16的形成区域开口的掩模55a。
[0079]接着，在通道形成工序S16中，如图6 (C)所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成通道6。具体而言，从压电体基板50的+ X侧端面50a的跟前遍及压电体基板50的一 X侧端面50b，将压电体基板50的第一主面Fl连同掩模材料55进行切削加工，从而形成吐出通道6a。此外，从压电体基板50的+ X侧端面50a遍及压电体基板50的一 X侧端面50b，将压电体基板50的第一主面Fl连同掩模材料55进行切削加工，形成非吐出通道6b。此外，在图6 (c)中，示出形成吐出通道6a的状态。然后，如图6 Cd)所示，形成沿Y方向交互并列的多个吐出通道6a及非吐出通道6b。[0080]此外，在通道形成工序S16中，如图6 (C)所示，在形成通道6之外，在压电体基板50的第一主面Fl侧的+ X侧的边缘部51a形成台阶部24。台阶部24与通道6同样，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工来形成。具体而言，在形成通道6时使切割刀D沿X方向移动，在形成台阶部24时使切割刀D沿Y方向移动。
[0081]接着，在电极成膜工序S18中，如图6 (e)所示，从相对于Z方向在+ Y侧及一 Y侧分别倾斜既定角度Θ的方向，向压电体基板50的第一主面F1，用斜蒸镀法蒸镀电极材料56。由此，在壁部5的两侧面5a、5b中，在吐出通道6a及非吐出通道6b的比Z方向的中间部靠近+ Z侧的区域成膜电极材料56。
[0082]接着，在掩模材料除去工序S20中，例如用剥离法来除去掩模55a (掩模材料55)，同时除去掩模55a上的电极材料56。由此，如图6 (f)所示，在壁部5的两侧面5a、5b沉积的电极材料56 (参照图6 (e))分离，形成公共电极12a及个别电极12b。
[0083]图7是槽部形成工序的说明图。
[0084]接着，在槽部形成工序S22中，如图7所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成槽部20。具体而言，在个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，遍及整个Y方向而沿着Y方向的方式移动切割刀D，同时对压电体基板50的第一主面Fl进行切削加工。由此，在压电体基板50的第一主面Fl中的个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，以与非吐出通道6b正交的方式沿着Y方向形成有一条槽部20。在形成槽部20的时间点，完成致动器基板2。
[0085]接着，在盖板接合工序S24中，如图4所示，例如用粘接剂等来将盖板3接合于致动器基板2的第一主面Fl。盖板3的液体供给室9通过形成在其底部的狭缝9a而与吐出通道6a连通。由此，在吐出通道6a中能从液体供给室9供给液体。此外，如图3所示，非吐出通道6b被盖板3的底面堵塞，不与液体供给室9连通。因此，在非吐出通道6b中不能从液体供给室9供给液体。
[0086]接着，在喷嘴板接合工序S26中，如图1所示，例如用粘接剂等来将喷嘴板4接合于致动器基板2的一 X侧端面2b。由此，喷嘴孔4a位于吐出通道6a的一 X侧的端部，并且与吐出通道6a连通，能够吐出吐出通道6a内的液体。
[0087]接着，在柔性基板粘接工序S28中，如图4所示，例如经由未图示的各向异性导电性粘接剂等来将柔性基板25粘接到致动器基板2的第一主面Fl中的十X侧的端部21。此时，粘接柔性基板25的个别电极用端子27与致动器基板2的个别电极用焊盘15，并且粘接柔性基板25的公共电极用端子28与致动器基板2的公共电极用焊盘16。由此，柔性基板25的个别电极用端子27与致动器基板2的个别电极用焊盘15被电性及机械连接，柔性基板25的公共电极用端子28与致动器基板2的公共电极用焊盘16被电性及机械连接。
[0088]此时，以使柔性基板25的连接布线26配置在致动器基板2的与槽部20对应的位置的方式，将柔性基板25粘接于致动器基板2。由此，连接布线26在槽部20中不与致动器基板2接触地被配置。在将柔性基板25粘接于致动器基板2的时间点，结束液体喷射头I的制造工序。
[0089](第一实施方式的效果)
依据第一实施方式，在致动器基板2的第一主面Fl中的个别电极用焊盘15与公共电极用焊盘16之间，沿着Y方向形成有槽部20，因此在将柔性基板25连接到致动器基板2时，将柔性基板25的连接布线26配置在致动器基板2的与槽部20对应的位置，从而能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15接触。因而，能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及连接到个别电极用焊盘15的个别电极12b的电短路。此外，仅形成槽部20就能防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头I。
[0090]此外，在连接到致动器基板2的柔性基板25，致动器基板2的与槽部20对应的位置，形成有将多个公共电极用端子28互相连接的连接布线26，因此在将柔性基板25连接于致动器基板2时，在致动器基板2的与槽部20对应的位置，能够可靠地配置柔性基板25的连接布线26。因而，能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路。此外，仅形成槽部20就能防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路，因此能够得到低成本的液体嗔射头I。
[0091]此外，在致动器基板2的第一主面Fl的+X侧的边缘部21a，形成有下降一级的台阶部24，因此在将柔性基板25连接于致动器基板2的第一主面Fl时，能够抑制致动器基板2的第一主面Fl中的+ X侧的边缘部21a与柔性基板25接触。因而，能够抑制柔性基板25的损伤。
[0092]此外，能够适宜将能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15的电短路的低成本的液体喷射头I的构成适用于吐出通道6a和非吐出通道6b在Y方向交互并列地排列的液体喷射头I。
[0093]此外，能够适宜将能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15的电短路的低成本的液体喷射头I的构成适用于所谓边缘发射型的液体喷射头I。
[0094]此外，个别电极用焊盘15以横跨相邻的非吐出通道6b、6b的方式形成，因此能够较宽地确保个别电极用焊盘15的表面积。由此，能够无需进行柔性基板25的精密定位而容易将柔性基板25上的个别电极用端子27连接到个别电极用焊盘15。而且，能够较宽地确保个别电极用焊盘15的截面积，并能抑制个别电极用焊盘15的电阻，因此能够做成电效率良好的液体喷射头I。
[0095]此外，在掩模形成工序S14之后，具备成膜电极材料56的电极成膜工序S18，因此以所希望的形状进行掩模材料55的构图而形成掩模55a，能够以所希望的形状成膜电极材料56。此外，由于具备槽部形成工序S22，所以例如仅做切削加工就能形成槽部20。由此，在向致动器基板2连接柔性基板25时，在致动器基板2的与槽部20对应的位置，能够配置柔性基板25的连接布线26。因而，能得到能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及连接到个别电极用焊盘15的个别电极12b的电短路的低成本的液体喷射头I。
[0096](第一实施方式的变形例)
图8是第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2的立体图。
[0097]接着，对第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2进行说明。此外，以下对与第一实施方式同样的构成部分省略说明，仅对不同的部分进行说明。[0098]第一实施方式的致动器基板2将个别电极用焊盘15形成为在致动器基板2的第一主面Fl上横跨相邻的非吐出通道6b、6b (参照图2)。
[0099]与之相对，如图8所示，第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2，个别电极用焊盘15在致动器基板2的第一主面Fl上，相邻的非吐出通道6b、6b之间形成。如此，个别电极用焊盘15的形成范围不限定于第一实施方式。
[0100]而且，第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2中，由致动器基板2的第一主面Fl和致动器基板2的+ X侧端面2a形成的角部，成为以曲面状R倒角的倒角部2c。如此，依据第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2，由于由致动器基板2的第一主面Fl和致动器基板2的+ X侧端面2a形成的角部被施以倒角，所以在柔性基板25连接到致动器基板2的第一主面Fl时，即便致动器基板2的倒角部2c与柔性基板25接触的情况下，也能抑制柔性基板25的损伤。
[0101](液体喷射装置)
图9是具备第一实施方式所涉及的液体喷射头I的液体喷射装置30的说明图。
[0102]如图9所示，液体喷射装置30具备多个(本实施方式中为4个)液体喷射头1、向液体喷射头I供给液体的液体供给管35、向液体供给管35供给液体的液体泵33及多个(本实施方式中为4个)液体罐34。各液体喷射头I具备多个头芯片，从喷嘴孔4a (参照图1)吐出液体。作为液体泵33，设置向液体供给管35供给液体的供给泵。此外，也有设置未图示的压力传感器、流量传感器，控制液体流量的装置。
[0103]此外，液体喷射装置30具备:将纸等的被记录介质44沿主扫掠方向输送的一对输送单元41、42 ;承载液体喷射头I的滑动架单元43 ;以及使液体喷射头I沿与主扫掠方向正交的副扫掠方向扫掠的移动机构40。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、移动机构40及输送单元41、42。
[0104]一对输送单元41、42具备沿副扫掠方向延伸的、使滚筒面接触并旋转的栅格辊和夹送辊。通过未图示的电动机来使栅格辊和夹送辊绕轴转移并将夹入滚筒间的被记录介质44沿主扫掠方向输送。移动机构40具备:沿副扫掠方向延伸的一对导向轨36、37 ;能够沿着一对导向轨36、37滑动的滑动架单元43 ;连结滑动架单元43并向副扫掠方向移动的无接头带38 ;以及使该无接头带38经由未图示的滑轮而回转的电动机39。
[0105]滑动架单元43承载多个液体喷射头1，吐出例如黄色、深红色、青绿色、黑色这4种液体。液体罐34储存对应颜色的液体，经由液体泵33及液体供给管35向液体喷射头I供给。各液体喷射头I响应驱动信号吐出各色的液体。通过控制从液体喷射头I吐出液体的定时、驱动滑动架单元43的电动机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意图案。
[0106]此外，本实施方式是移动机构40移动滑动架单元43和被记录介质44并记录的液体喷射装置30，但是也可以代替为，固定滑动架单元43，移动机构40以二维地移动被记录介质44并记录的液体喷射装置。即，移动机构只要使液体喷射头I和被记录介质44相对移动即可。
[0107]依据本实施方式的液体喷射装置30，由于具备能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15的电短路的低成本的液体喷射头1，所以能够得到可靠性高的低成本的液体喷射装置30。[0108](第二实施方式)
图10是表示在第二实施方式所涉及的液体喷射头I的致动器基板2安装柔性基板25的状态的平面图。
[0109]接着，对第二实施方式所涉及的液体喷射头I及第二实施方式所涉及的液体喷射头I的制造方法进行说明。
[0110]第一实施方式所涉及的液体喷射头1，公共电极用焊盘16在Y方向的宽度大于吐出通道6a在Y方向的宽度，且小于相邻的非吐出通道6b、6b的分离距离。此外，个别电极用焊盘15以横跨相邻的非吐出通道6b、6b的方式形成(参照图3)。
[0111]与之相对，如图10所示，第二实施方式所涉及的液体喷射头1，在吐出通道6a的比+ X侧的端部靠近+ X侧形成有浅槽部23，形成在该浅槽部23内的公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15在Y方向的宽度分别与吐出通道6a在Y方向的宽度相等，这一点与第一实施方式不同。此外，以下对于与第一实施方式同样的构成部分省略说明，仅对不同的部分进行说明。
[0112]图11是分解第二实施方式所涉及的致动器基板2和盖板3和柔性基板25时的、沿着图10的B— B线的侧截面图。
[0113]如图11所示，在第二实施方式所涉及的致动器基板2中，形成有浅槽部23。浅槽部23在致动器基板2的第一主面Fl中比吐出通道6a靠近+ X侧，从吐出通道6a的+ X侧的端部向致动器基板2的+ X侧端面2a而形成。本实施方式的浅槽部23从吐出通道6a的+ X侧的端部遍及台阶部24而形成。浅槽部23的深度浅于吐出通道6a的深度，且浅于槽部20及台阶部24的深度。
[0114]如图10所示，浅槽部23在Y方向的宽度与吐出通道6a在Y方向的宽度相等。此夕卜，浅槽部23在Y方向的宽度大于形成在柔性基板25的个别电极用端子27及公共电极用端子28在Y方向的宽度。
[0115]槽部20以与浅槽部23交叉的方式形成。浅槽部23因槽部20而被截断为+X侧浅槽部23a和一 X侧浅槽部23b。在+ X侧浅槽部23a内，形成有个别电极用焊盘15。此夕卜，在一 X侧浅槽部23b内，形成有公共电极用焊盘16。因此，公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15在Y方向的宽度分别成为与吐出通道6a在Y方向的宽度相等。
[0116]在+ X侧浅槽部23a内的个别电极用焊盘15中，连接有柔性基板25的个别电极用端子27，在一 X侧浅槽部23b内的公共电极用焊盘16中，连接有柔性基板25的公共电极用端子28。在此，个别电极用焊盘15及公共电极用焊盘16分别形成在浅槽部23内，因此通过使在Y方向并列的多个个别电极用端子27及公共电极用端子28分别落入对应的多个浅槽部23内，能够在浅槽部23内容易定位多个个别电极用端子27及公共电极用端子28。因而，能够容易定位的同时可靠地连接多个个别电极用焊盘15及公共电极用焊盘16和多个个别电极用端子27及公共电极用端子28。
[0117]接着，对第二实施方式所涉及的液体喷射头I的制造方法进行说明。
[0118]图12是表示第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的主要工序的工序图。图13是第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中的各工序的说明图。此外，图13中的XYZ的正交坐标系与图10及图11中的XYZ的正交坐标系对应。此外，图13 (a)及(b)与沿着图10的B — B线的侧截面图对应。此外，关于液体喷射头的制造方法的说明中的各符号，请参照图10及图11。
[0119]在第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中，具备进行掩模材料55的构图，形成个别电极用焊盘及公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模55a的掩模形成工序S14 (参照图5及图6 (b))。
[0120]与之相对，如图12所示，在第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法中，不具备掩模形成工序S14 (参照图5)，这一点与第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法不同。此外，在以下说明中，仅对与第一实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法不同的工序进行说明，对于相同的工序省略说明。
[0121]如图12所示，第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法主要具备:基板准备工序S10、掩模材料成膜工序S12、通道形成工序S16、电极成膜工序S18、掩模材料除去工序S20、槽部形成工序S22、盖板接合工序S24、喷嘴板接合工序S26、和柔性基板粘接工序S28。以下，对各工序SlO?S28进行说明。
[0122]在掩模材料成膜工序S12中，如图13 (a)所示，在压电体基板50的整个第一主面Fl上，成膜例如由感光性树脂构成的掩模材料55。
[0123]接着，在通道形成工序S16中，如图13 (b)所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成通道6。而且,在通道形成工序S16中形成吐出通道6a时,在吐出通道6a的+ X侧形成比吐出通道6a的深度浅的浅槽部23。具体而言，通过将旋转的切割刀D抵接于第一主面Fl，同时使切割刀D从压电体基板50的十X侧端面50a移动至压电体基板50的一 X侧端面50b，连同掩模材料55切削压电体基板50，形成浅槽部23及吐出通道6a。此外，在图13 (b)中，用实线示出形成浅槽部23时的切割刀D，用双点划线示出形成吐出通道6a时的切割刀D。
[0124]在通道形成工序S16中，首先，从压电体基板50的+X侧端面50a向一 X侧移动，同时在Z方向上与浅槽部23的深度对应的位置，使切割刀D抵接于压电体基板50，切削压电体基板50。接着，在X方向上吐出通道6a的形成位置，使切割刀D移动至一 Z侧，切削压电体基板50。接着，向压电体基板50的一 X侧端面50b移动，并且在Z方向上与吐出通道6a的深度对应的位置，使切割刀D抵接于压电体基板50，进一步切削压电体基板50。然后，在切割刀D到达压电体基板50的一 X侧端面50b的时间点，在压电体基板50的第一主面Fl侧形成浅槽部23及吐出通道6a。
[0125]此外，在通道形成工序S16中，在形成吐出通道6a及浅槽部23之后，在压电体基板50的第一主面Fl侧的+ X侧的边缘部51a形成台阶部24。
[0126]在此，在通道形成工序S16中，连同掩模材料55切削压电体基板50。因而，在结束通道形成工序S16之后，吐出通道6a、非吐出通道6b、浅槽部23及台阶部24的形成区域成为从掩模材料55露出压电体基板50的状态。
[0127]接着，在电极成膜工序S18中，向压电体基板50的第一主面Fl，用斜蒸镀法蒸镀电极材料。
[0128]接着，在掩模材料除去工序S20中，例如用剥离法除去掩模材料55，同时除去掩模材料55上的电极材料。由此，在从掩模材料55露出的吐出通道6a、非吐出通道6b、浅槽部23及台阶部24的形成区域成膜电极材料。此外，成膜在吐出通道6a内的电极材料，相当于公共电极12a，成膜在非吐出通道6b内的电极材料，相当于个别电极12b。[0129]图14是槽部形成工序的说明图。
[0130]接着，在槽部形成工序S22中，如图14所示，例如用切割刀D对压电体基板50进行切削加工，从而形成槽部20。具体而言，在X方向的台阶部24与吐出通道6a之间的位置，遍及整个Y方向而以沿着Y方向的方式移动切割刀D，同时对压电体基板50的第一主面Fl进行切削加工。由此，浅槽部23被截断为+ X侧浅槽部23a和一 X侧浅槽部23b，并且浅槽部23内的电极材料56被截断。而且，在+X侧浅槽部23a内形成有个别电极用焊盘15，在一 X侧浅槽部23b内形成有公共电极用焊盘16。在形成了槽部20的时间点，完成致动器基板2。
[0131](第二实施方式的效果)
依据第二实施方式，浅槽部23从吐出通道6a的+ X侧的端部向着致动器基板2的+X侧端面2a而形成，因此例如在用切削加工形成吐出通道6a时，能够仅改变切削深度而形成浅槽部23。因而，能以与通道形成工序S16相同的工序简单地形成浅槽部23。此外，槽部20被形成为与浅槽部23交叉，因此在浅槽部23内成膜电极材料56之后，例如通过切削加工以与浅槽部23交叉的方式形成槽部20，用槽部20来截断成膜在浅槽部23内的电极材料56，能简单地形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15。如此，无需使用掩模而能够形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15，因此能以低成本形成能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及个别电极12b的电短路的液体喷射头I。
[0132]此外，由于公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15的宽度分别与吐出通道6a的宽度相等，所以能够极力缩窄公共电极用焊盘16及个别电极用焊盘15的宽度。由此，能够将液体喷射头I窄幅化。
[0133]此外，在掩模材料成膜工序S12之后，具备在压电体基板50形成吐出通道6a和非吐出通道6b的通道形成工序S16，因此例如在通过切削加工形成吐出通道6a和非吐出通道6b时，能以切削加工除去与各通道6 (6a、6b)对应的掩模材料55。由此，在之后的电极成膜工序S18中，能够在从掩模材料55露出的与各通道6 (6a、6b)对应的区域成膜电极材料56，因此无需使用例如通过光刻技术等来构图的掩模而成膜电极材料56，能够形成公共电极12a及个别电极12b。而且，在通道形成工序S16中，形成比吐出通道6a的深度浅的浅槽部23，因此在之后的电极成膜工序S18中，在从掩模材料55露出的与浅槽部23对应的区域也成膜电极材料56。然后，由于具备形成槽部20的槽部形成工序S22，所以例如通过切削加工能够以与浅槽部23交叉的方式形成槽部20，从而用槽部20来截断浅槽部23内成膜的电极材料56，能够简单地形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15。如此，由于无需对掩模材料55进行构图而能够形成公共电极用焊盘16和个别电极用焊盘15，能够简化液体喷射头I的制造方法。因而，能以低成本形成能够防止柔性基板25的连接布线26与致动器基板2的个别电极用焊盘15及连接到个别电极用焊盘15的个别电极12b的电短路的液体喷射头I。
[0134]此外，本发明的技术范围不限于上述的实施方式，在不超出本发明的趣旨的范围内可增加各种变更。
[0135]在各实施方式中，以喷嘴孔4a位于致动器基板2 (吐出通道6a)的一 X侧的端部22的、所谓边缘发射型的液体喷射头I为例进行了说明，但本发明的应用不限定于边缘发射型的液体喷射头I。例如，在喷嘴孔4a位于致动器基板2的第二主面F2侧、吐出通道6a的X方向的中间部附近的所谓侧发射型的液体喷射头，也能适用本发明。而且，在侧发射型的液体喷射头中，在盖板具备液体供给室和液体排出室的所谓直接流动型的液体喷射头，也能适用本发明。
[0136]在各实施方式中，驱动电极12在致动器基板2的壁部5的侧面比Z方向的中间部靠近+ Z侧形成，但是驱动电极12的设置范围并不限定于各实施方式。例如，驱动电极12也可以设置成接近通道6的底部。
[0137]例如，关于本发明，可以采用在通道6的深度方向上将极化方向沿上下方向彼此相反方向的压电体材料层叠的人字型。在该情况下，通过在壁部5的整个侧面5a、5b形成驱动电极12，利用压电滑移效果以壁部5的高度方向中间位置为中心，会以V字状弯曲变形壁部5。由此，能以低电压变形壁部5。
[0138]在各实施方式中，通道6交互地排列了吐出通道6a和非吐出通道6b，但是通道6的方式并不限定于此。例如，也可以不交互地排列吐出通道6a和非吐出通道6b。
[0139]各实施方式的致动器基板2在第一主面Fl的+ X侧的边缘部21a形成有下降一级的台阶部24，但是也可不形成台阶部24。
[0140]此外，第一实施方式的变形例所涉及的致动器基板2在第一主面Fl的+X侧的端部21中，具备以曲面状R倒角的倒角部2c，但是倒角部2c的倒角形状并不限定于R倒角，例如也可为C倒角。
[0141]此外，在不超出本发明的趣旨的范围内，可以适当地将上述实施的方式中的构成要素置换成周知的构成要素。
[0142]符号说明
1...液体喷射头；2...致动器基板；2a...端面；4a...喷嘴孔；5a...侧面；5b...侧面；6a...吐出通道；6b...非吐出通道；12a...公共电极；12b...个别电极；15...个别电极用焊盘；16...公共电极用焊盘；20...槽部；21...端部；23...浅槽部；24...台阶部；
25...柔性基板(外部基板)；26...连接布线；27...个别电极用端子；28...公共电极用端子；30...液体喷射装置；34...液体罐；35...液体供给管；40...移动机构；44...被记录介质；50...压电体基板；55...掩模材料；55a...掩模；56...电极材料；F1...第一主面；F2...第二主面；S12...掩模材料成膜工序；S14...掩模形成工序；S16...通道形成工序；
518...电极成膜工序；S20...掩模材料除去工序；S22...槽部形成工序。
【权利要求】
1.一种液体喷射头，具备: 致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道； 公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及 个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面， 所述液体喷射头的特征在于， 所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列， 在所述致动器基板的所 述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘， 在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘， 在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 具备与所述致动器基板连接的外部基板， 所述外部基板具备: 多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子；以及 多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子， 在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间、与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。
3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部， 所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。
4.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。
5.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 由所述致动器基板的所述第一主面和所述致动器基板的所述一侧的端面形成的角部被施以倒角。
6.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述吐出通道和所述非吐出通道在所述宽度方向交互并列地排列。
7.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述喷嘴孔位于所述吐出通道的所述另一侧的端部。
8.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述喷嘴孔位于所述致动器基板的第二主面侧的、所述吐出通道中的所述长边方向的中间部。
9.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述非吐出通道从所述致动器基板的所述一侧的端面遍及所述另一侧的端面而形成， 所述个别电极用焊盘以横跨相邻的所述非吐出通道的方式形成。
10.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于， 所述公共电极用焊盘及所述个别电极用焊盘的宽度，分别与所述吐出通道的宽度相坐寸O
11.一种权利 要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备: 掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料； 掩模形成工序，进行所述掩模材料的构图，形成至少所述个别电极用焊盘及所述公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模； 通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道； 电极成膜工序，成膜电极材料； 掩模材料除去工序，除去所述掩模材料；以及 槽部形成工序，形成所述槽部。
12.—种权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备: 掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料； 通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道； 电极成膜工序，成膜电极材料； 掩模材料除去工序，除去所述掩模材料；以及 槽部形成工序，形成所述槽部， 在所述通道形成工序中，在所述吐出通道的所述一侧，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部。
13.一种液体喷射装置，具备: 权利要求1所述的液体喷射头； 使所述液体喷射头与被记录介质相对移动的移动机构； 向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及 向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
【文档编号】B41J2/16GK103963465SQ201410042910
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年1月29日 优先权日:2013年2月6日
【发明者】原尻俊彦, 久保田禅, 堀口悟史 申请人:精工电子打印科技有限公司
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