冷凝结构及减压干燥装置的制作方法

文档序号:14226649阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种冷凝结构及包含该冷凝结构的减压干燥装置。所述冷凝结构包括冷凝板和冷凝管路,冷凝板上至少位于冷凝板中部的区域设有通气孔,冷凝板的一侧表面为冷凝面,冷凝面用于朝向对减压干燥装置内的样品台设置;冷凝管路设置在冷凝板上。将上述冷凝结构设在减压干燥装置内,不仅能够实现对样品的冷却,同时由于冷凝板上通气孔的设置,上述冷凝结构还能够使样品中的溶剂能够整体向上方挥发,并尽量避免出现基板边缘位置上的溶剂相比基板中心区域上的溶剂挥发快的情况,有效提高样品中溶剂挥发的均匀性,提高干燥成膜均匀性,进而提高产品的性能。

技术研发人员:柳开郎
受保护的技术使用者:广东聚华印刷显示技术有限公司
文档号码:201721334499
技术研发日:2017.10.17
技术公布日:2018.04.20

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