衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法
【专利摘要】本发明提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元将激光照射至衬底组件，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。
【专利说明】衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及衬底分尚方法、衬底分尚设备及使用该衬底分尚方法和该衬底分尚设备制造柔性显示器的方法，更具体地，涉及用于使第一衬底与第二衬底分离并检查第一衬底与第二衬底的分离状态的衬底分离检查方法、用于使第一衬底与第二衬底分离的衬底分离设备以及使用该衬底分离检查方法和该衬底分离设备制造柔性显示器的方法。
【背景技术】
[0002]近年来，全球显示器市场已经迅速向平板显示器(FPD)转变，平板显示器易于制造为大型、轻薄的显示器。
[0003]FPD包括液晶显示器(IXD)、等离子体显示板(I3DP)、和有机发光显示器(OLED)。然而，由于大多数典型的LCD、rop、或OLED使用玻璃衬底，所以它们不是柔性的，因此使用范围或应用范围受限。
[0004]与此同时，柔性显示器已发展成为下一代显示器。柔性显示器使用由柔性材料(如塑料材料或箔)形成的柔性衬底，而不是使用玻璃衬底，因此可弯曲或扭曲。
[0005]柔性显示器需要柔性衬底。然而，由于柔性衬底具有有限的耐热性，所以应用用于使用在用于玻璃衬底的板制造中的柔性衬底并不容易。为了解决这种挑战，已研究了多种方法以通过使用玻璃衬底作为基底然后移除玻璃衬底从而在板形成之后将柔性施加至板。
【发明内容】
[0006]本发明的多个方面提供了衬底分离检查方法，在该方法中可获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，并且可基于获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态。
[0007]本发明的多个方面还提供了衬底分离设备，其可实时地确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。
[0008]本发明的多个方面还提供了制造柔性显示器的方法，其可通过在柔性显示器的制造过程中实时识别衬底的分离状态降低不良率并提高生产率。
[0009]然而，本发明的多个方面并不限于本文中所阐述的方面。通过参照下面给出的本发明的详细描述，本发明的以上及其他方面将对本领域普通技术人员变得更加显而易见。
[0010]根据本发明的一方面，提供了衬底分离检查方法，其包括制备衬底组件、施加激光至衬底组件、获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息以及识别第一衬底与第二衬底的分离状态。
[0011]根据本发明的另一方面，提供了衬底分离设备，其包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元向衬底组件施加激光，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。
[0012]根据本发明的另一方面，提供了制造柔性显示器的方法，其包括结合第一衬底与第二衬底、在第二衬底上形成TFT阵列、在第二衬底的上表面上附接上保护膜、执行用于使第一衬底与第二衬底分离的主衬底分离操作、在第二衬底的下表面上附接下膜、以及执行用于使上保护膜与第二衬底的上表面分离的次衬底分离操作。
[0013]通过下面的详细描述、附图和权利要求书，其他特征和方面将变得显而易见。
[0014]根据实施方式，通过获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，几乎可实时确定第一衬底和第二衬底是否已适当地彼此分离。
[0015]此外，通过实时识别第一衬底与第二衬底的分离状态，可降低柔性显示器的不良率。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]通过参照附图详细描述本发明示例性实施方式，本发明的以上及其他方面和特征将变得更加显而易见，在附图中:
[0017]图1是示出了根据一个实施方式的衬底分离检查方法的流程图；
[0018]图2是示出了根据一个实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件的首丨J视图;
[0019]图3和图4是示出了图2所示衬底组件的修改示例的剖视图；
[0020]图5是示出了根据另一实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件和激光照射单元的剖视图；
[0021]图6是示出了根据另一实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件和激光照射单元的剖视图；
[0022]图7是示出了根据另一实施方式的衬底组件和光学传感器的剖视图；
[0023]图8是示出了图7所示的衬底组件和光学传感器的修改示例的剖视图；
[0024]图9是示出了根据一个实施方式的第二衬底的平面图；
[0025]图10是示出了根据一个实施方式的衬底分离设备的框图；
[0026]图11是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的部分平面图；
[0027]图12是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的立体图；
[0028]图13是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的平面图；以及
[0029]图14是示出了根据一个实施方式的制造柔性显示器的方法的流程图。
【具体实施方式】
[0030]通过将参照附图进行详细描述的实施方式，本发明的方面和特征及用于实现这些方面和特征的方法将变得显而易见。然而，本发明不限于下文中所公开的实施方式，而是可以多种形式实施。说明书中限定的内容，如详细的构造和元件，仅用于帮助本领域普通技术人员理解本发明的具体细节，本发明仅限定在所附权利要求书的范围内。
[0031]用于指定一个元件在另一元件上或位于不同层或层上的用语“在…上”包括一个元件直接位于另一元件或层上，和一个元件通过另一层或又一元件位于另一元件上的情况。在本发明的整体描述中，在各种附图中，相同的附图标记用于相同的元件。
[0032]虽然用语“第一、第二等”用于描述不同的组成元件，但是这些组成元件不受用语的限制。这些用语仅用于将一个组成元件与其他组成元件区分开。因此，在以下描述中，第一组成元件可以是第二组成元件。
[0033]通过参考附图和示例性实施方式的以下详细描述，可更容易地理解本发明的优点和特征以及实现本发明的优点和特征的方法。
[0034]图1是示出了根据实施方式的衬底分离检查方法的流程图。
[0035]参照图1，衬底分离检查方法包括:制备衬底组件(SlO)、施加激光至衬底组件(S20)、获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息以及识别第一衬底与第二衬底的分离状态(S40)。
[0036]下文中将详细描述衬底分离检查方法的每个步骤。
[0037]衬底组件被制备(SlO)。衬底组件包括第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底。下文中将参照图2描述衬底组件的结构。
[0038]图2是示出了根据一个实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件的首1J视图。
[0039]参照图2，衬底组件S包括第一衬底10以及附接至第一衬底10的第二衬底20。
[0040]第一衬底10可由绝缘材料如玻璃形成。第一衬底10被固定至第二衬底20上，因此防止第二衬底20在处理时弯曲或扭曲。由于第二衬底20的形状可通过第一衬底10被固定，所以用于制造薄膜阵列的后续工序可精确且稳定地执行。
[0041]第二衬底20附接至第一衬底10。第二衬底20可以是柔性衬底。例如，第二衬底20可包括选自Kapton、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚丙烯酸酯(PAR)和纤维增强塑料(FRP)的至少一种材料。
[0042]图3和图4是示出了图2所示衬底组件S的修改示例的剖视图。
[0043]参照图3，衬底组件S’还可包括插设在第一衬底10与第二衬底20之间的粘合剂层15。
[0044]粘合剂层15可由透光材料形成。粘合剂层15可具有透射性，以使得其可使具有具体波长的激光透过。粘合剂层15可以是耐热的，并可具有220°C或更高的玻璃化转变温度。例如，粘合剂层15可包括硅酮基或丙烯基聚合物粘合剂。
[0045]在一个实施方式中，玻璃化转变温度为220°C或更高的聚硅酮粘合剂可用作粘合剂层15。聚硅酮粘合剂包括作为其主要成分的聚二甲基硅氧烷(PDMS)(聚二甲基硅氧烷(PDMS)是硅酮氧化物)，并可与PDMS —起使用二氧化硅纳米粉末。粘合剂层15可通过印刷、狭缝涂布、旋涂或浸溃形成在第一衬底10或第二衬底20上。
[0046]参照图4，衬底组件S’ ’还可包括薄膜晶体管(TFT)阵列22和上保护膜23。
[0047]TFT阵列22可形成在第二衬底20上。TFT阵列22可包括设置成矩阵形式的多个TFT。信号布线如栅极线和数据线可形成在第二衬底20上，并且栅极信号和数据信号可通过信号布线施加至每个TFT。用于多个像素的多个像素电极可形成在第二衬底20上。像素电压或电流可通过TFT施加至每个像素电极。
[0048]上保护膜23可形成在TFT阵列22上。上保护膜23可完全覆盖第二衬底20。
[0049]上保护膜23使第二衬底20固定，以使得可防止第二衬底20在从第一衬底10分离之后易于弯曲或扭曲。因此，即使在移除第一衬底10之后，第二衬底20也可容易地处理。因此，用于下膜(未示出)的附接的后续工序可精确且稳定地执行。
[0050]在实施方式中，第一衬底10可大于第二衬底20，因此可具有不与第二衬底20重叠的非重叠部分。第一衬底10的非重叠部分可沿第一衬底10的边缘设置。上保护膜23可设置成完全覆盖第二衬底20的底部表面和侧表面。上保护膜23的端部可与第一衬底10的非重叠部分相接触。上保护膜23可与第二衬底20的侧表面相接触。
[0051]聚合物材料如PEN、PET、PC或PES或包括不锈钢(SUS)的金属箔可用于形成上保护膜23。
[0052]返回参照图1，激光被施加至衬底组件S(S20)。图5是示出根据实施方式的可使用在衬底分离检查方法和衬底分离设备中的衬底组件和激光照射单元的剖视图，并解释了如在图1所示的衬底分离检查方法中执行的施加激光至衬底组件的步骤。参照图5，激光施加在第一衬底10与第二衬底20之间。例如，可使用308nm的准分子激光。
[0053]第一衬底10和第二衬底20可通过激光照射而被分离。如本文中所使用的表述“第一衬底与第二衬底的分离”可不仅表示物理地分离第一衬底与第二衬底，而且可表示弱化、或者甚至消除第一衬底与第二衬底之间的联接力。
[0054]在激光照射过程中，可调整激光的强度和聚焦深度(DOF)，以使得能量可聚集在第一衬底10与第二衬底20之间的界面上。激光可将能量施加至第一衬底10与第二衬底20之间的界面，以使得第一衬底10和第二衬底20可彼此分离。响应于施加至衬底组件S的被调整的具有其波长和强度的激光，激光束的90%通过第二衬底20被吸收，因此，激光束几乎不能到达TFT阵列22。因此，可弱化、或甚至消除第一衬底10与第二衬底20之间的联接力，而不损坏TFT阵列22。
[0055]激光可线性地施加至衬底组件S。即，激光可将能量施加至限定在第一衬底10和第二衬底20之间的界面上的整段线。通过在将激光从第二衬底20的一侧移动至另一侧(在图5中由箭头指示的方向上)的同时施加激光，可在第一衬底10与第二衬底20之间的整个界面上施加激光。
[0056]激光的DOF可配置成在预定范围内变化，这将在下文中参照图6进行描述。图6是示出了根据一个实施方式的可使用在衬底分离检查方法和衬底分离设备中的衬底组件和激光照射单元的剖视图。
[0057]参照图6，衬底组件S包括粘合剂层15，并且激光的DOF可改变与粘合剂层15的厚度相对应的量。即，激光的DOF可变化，以使得在激光照射过程中激光的焦点可从第一衬底10与粘合剂层15之间的界面移动至粘合剂层15内部，以及移动至第二衬底20与粘合剂层15之间的界面。
[0058]返回参照图1，第一衬底10或第二衬底20的光学特性信息被获得(S30)。如本文中所用的用语“光学特性信息”可包括第一衬底10或第二衬底20的光学透射性和颜色信息。由于激光照射，第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性可改变。S卩，第一衬底10和第二衬底20的表面通过施加至衬底组件S的激光可被(至少部分地)加热或燃烧，并因此，第一衬底10和第二衬底20的表面颜色可改变，或第一衬底10和第二衬底20的表面可能变得乌黑。这些改变可对第一衬底10和/或第二衬底20光学特性造成损害。可通过比较激光照射之前第一衬底10和第二衬底20的光学特性与激光照射之后的第一衬底10和第二衬底20的光学特性，检查第一衬底10和第二衬底20是否已适当地彼此分离。
[0059]下文中将描述光学特性信息的获得。
[0060]图7是示出了根据一个实施方式的衬底组件和光学传感器的剖视图。
[0061]参照图7，光学传感器可用于获得光学特性信息，其中该光学传感器包括光发射器41和光接收器42。
[0062]在实施方式中，包括光发射器41和光接收器42的光学传感器可用于获得光学特性信息。在该实施方式中，从光发射器41发射的光可传输通过衬底组件S或可从衬底组件S反射，并且从衬底组件S反射的光可到达光接收器42。控制器(未示出)可通过分析由光接收器42接收的光来获得光学特性信息。
[0063]图8是示出了图7所示衬底组件和光学传感器的修改示例的剖视图。
[0064]参照图8，光发射器41和光接收器42可设置在衬底组件S的相反侧上。从光发射器41发射的光可传输通过衬底组件S，然后可到达光接收器42。
[0065]如图7和图8所示的光发射器41和光接收器42的布置图案仅是示例性的，因此布置图案不限于图7和图8所示的示例。
[0066]上文已描述了通过光学传感器获得光学特性信息，但是获得光学特性信息并不限于图7和图8所示的示例。例如，可通过使用颜色传感器从第一衬底10或第二衬底20的表面获得颜色信息，或可使用图像扫描方法以获得第一衬底10或第二衬底20的表面图像。
[0067]返回参照图1，第一衬底10与第二衬底20的分离状态被识别(S40)。
[0068]第一衬底10与第二衬底20的分离状态可基于在S30中获得的光学特性信息进行识别。识别第一衬底10和第二衬底20的分离状态的步骤(即，S40)可涉及将所获得的光学特性信息与参考光学特性信息相比较。即，通过将所获得的光学特性信息与参考光学特性信息相比较，可确定第一衬底10与第二衬底20的分离状态是否正常。参考光学特性信息可以是第一衬底10与第二衬底20适当地彼此分离时第一衬底10和第二衬底20所具有的光学特性信息，并且可包括试验数据。例如，可通过以下步骤获得参考光学特性信息:在第一衬底10与第二衬底20适当地彼此分离时收集样本数据；基于所收集的样本数据测量光学特性信息以及统计计算所测量的光学特性信息，以限定用于第一衬底10和第二衬底20的光学特性的参考范围。
[0069]然而，可以除本文中阐述的方式之外的各种方式获得参考光学特性信息。例如，第一衬底10和第二衬底20处于初始阶段时(即，在第一衬底10和第二衬底20经受激光照射之前)的光学特性信息可用作参考光学特性信息。
[0070]图9是示出了根据一个实施方式的第二衬底的平面图。
[0071]如上所述，通过将所获得的光学特性信息与参考光学特性信息相比较，可确定第一衬底10与第二衬底20是否已适当地彼此分离。例如，可在激光照射之后测量第二衬底20的颜色，并且被测量的颜色可与参考颜色范围相比较。在该示例中，响应于被测量的颜色未达到参考颜色范围的下限，可确定第一衬底10与第二衬底20没有分离，而响应于被测量的颜色超过参考颜色范围的上限，可确定第一衬底10与第二衬底20过度分离。
[0072]在一个实施方式中，响应于第二衬底20为聚酰亚胺(PI)衬底，当与第一衬底10适当分离时，第二衬底20可呈深黄色，当没有与第一衬底10分离时，第二衬底20可呈浅黄色，当与第一衬底10过度分离时，第二衬底20可呈很深的黄色、或甚至为乌黑色。
[0073]下文中将描述可应用上述衬底分离检查方法的衬底分离设备的实施方式。
[0074]图10是示出了根据一个实施方式的衬底分离设备的框图。
[0075]参考图10，衬底分离设备100包括衬底组件S、激光照射单元30、检测单元40、以及确定单元50，其中衬底组件S具有第一衬底10和附接至第一衬底10的第二衬底20，激光照射单元30将激光施加至衬底组件S，检测单元40获得第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性信息，确定单元50基于通过检测单元40获得的光学特性信息确定第一衬底10与第二衬底20的分离状态是否正常。
[0076]激光照射单元30可在第一衬底10与第二衬底20之间施加激光。在一个实施方式中，激光照射单元30可包括这样的元件，其设置在衬底组件S的同一侧上且距第一衬底10预定距离，或设置在衬底组件S相反侧上。在后面的示例中，激光可穿过第一衬底10施加至第二衬底20的表面上。
[0077]已参照图5和图6描述了激光照射单元30将激光施加至衬底组件S的方式，因此，将省略其详细描述。
[0078]检测单元40可获得第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性信息。
[0079]如上所述，第一衬底10和第二衬底20的表面的光学特性可由于激光照射而改变。即，第一衬底10和第二衬底20的表面通过施加至衬底组件S的激光可被(至少部分地)加热或燃烧，并因此，第一衬底10和第二衬底20的表面颜色可改变，或者第一衬底10和第二衬底20的表面可变得乌黑。因此，第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性可改变。在激光照射之后检测单元40可获得第一衬底10和/或第二衬底20的可能与激光照射之前不同的光学特性信息。
[0080]在一个实施方式中，检测单兀40可包括光学传感器(未不出)，并且光学传感器可包括光发射器(未不出)和光接收器(未不出)。
[0081]在一个实施方式中，响应于将从第一衬底10和/或第二衬底20测量的光学特性信息为颜色信息相响应，光学传感器可以是从第一衬底10和/或第二衬底20获得颜色信息的颜色传感器。
[0082]已参照图7和图8描述了通过光学传感器或颜色传感器从第一衬底10和/或第二衬底20获得光学特性信息，因此，将省略其详细描述。
[0083]在图10中，检测单元40被示为但不限于包括光学传感器43或颜色传感器，并且检测单元40获得第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性信息的方式并不限于图10所示的示例。即，检测单元40可使用当前可用的几乎所有类型的方法、或甚至尚待开发的方法，以获得光学特性信息。例如，检测单元40可包括获得第一衬底10或第二衬底20的表面图像的图像扫描设备。
[0084]确定单元50可基于通过检测单元40获得的光学特性信息确定第一衬底10与第二衬底20是否已适当地彼此分离。
[0085]更具体地，确定单元50可将通过检测单元40获得的光学特性信息与参考光学特性信息相比较，以基于通过检测单元40获得的光学特性信息确定第一衬底10与第二衬底20是否已适当地彼此分离。参考光学特性信息可以是第一衬底10与第二衬底20适当地彼此分离时第一衬底10和第二衬底20可具有的光学特性信息，并可包括试验数据。例如，可通过以下步骤获得参考光学特性信息:在第一衬底10与第二衬底20适当地彼此分离时收集样本数据；基于所收集的样本数据测量光学特性信息以及统计计算所测量的光学特性信息，以限定用于第一衬底10和第二衬底20的光学特性的参考范围。
[0086]然而，可以除本文阐述的方式之外的各种方式获得参考光学特性信息。例如，第一衬底10和第二衬底20处于初始阶段时(即，在第一衬底10和第二衬底20经受激光照射之前)的光学特性信息可用作参考光学特性信息。
[0087]下文中将描述根据其他实施方式的衬底分离装置，主要集中在与图10中所示衬底分离设备的差异。在图10至图13中，相同的附图标记指示相同的元件，因此将省略或至少将简化其描述。
[0088]图11是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的部分平面图。
[0089]参照图11，衬底分离设备101可包括检测单元40，并且检测单元40可包括多个光学传感器43。
[0090]可在整个第一衬底10和/或整个第二衬底20上执行衬底分离检查。可替代地，可通过从第一衬底10和/或第二衬底20上的多个位置取样光学特性信息来执行衬底分离检查。对于后面的示例，衬底分离设备101可包括设置在规律的间隔处的多个光学传感器43。如上所述,衬底分离设备101可包括作为光学传感器43的多个颜色传感器。
[0091]图12是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的立体图。
[0092]参照图12，衬底分离设备102包括衬底存储单元70、转移单元(未示出)、激光照射单元30、检测单元40、以及确定单元50，其中衬底存储单元70加载或卸载衬底组件S，转移单元(未示出)沿第一路径Pl转移衬底组件S，激光照射单元30在第一衬底10与第二衬底20之间施加激光，检测单元40检测第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性，确定单元50基于通过检测单元40获得的光学特性信息确定第一衬底10与第二衬底20是否已适当地彼此分离。
[0093]衬底存储单元70可存储多个衬底组件S。衬底存储单元70可将衬底组件S加载至转移单元上或从转移单元卸载衬底组件S。
[0094]可通过转移单元沿第一路径Pl移动衬底组件S。转移单元的结构是不受限的，并且几乎所有类型的用于运输的器件都可用作转移单元。在一个实施方式中，衬底分离设备102可包括但不限于沿第一路径Pl设置的导轨。
[0095]激光照射单元30、检测单元40和确定单元50分别与图10中的对应部分相同，因此，将省略其详细描述。如图12所示的衬底分离设备102的元件的布置图案仅是示例性的，因此，本发明构思不受图12所示示例的限制。
[0096]衬底分离设备102示为包括一个激光照射单元30、一个检测单元40、以及一个确定单元50。可替代地，衬底分离设备102可包括多个激光照射单元、多个检测单元或多个确定单元，因此可同时或顺序地处理多个衬底组件S，这将在下文中进行描述。
[0097]图13是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的平面图。
[0098]参照图13，不同于图12所示衬底分离设备102，衬底分离设备103除了激光照射单元30、检测单元40以及确定单元(未示出)之外，还可包括第二检测单元40b和第二转移单元(未示出)。衬底分离设备103可允许两个衬底组件S和S2沿各自的路径(即，第一路径Pl和第二路径p2) —个接一个或同时进行转移。第一路径pi和第二路径p2可以是分离的路径，或可以部分重叠。
[0099]激光照射单元30在图13中示为但其并不限于位于第一路径Pl与第二路径p2的重叠部分上。相反地，检测单元40或检测单元40b或确定单元可位于第一路径pi与第二路径P2的重叠部分上。
[0100]衬底分离设备103在图13中示为但其并不限于具有多个检测单元。即，衬底分离设备103可包括多个激光照射单元30或多个确定单元。
[0101]至少一个确定单元(未示出)可设置在衬底分离设备103中。该确定单元可基于通过第一检测单元40和/或第二检测单元40b获得的光学特性信息，确定第一衬底组件SI和/或第二衬底组件S2是否已适当地分开。
[0102]在衬底分离设备103包括至少一个激光照射单元、至少一个检测单元或至少一个确定单元的情况下，可减少用于处理衬底组件的时间量，从而提高生产效率。
[0103]下文中将描述根据一个实施方式的制造柔性显示器的方法。
[0104]图14是示出了根据一个实施方式的制造柔性显示器的方法的流程图。
[0105]参照图14，该方法包括结合第一衬底10与第二衬底20 (Sll)、在第二衬底20上形成TFT阵列22(S12)、在第二衬底20上附接上保护膜23(S13)、执行用于使第一衬底10与第二衬底20分离的主衬底分离操作(S14)、在第二衬底20上附接下膜(未示出)(S15)、以及执行用于使上保护膜23与衬底组件S分离的次衬底分离操作(S16)。
[0106]第一衬底10与第二衬底20被结合(Sll)。
[0107]衬底组件S可通过结合第一衬底10与第二衬底20而形成。在一个实施方式中，粘合剂层15可插设在第一衬底10与第二衬底20之间。上文中已描述了第一衬底10、第二衬底20、和粘合剂层15的结构和形状，因此，将省略其详细描述。
[0108]TFT阵列22形成在第二衬底20上(S12)。
[0109]TFT阵列22可形成在第二衬底20上。TFT阵列22可包括设置成矩阵形式的多个TFT。信号接线如栅极线和数据线可形成在第二衬底20上，并且栅极信号和数据信号可通过信号布线施加至每个TFT。用于多个像素的多个像素电极可形成在第二衬底20上。像素电压或电流可通过TFT施加至每个像素电极。
[0110]TFT阵列22可在第一衬底10与第二衬底20结合之后形成在第二衬底20上。可替代地，TFT阵列22可形成在第二衬底20上，并且第二衬底20可结合至第一衬底10。
[0111]上保护膜23可附接至第二衬底20上(S13)。
[0112]上保护膜23可完全覆盖第二衬底20。上保护膜23使第二衬底20固定，以使得可防止第二衬底20在通过第一衬底分离操作与第一衬底10分离之后易于弯曲或扭曲。因此，即使在移除第一衬底10之后，第二衬底20也可容易地处理。因此，用于下膜(未示出)的附接的后续处理可精确且稳定地执行。
[0113]上面已描述了上保护膜23的结构和形状，因此，将省略其详细描述。
[0114]第一衬底10和第二衬底20被分离(S14)。
[0115]执行用于使第一衬底10与第二衬底20分离的第一衬底分离操作的步骤(即，S14)涉及施加激光至第一衬底10与第二衬底20之间的界面、获得第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性信息、基于获得的光学特性信息识别第一衬底10和第二衬底20的分离状态、以及选择被识别为正常的衬底组件S，并利用被选择的衬底组件S进行后续的步骤(即，S16)。
[0116]上面已描述了照射激光至第一衬底10与第二衬底20之间的界面、获得第一衬底10和/或第二衬底20的光学特性信息、以及基于获得的光学特性信息识别第一衬底10和第二衬底20的分离状态，因此，将省略其详细描述。
[0117]该方法可仅利用基于光学特性信息被识别为正常的衬底组件进行S16。因此，可降低柔性显示器的不良率，并可提高柔性显示器的生产效率。
[0118]下膜被附接至第二衬底20的底部，其中第一衬底10已从第二衬底20移除。由于上保护膜23存在于第二衬底20上，所以下膜可精确且稳定地附接至第二衬底20上。一旦下膜被附接至第二衬底20上，则可便于第二衬底20在后续工序中的处理。另外，因为下膜是柔性的，所以可维持柔性显示器的柔性。
[0119]下膜可由包括PEN、PET、PC或PES的塑料材料或包括不锈钢(SUS)的金属箔形成。
[0120]在下膜附接至第二衬底20上之后，该方法进行执行用于移除上保护膜23的第二衬底分离操作的步骤(即，S16)。作为第二衬底分离操作的结果，利用上保护膜23被覆盖的TFT阵列22可被暴露。
[0121]如图14所示的方法仅是示例性的，并且如图14所示的方法的步骤顺序也仅是示例性的。换言之，该方法的步骤可以与图14所示的顺序不同的顺序执行，并且该方法还可包括除图14所示的那些步骤之外的多个其他步骤。
[0122]虽然已参照本发明的示例性实施方式具体示出并描述了本发明，但是本领域普通技术人员应理解，可在形式和细节上做出多种改变，而不背离后附权利要求所限定的本发明的范围和精神。这些示例性实施方式应被认为是描述性，而非用于限制的目的。
【权利要求】
1.一种衬底分离检查方法，包括: 制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件； 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及 基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态。
2.如权利要求1所述的衬底分离检查方法，其中， 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息的步骤包括:施加光至所述第一衬底或所述第二衬底的一侧以及接收从所述第一衬底或所述第二衬底的所述一侧反射的所述光；以及 识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态的步骤包括:将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的颜色信息。
3.一种衬底分离设备，包括: 激光照射单元，配置成施加激光至衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 检测单元，配置成获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及 确定单元，配置成基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与第二衬底的分离状态。
4.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中， 所述检测单元包括光学传感器，所述光学传感器配置成从所述第一衬底或所述第二衬底的表面获得所述光学特性信息，并且所述光学传感器配置成包括: 光发射器，用于向所述第一衬底或第二衬底的表面发射光；以及 光接收器，用于接收从所述第一衬底或所述第二衬底的表面反射的光， 其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的表面的颜色信息，所述光学传感器还配置成获得所述颜色信息。
5.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中， 所述确定单元还配置成通过将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，以识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的表面的颜色信息。
6.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中所述激光照射单元、所述检测单元和所述确定单元中至少之一设置有多个。
7.—种衬底分离设备,包括: 第一转移单元，配置成沿第一路径转移第一衬底组件，所述第一衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 激光照射单元，配置成施加激光至位于所述第一路径上的所述第一衬底组件； 第一检测单元，配置成获得在所述第一路径上被激光照射的所述第一衬底组件的光学特性信息；以及 确定单元，配置成基于通过所述第一检测单元获得的所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态。
8.如权利要求7所述的衬底分离设备，还包括: 第二转移单元，配置成沿第二路径转移第二衬底组件，所述第二衬底组件包括另一第一衬底以及附接至相应的所述另一第一衬底的另一第二衬底；以及 第二检测单元，配置成获得在所述第二路径上被激光照射的所述第二衬底组件的光学特性信息； 其中所述激光照射单元还配置成设置在所述第一路径和所述第二路径的重叠部分上，所述确定单元还配置成基于通过所述第一检测单元或所述第二检测单元获得的所述光学特性信息，确定所述第一衬底组件或所述第二衬底组件是否已适当地分开，其中当所述第一衬底组件和所述第二衬底组件通过所述第一路径和所述第二路径的所述重叠部分时，所述第一衬底组件和所述第二衬底组件被一个接一个地转移。
9.一种制造柔性显示器的方法，包括: 制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件； 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息； 基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态；以及 响应于所述第一衬底与所述第二衬底的所述分离状态被识别为正常，选择所述衬底组件，并使所述第一衬底与所述第二衬底彼此分离。
10.如权利要求9所述的方法，其中， 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息的步骤包括:施加光至所述第一衬底或所述第二衬底的一侧以及接收从所述第一衬底或所述第二衬底的所述一侧反射的所述光；以及 其中识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态的步骤包括:将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的颜色信息。
【文档编号】G09F9/30GK104424855SQ201410306206
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2014年6月30日 优先权日:2013年8月28日
【发明者】孙贞洛, 姜镐龙, 金桢晧, 张硕元 申请人:三星显示有限公司