专利名称：薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法
薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法
技术领域：
本发明涉及薄膜的干燥方法，特别是涉及一种配向膜干燥方法及显示面板的装造 方法。
背景技术：
液晶显示器(Liquid Crystal Display, IXD)已被广泛应用于各种电子产品中， 液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其是由液晶显示面板及背光模块(backlight module)所组成。液晶显示面板是由两片透明基板以及被封于基板之间的液晶所构成。在液晶显示面板的制程中，需制造一配向膜，用以决定液晶的配向方向。通常，此 配向膜的材料为液态的聚酰亚胺(polyimide，PI)，其可通过涂布的方式来形成于液晶显示 面板的基板上。接着，此配向膜需进行加热，以蒸发PI中的液态溶剂，因而形成固态的配向 膜。然而，在一般配向膜的加热过程中，涂布有配向膜的基板是利用设置于加热板上 的支撑柱(supporting pin)，而被置放于靠近于加热板的上方，以进行加热，其中加热的温 度均勻性及干燥速度是影响配向膜的重要因素。而在此加热过程中，支撑柱与基板接触的 位置会有温度不一致的情形，亦即支撑柱所接触的位置的温度是不同于基板的其它位置的 温度。因此，发生基板上的配向膜的干燥速度不一致的情形，而严重地影响配向膜的薄膜质 量。故，有必要提供一种薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法，以解 决现有技术所存在的问题。
发明内容本发明的主要目的在于提供一种薄膜的干燥方法，所述薄膜包括液态溶剂，所述 方法包括如下步骤形成所述薄膜于基板上；置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。本发明的另一目的在于提供一种配向膜的干燥方法，所述配向膜包括液态溶剂， 所述方法包括如下步骤形成所述配向膜于基板上；置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述配向膜的所述液态溶剂气化。本发明的又一目的在于提供一种显示装置的制造方法，所述方法包括如下步骤形成第一配向膜于第一基板上，其中所述第一配向膜包括液态溶剂；形成第二配向膜于第二基板上，其中所述第二配向膜包括所述液态溶剂；
置放所述第一基板及/或所述第二基板于真空腔室内；降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述第一配向膜及/或第二 配向膜的所述液态溶剂气化；以及在所述液态溶剂气化后，形成液晶层于所述第一配向膜与所述第二配向膜之间。在本发明的一实施例中，所述真空腔室内的压力是被降低至预设真空压力，使得 所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。在本发明的一实施例中，所述预设真空压力是依据所述液态溶剂的成份以及常温 条件来决定。在本发明的一实施例中，所述真空腔室内的压力是被降低至预设真空压力，使得 所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化，所述预设真空压力是大于等于13帕且小于 等于53帕。在本发明的一实施例中，所述真空腔室内的压力是被降低至预设真空压力，使得 所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化，所述预设真空压力是大于等于沈帕且小于 等于53帕。在本发明的一实施例中，所述真空腔室的温度为大于等于22°C且小于等于27°C。在本发明的一实施例中，所述方法还包括在所述液态溶剂气化预定时间之后，在常压下加热所述配向膜。在本发明的一实施例中，在加热所述配向膜的过程中，加热温度为大于等于80°C 且小于等于ioo°c。在本发明的一实施例中，所述方法还包括在加热所述配向膜后，对所述配向膜进行高温加热，其中所述高温加热的温度是 大于等于220°C且小于等于230°C。相较于现有的温度不一致问题，本发明的薄膜干燥方法及其应用的配向膜干燥方 法及显示面板的装造方法可在常温条件下干燥薄膜，而不需加热，因而可在温度一致(常 温)的条件下干燥薄膜，以确保干燥后的薄膜质量。为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作 详细说明如下
图1显示依照本发明的一实施例的显示面板与背光模块的剖面示意图；图2显示依照本发明的一实施例的显示面板的制造方法的方法流程图；图3显示依照本发明的一实施例的基板置于真空腔室内的示意图；图4显示依照本发明的一实施例的基板置于加热板上的示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施 例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧 面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用 以限制本发明。
在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。请参照图1，其显示依照本发明的一实施例的显示面板与背光模块的剖面示意图。 本实施例的薄膜干燥方法可应用于液晶显示面板100的装造过程中，用以干燥液晶显示面 板100的配向膜(薄膜)112、122。当应用本实施例的液晶显示面板100来制造显示装置 时，可设置显示面板100于背光模块200上，因而形成液晶显示装置。此液晶显示面板100 可包括第一基板110、第二基板120、液晶层130、第一偏光片140及第二偏光片150。第一 基板110和第二基板120的基板材料可为玻璃基板或可挠性塑料基板，在本实施例中，第一 基板110可例如为具有彩色滤光片(Color Filter, CF)的玻璃基板或其它材质的基板，而 第二基板120可例如为具有薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)矩阵的玻璃基板或 其它材质的基板。值得注意的是，在一些实施例中，彩色滤光片和TFT矩阵亦可配置在同一 基板上。如图1所示，液晶层130是形成于第一基板110与第二基板120之间。第一偏光 片140是设置第一基板110的一侧，并相对于液晶层130 (亦即为第一基板110的出光侧)， 第二偏光片150是设置第二基板120的一侧，并相对于液晶层130(亦即为第二基板120的 入光侧)。如图1所示，在本实施例中，第一基板110可包括第一电极111及第一配向膜112。 第二基板120可包括第二电极121及第二配向膜122。第一电极111和第二电极121优选 是以透光导电材料所制成，例如ITO、IZO、AZO、GZO、TCO或SiO，第一电极111和第二电极 121可施加电压于液晶层130的液晶分子102。在本实施例中，第一电极111例如为共同电 极，第二电极121例如为像素电极。请参照图2，其显示依照本发明的一实施例的显示面板的制造方法的方法流程 图。当进行本实施例的显示面板的制造方法时，首先，形成第一配向膜112于第一基板110 上(步骤S301)，且形成第二配向膜122于第二基板120上(步骤S3(^)。在步骤S301及 S302之前，第一电极111是形成于第一基板110上，第二电极121是形成于第二基板120 上。且在步骤S301及S302之前，具有电极111、121的基板110、120可被预清洗以及预烘 烤，以清洁基板110、120的表面(亦即电极111、121的表面)。在步骤S301及S302中，第 一配向膜112及第二配向膜122的材料可例如为聚酰亚胺(PI)，液态的聚酰亚胺可被涂布 于基板110、120上的电极111、121上，以分别形成第一配向膜112及第二配向膜122。此 时，干燥前的第一配向膜112及第二配向膜122包括液态溶剂，其例如为乙二醇丁醚(Butyl Cellosolve, BC)及 / 或 N-甲基吡啶-2-吡咯烷酮(N-methyl-2-pyrrolidone，NMP)。请参照图2及图3，图3显示依照本发明的一实施例的基板置于真空腔室内的示意 图。接着，置放第一基板110及/或第二基板120于真空腔室101内(步骤S303)，以干燥 基板110、120上的配向膜112、122。此时，第一基板110与第二基板120可同时置放于真 空腔室101内来进行真空干燥；或者，第一基板110与第二基板120各别地置放于真空腔室 101内来进行真空干燥。如图2及图3所示，接着，降低真空腔室101内的压力(步骤S 304)，使得真空腔 室101内的第一配向膜112及/或第二配向膜122的液态溶剂气化，以干燥配向膜112、122。 真空腔室101内的空气可通过一抽气装置(例如泵浦)来抽出至外部，以降低真空腔室101 内的压力。同时，通过真空腔室101的抽气，基板110及/或120上的残留气体可被排除，
5以减少气泡等缺陷，而可确保基板110、120上的薄膜质量。由于液体的气化温度是正比于 其环境压力，因此当真空腔室101内的压力(环境压力)被降低时，真空腔室101内的第一 配向膜112及/或第二配向膜122的液态溶剂的气化温度亦被降低。在本实施例中，真空 腔室101内的压力是被降低至一预设真空压力，而使得配向膜112、122的液态溶剂可在一 常温条件(例如22 35°C )下进行气化，以挥发配向膜112、122的液态溶剂，达到干燥配 向膜112、122的效果。因此，配向膜112、122的液态溶剂可在常温条件下来进行气化，而不 需加热。由于配向膜112、122的液态溶剂可在常温条件下来进行气化，而不需进行加热，亦 即配向膜112、122可在温度一致(常温)的条件下进行干燥，因而配向膜112、122可具有 一致的干燥速度，以改善现有干燥方法的加热温度不一致的问题，确保配向膜的薄膜质量。当真空腔室101内的配向膜112、122的液态溶剂在常温条件下进行气化时，真空 腔室101内的压力为预设的真空压力，例如大于等于13帕且小于等于53帕。此预设真空 压力可依据配向膜112、122的液态溶剂的成份以及常温条件(目前的环境温度)来决定。 例如，在本实施例中，配向膜112、122的液态溶剂成份为BC及NMP，其中BC的含量为51%， NMP的含量为45%，BC的蒸气压(vapor pressure)为沈6帕(Pa)，NMP的蒸气压为53Pa。 此时，此预设真空压力可大于等于沈帕且小于等于53帕，以允许配向膜112、122的液态溶 剂在大于等于22°C且小于等于27°C的常温条件下进行气化。请参照图4，其显示依照本发明的一实施例的基板置于加热板上的示意图。在一 实施例中，在真空干燥后(步骤S304之后)且真空腔室101内的液态溶剂气化预定时间之 后，基板110及/或120上的配向膜112及/或122可在常压下被加热，以确保配向膜112、 122的液态溶剂完全地挥发，达到完全干燥的效果。此时，配向膜112及/或122可通过加 热板102来进行加热，其中基板110及/或120是放置于加热板102的支撑柱103上，且加 热的温度为大于等于80°C且小于等于100°C。接着，可在常压下再进行一次高温加热，以确 保配向膜112、122的液态溶剂完全地挥发。此高温加热的温度可为大于等于220°C且小于 等于2300C ο如图1及图2所示，在干燥配向膜112、122后，接着，形成液晶层130于第一基板 110的第一配向膜112与第二基板120的第二配向膜122之间(步骤S3(^)，而完成液晶显 示面板100。在本实施例中，液晶层130的液晶可先例如利用液晶滴下方式(ODF)来滴在第 一基板110上的框胶(未绘示)内，接着，第二基板120可通过一对位组装设备(未绘示) 来对位及组装于第一基板110上，并固化此框胶，因而形成液晶层130于第一基板110与第 二基板120之间。因此，本发明的薄膜干燥方法可应用于液晶显示面板100的装造过程中，用以干 燥配向膜112、122。当进行薄膜的干燥方法时，薄膜可形成于基板(例如第一基板110及/ 或第二基板120)上，接着，具有待干燥薄膜的基板可被置放于真空腔室101内，接着，可降 低真空腔室101内的压力至预设的真空压力，使得真空腔室101内的薄膜的液态溶剂气化， 以干燥此薄膜。然不限于此，本发明的薄膜干燥方法亦可应用于其它形式的薄膜干燥。由上述可知，本发明的薄膜干燥方法及其应用的配向膜干燥方法及显示面板的装 造方法可在常温条件下干燥薄膜，而不需加热，因而可避免加热温度不一致的情形。因此， 通过本发明的干燥方法，薄膜(如配向膜)可在干燥后具有良好的薄膜质量，例如，薄膜可 具有一致的厚度。再者，在真空干燥的过程中，基板上残留的气泡可被排除，以确保基板上的薄膜质量。 综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限 制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润 饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
权利要求
1.一种薄膜的干燥方法，所述薄膜包括液态溶剂，其特征在于所述方法包括如下步骤形成所述薄膜于基板上； 置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。
2.一种配向膜的干燥方法，所述配向膜包括液态溶剂，其特征在于所述方法包括如 下步骤形成所述配向膜于基板上； 置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述配向膜的所述液态溶剂气化。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述真空腔室内的压力是被降低至预设 真空压力，使得所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于所述预设真空压力是大于等于13帕且小 于等于53帕。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于所述预设真空压力是大于等于26帕且小 于等于53帕。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于所述真空腔室的温度为大于等于22°C且 小于等于27°C。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括如下步骤在所述液态溶剂气化预 定时间之后，在常压下加热所述配向膜。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在加热所述配向膜的过程中，加热温度为 大于等于80°C且小于等于100°C。
9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于还包括如下步骤在加热所述配向膜后，对所述配向膜进行高温加热，其中所述高温加热的温度是大于 等于220°C且小于等于230°C。
10.一种显示装置的制造方法，其特征在于所述方法包括如下步骤 形成第一配向膜于第一基板上，其中所述第一配向膜包括液态溶剂； 形成第二配向膜于第二基板上，其中所述第二配向膜包括所述液态溶剂； 置放所述第一基板及/或所述第二基板于真空腔室内；降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述第一配向膜及/或第二配向 膜的所述液态溶剂气化；以及在所述液态溶剂气化后，形成液晶层于所述第一配向膜与所述第二配向膜之间。
全文摘要
本发明提供一种薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法。此薄膜干燥方法包括如下步骤形成所述薄膜于基板上；置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力。此薄膜干燥方法可应用于配向膜干燥方法及显示面板的装造方法中，本发明可确保干燥后的薄膜质量。
文档编号G02F1/1337GK102078854SQ201010553829
公开日2011年6月1日 申请日期2010年11月18日 优先权日2010年11月18日
发明者廖炳杰, 施翔尹, 李为钧, 贺成明, 郑兴科 申请人:深圳市华星光电技术有限公司