技术总结
本发明公开一种重载基板台的六自由度调整装置，所述基板台设置在所述吊框上，其特征在于，包括：一水平向微调机构，用于实现所述基板台的X、Y和Rz方向调整；一第一垂向微调机构，用于实现所述基板台的Z、Rx和Ry方向调整；所述水平向微调机构包括第一微调结构、第二微调结构和第二垂向微调机构，所述第二垂向微调机构位于所述第二微调机构的下方；所述第一微调机构与所述基板台连接，所述第二微调机构位于所述吊框的下方。
技术研发人员：施胜男;高玉英
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510451390
技术研发日：2015.07.29
技术公布日：2017.02.15