一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法与流程

本发明涉及光掩膜检测技术领域，尤其涉及一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法。

背景技术：

光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像LCD，PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1μm的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。

新光掩膜入厂后，均需要进行宏观检查，检测光掩膜是否存在损伤或这被污染的暇点，因此需要光掩膜宏观检查机，方便检查光掩膜做货前的状态，提高工作效率。

技术实现要素：

针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法。

一种光掩膜宏观多色检查机，它包括主体机构、多色光源和离子气枪；

所述的主体机构包括360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘；

所述的360°旋转光掩膜托盘与360°旋转轴连接在一起，且360°旋转光掩膜托盘能够随360°旋转轴进行360°旋转。

所述的360°旋转轴分别在端部处与360°旋转光掩膜托盘的两条平行边的中点连接，且与360°旋转光掩膜托盘另外两条边平行。

所述的主体机构还包括四根支撑杆和承载框，所述的四根支撑杆连接在承载框的同侧，且分别与承载框在其四个转角处连接在一起。

所述支撑杆的材质为钢材或木材。

优选是支撑杆的材质为钢材。

所述承载框的材质为钢材或朔钢型材。

优选是承载框的材质为钢材。

所述支撑杆和承载框的连接方式为焊接。

所述的360°旋转光掩膜托盘安装在承载框内部。

所述的承载框由载物边框、导轨承载边框、活动边框和灯源及导轨承载边框组成；

所述的活动边框一端与导轨承载边框一端通过转轴连接，所述的活动边框另一端与灯源及导轨承载边框组成的一端卡接；

所述的导轨承载边框底部内侧设置导轨；

所述的灯源及导轨承载边框底部内侧设置导轨；

所述的360°旋转轴一端与导轨承载边框固定连接，360°旋转轴的另一端与灯源及导轨承载边框固定连接。

所述的多色光源包括多色可移动灯源和多色管状灯源；

所述的多色可移动灯源安装在载物边框上，且可以沿载物边框移动。

所述的多色管状灯源安装在灯源及导轨承载边框上。

所述的多色管状灯源安装在灯源及导轨承载边框内侧上部。

所述的离子气枪安装在载物边框上，且可以沿载物边框移动。

在活动边框的外侧设置光掩膜移动承载架；

在光掩膜移动承载架两条平行的边中每一个上分别设置两个支撑体，在光掩膜移动承载架第三条边上设置拉伸把手；

所述的光掩膜移动承载架通过导轨与导轨承载边框和灯源及导轨承载边框活动式连接，通过推动拉伸把手使光掩膜移动承载架沿导轨承载边框和灯源及导轨承载边框上的导轨滑动。

所述的在360°旋转光掩膜托盘四条边的中心处安装真空气阀，在真空气阀上设置气动夹。

在360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处设置升降轴，通过控制升降轴使360°旋转光掩膜托盘沿垂直与360°旋转轴方向进行上升或下降。

当360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴方向进行下降至最低点时，在光掩膜移动承载架的支撑体顶端高度高于360°旋转光掩膜托盘。

当360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴方向进行上升至最高点时，在光掩膜移动承载架的支撑体顶端高度低于360°旋转光掩膜托盘。

一种光掩膜宏观多色检查机的使用方法，具体过程如下：

将光掩膜放到光掩膜移动承载架的支撑体上；

调整360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处的升降轴，使360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴方向进行下降至最低点；

推动拉伸把手，使光掩膜移动承载架沿导轨承载边框和灯源及导轨承载边框上的导轨滑动至360°旋转光掩膜托盘上方；

调整360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处的升降轴，使360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴方向进行上升至最高点，并利用真空气阀和气动夹顺利将光掩膜固定在360°旋转光掩膜托盘上；

拉动拉伸把手，使光掩膜移动承载架沿导轨承载边框和灯源及导轨承载边框上的导轨滑出承载框外；

打开多色管状灯源，在不同颜色灯光下观察光掩膜上下表面的损伤或污染；

通过转动360°旋转轴调整360°旋转光掩膜托盘，将光掩膜旋转至便于观察位置处，采用多色可移动灯源观察；

启动离子气枪，利用离子气枪对光掩膜表面的污染进行清洗，最终确定光掩膜的状态，是否损坏或污染。

上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。

本发明的有益效果：

本发明光掩膜宏观多色检查机的360°旋转光掩膜托盘能能够随360°旋转轴可以进行360°旋转，达到调整视角的目的，更容易观察光掩膜表面的损伤和污染暇点。

本发明光掩膜宏观多色检查机配设离子气枪，在观察光掩膜表面存在污染暇点的同时，能够及时清理。

本发明采用多色光源观察，通过调整多色光源的颜色，实现在不同颜色灯光下观察光掩膜表面。

本发明提供一种光掩膜宏观多色检查机，用于检测光掩膜是否存在损伤或这被污染的暇点，方便检查光掩膜做货前的状态，提高工作效率。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1显示了本发明光掩膜宏观多色检查机结构示意图；

图2显示了本发明光掩膜宏观多色检查机的光掩膜移动承载架承载光掩膜的结构示意图；

图3显示了本发明光掩膜宏观多色检查机的360°旋转光掩膜托盘上装卡光掩膜的结构示意图；

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

一种光掩膜宏观多色检查机，它包括主体机构1、多色光源和离子气枪2；

所述的主体机构1包括360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2；

所述的360°旋转光掩膜托盘1-2与360°旋转轴1-1连接在一起，且360°旋转光掩膜托盘1-2能够随360°旋转轴1-1进行360°旋转。

光掩膜宏观多色检查机设置360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2的目的是，使360°旋转光掩膜托盘1-2能能够随360°旋转轴1-1可以进行360°旋转，达到调整视角的目的，更容易观察光掩膜表面的损伤和污染暇点。

所述的360°旋转轴1-1分别在端部处与360°旋转光掩膜托盘1-2的两条平行边的中点连接，且与360°旋转光掩膜托盘1-2另外两条边平行。

这种对称设置保证360°旋转光掩膜托盘1-2能顺利随360°旋转轴1-1进行360°旋转。

所述的主体机构1还包括四根支撑杆1-3和承载框，所述的四根支撑杆连接在承载框的同侧，且分别与承载框在其四个转角处连接在一起。

所述支撑杆1-3的材质为钢材或木材。

优选是支撑杆1-3的材质为钢材。

由于钢材的承载能力和抗压能力好，利用钢材制备支撑杆1-3，可以提高支撑杆1-3的可靠性，又能达到提高支撑杆1-3使用寿命的目的。

所述承载框的材质为钢材或朔钢型材。

优选是承载框的材质为钢材。

由于钢材的承载能力和抗压能力好，利用钢材制备承载框，可以提高支撑杆1-3的可靠性，又能达到提高承载框使用寿命的目的。

所述支撑杆1-3和承载框的连接方式为焊接。

焊接的连接方式虽然导致不易拆卸的问题，但是这种连接方式更为牢靠，延长光掩膜宏观多色检查机使用寿命，且能避免连接处变形，导致光掩膜宏观多色检查机无法水平放置。

所述的360°旋转光掩膜托盘1-2安装在承载框内部。

所述的承载框由载物边框1-4-1、导轨承载边框1-4-2、活动边框1-4-3和灯源及导轨承载边框1-4-4组成；

所述的活动边框1-4-3一端与导轨承载边框1-4-2一端通过转轴连接，所述的活动边框1-4-3另一端与灯源及导轨承载边框1-4-4组成的一端卡接；

这种设置便于光掩膜移动承载架3的移动，当光掩膜移动承载架3进行移动是，将活动边框1-4-3与灯源及导轨承载边框1-4-4卡接的一端打开，活动边框1-4-3沿另一端的转轴转动，使活动边框1-4-3一侧处于无边框状态，这样就保证光掩膜移动承载架3顺利的沿导轨移动，避免与活动边框1-4-3发生剐蹭，导致待检测光掩膜损伤。

所述的导轨承载边框1-4-2底部内侧设置导轨；

所述的灯源及导轨承载边框1-4-4底部内侧设置导轨；

设置导轨有利于光掩膜移动承载架3的移动。

所述的360°旋转轴1-1一端与导轨承载边框1-4-2固定连接，360°旋转轴1-1的另一端与灯源及导轨承载边框1-4-4固定连接。

所述的多色光源包括多色可移动灯源4和多色管状灯源5；

所述的多色可移动灯源4安装在载物边框1-4-1上，且可以沿载物边框1-4-1移动。

可移动的连接方式便于多色可移动灯源4对光掩膜的更全面观察，且对于局部位置的观察更有利。

所述的多色管状灯源5安装在灯源及导轨承载边框1-4-4上。

所述的多色管状灯源5安装在灯源及导轨承载边框1-4-4内侧上部。

在此处设置多色管状灯源5有利于初步对光掩膜进行观察，为后续的局部观察提供观察依据。

所述的离子气枪2安装在载物边框1-4-1上，且可以沿载物边框1-4-1移动。

移动的连接方式便于实现对光掩膜局部进行清洗，避免大面积清洗造成资源的浪费。

在活动边框1-4-3的外侧设置光掩膜移动承载架3；

在光掩膜移动承载架3两条平行的边中每一个上分别设置两个支撑体3-1，在光掩膜移动承载架3第三条边上设置拉伸把手3-2；

所述的光掩膜移动承载架3通过导轨与导轨承载边框1-4-2和灯源及导轨承载边框1-4-4活动式连接，通过推动拉伸把手3-2使光掩膜移动承载架3沿导轨承载边框1-4-2和灯源及导轨承载边框1-4-4上的导轨滑动。

设置光掩膜移动承载架3便于光掩膜的外置承载，且由于存在光掩膜移动承载架3使光掩膜顺利装卡在360°旋转光掩膜托盘1-2上。

所述的在360°旋转光掩膜托盘1-2四条边的中心处安装真空气阀1-2-1，在真空气阀1-2-1上设置气动夹1-2-2。

设置真空气阀1-2-1和气动夹1-2-2是为了将光掩膜固定在360°旋转光掩膜托盘1-2上，避免在旋转观察过程中出现滑落，导致光掩膜破损。

在360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处设置升降轴，通过控制升降轴使360°旋转光掩膜托盘1-2沿垂直与360°旋转轴1-1方向进行上升或下降。

设置升降轴的目的是便于光掩膜在转移过程的自动对接装卡，避免人工装卡造成的接触污染。

当360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴1-1方向进行下降至最低点时，在光掩膜移动承载架3的支撑体3-1顶端高度高于360°旋转光掩膜托盘1-2。

此处的限定保证光掩膜移动承载架3承载光掩膜顺利移动至360°旋转光掩膜托盘1-2上方，避免摩擦接触，导致光掩膜损坏。

当360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴1-1方向进行上升至最高点时，在光掩膜移动承载架3的支撑体3-1顶端高度低于360°旋转光掩膜托盘1-2。

此处的限定保证光掩膜移动承载架3承载上的光掩膜顺利交接至360°旋转光掩膜托盘1-2上。

结合图1至3，本发明一种光掩膜宏观多色检查机包括360°旋转轴1-1、360°旋转光掩膜托盘1-2、离子气枪2和多色光源，利用多色光源在不同颜色灯光下观察，利用360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2实现光掩膜的360°旋转观察，利用离子气枪2实现具体污染暇点的清洗，光掩膜宏观多色检查机的使用方法具体过程如下：

将光掩膜放到光掩膜移动承载架3的支撑体3-1上；

调整360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的升降轴，使360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴1-1方向进行下降至最低点；

推动拉伸把手3-2，使光掩膜移动承载架3沿导轨承载边框1-4-2和灯源及导轨承载边框1-4-4上的导轨滑动至360°旋转光掩膜托盘1-2上方；

调整360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的升降轴，使360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的升降轴沿垂直360°旋转轴1-1方向进行上升至最高点，并利用真空气阀1-2-1和气动夹1-2-2顺利将光掩膜固定在360°旋转光掩膜托盘1-2上；

拉动拉伸把手3-2，使光掩膜移动承载架3沿导轨承载边框1-4-2和灯源及导轨承载边框1-4-4上的导轨滑出承载框外；

打开多色管状灯源5，在不同颜色灯光下观察光掩膜上下表面的损伤或污染；

通过转动360°旋转轴1-1调整360°旋转光掩膜托盘1-2，将光掩膜旋转至便于观察位置处，采用多色可移动灯源4观察；

启动离子气枪2，利用离子气枪2对光掩膜表面的污染进行清洗，最终确定光掩膜的状态，是否损坏或污染。

通过本实施例可知，本发明是采用多色光源观察，且达到360°旋转观察，达到无死角的检测光掩膜是否损坏或污染，且设置离子气枪2，对于普通的污染暇点能做到定位清洗处理。

本发明设置光掩膜移动承载架3，360°旋转轴1-1和360°旋转光掩膜托盘1-2连接处的设置升降轴，做到光掩膜转载过程中无需手动接触转移，通过装置的自身调整，达到对接的目的，在真空气阀1-2-1和气动夹1-2-2作用下，将光掩膜固定在360°旋转光掩膜托盘1-2上。

虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。