压印装置以及物品制造方法与流程

文档序号:12120971阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压印装置,所述压印装置包括:

供给设备,其被构造为将压印材料供给在基板上的压印区域中;

驱动设备,其被构造为进行用于使模具与供给在所述压印区域中的压印材料接触的驱动;以及

密封设备,其被构造为通过形成气体的流动来密封所述压印区域,

其中,所述供给设备包括具有面对所述基板的面的构件,在所述面中形成有气体流入所述构件的流入口和气体流出所述构件的流出口,并且在所述构件中形成有用于将所述流入口与所述流出口连接的流动路径。

2.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述流入口或所述流出口或两者中的各个的开口宽度,不大于所述供给设备与所述基板之间的距离的2倍。

3.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述构件具有与所述流入口邻近的、朝所述流动路径凸出的曲面,并且所述构件被构造为使得所述流动路径随着曲面内侧而弯曲。

4.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述构件具有与所述流出口邻近的、朝所述流动路径凸出的曲面,并且所述构件被构造为使得所述流动路径随着曲面内侧而弯曲。

5.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述构件形成有连接到所述流动路径的供给口,并且所述构件被构造为使来自所述供给口的气体流出所述流入口。

6.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述构件形成有连接到所述流动路径的供给口,并且所述构件被构造为使来自所述供给口的气体流出所述流出口。

7.根据权利要求1所述的压印装置,其中,所述流入口或所述流出口或两者中的各个的截面面积大于所述供给设备与所述基板之间的流动路径的截面面积。

8.根据权利要求7所述的压印装置,其中,所述流入口或所述流出口或两者中的各个的截面面积不大于所述供给设备与所述基板之间的流动路径的截面面积的10倍。

9.根据权利要求7所述的压印装置,其中,所述流入口或所述流出口或两者中的各个的截面面积不大于所述供给设备与所述基板之间的流动路径的截面面积的2倍。

10.一种压印装置,所述压印装置包括:

台,其被构造为保持基板并且能够移动;

供给设备,其被构造为将压印材料供给在所述基板上的压印区域中;

保持器,其被构造为以与供给在所述压印区域中的压印材料接触的方式保持模具;以及

构件,其与所述保持器和所述供给设备邻近地设置,并且包括面对所述台的面,

其中,所述压印装置具有在所述面与所述台之间、在从所述保持器朝所述供给设备的方向上形成气体的流动的功能,并且所述构件形成有气体的流动路径,使得气体绕流过供给路径,所述供给设备沿所述所述供给路径将所述压印材料供给在所述压印区域中。

11.根据权利要求10所述的压印装置,其中,所述流动路径的流导大于贯穿所述供给路径的气体的流动路径的流导。

12.根据权利要求10所述的压印装置,其中,所述流动路径的流导不大于贯穿所述供给路径的气体的流动路径的流导的10倍。

13.根据权利要求10所述的压印装置,其中,所述流动路径的流导不大于贯穿所述供给路径的气体的流动路径的流导的2倍。

14.一种物品的制造方法,所述方法包括以下步骤:

通过使用根据权利要求1至13中任一项所述的压印装置,在基板上形成图案;以及

对在所述形成步骤中形成有图案的基板进行处理。

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