压印装置以及物品制造方法与流程

文档序号:12120971阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种压印装置以及物品制造方法。所述压印装置包括:供给设备,其被构造为将压印材料供给到基板上的压印区域;驱动设备,其被构造为进行用于使模具与供给到所述压印区域的压印材料接触的驱动;以及密封设备,其被构造为通过形成气体的流动来密封所述压印区域,其中,所述供给设备包括具有面对所述基板的面的构件,在所述面中形成有气体流入所述构件的流入口和气体流出所述构件的流出口,并且在所述构件中形成有用于将所述流入口与所述流出口连接的流动路径。

技术研发人员:中川一树
受保护的技术使用者:佳能株式会社
文档号码:201610807111
技术研发日:2016.09.07
技术公布日:2017.03.15

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