一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具及应用的制作方法

文档序号:12269693阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具,其特征在于,包括样品夹具,所述样品夹具采用合金或铁氟龙作为主体材料,所述样品夹具表面的中央位置设有与待对准样品尺寸相匹配的样品夹具凹槽(2),所述样品夹具凹槽(2)上下位置分别设有固定作用的螺纹通孔(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具,其特征在于,所述样品夹具上下两侧对称设有固定作用的内凹孔(1),所述样品夹具左右两端对称设有固定作用的夹具斜坡(4)。

3.根据权利要求1所述的一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具,其特征在于,所述样品夹具凹槽(2)通过精密机械加工工艺制作,所述样品夹具凹槽(2)内表面采用粗糙面结构设置,所述样品夹具凹槽(2)采用四边形或圆形结构设置,且四边形的四个角采用倒圆角结构设置。

4.根据权利要求1~3所述的一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具的应用方法,其特征在于,步骤如下:

步骤一,选用样品夹具,使其样品夹具凹槽(2)与待对准样品(下样品)的尺寸相匹配,并将下样品嵌入到样品夹具凹槽(2)中;

步骤二,调整光刻机样品台与掩膜版放置位置之间的相对高度,将装载有下样品的样品夹具置于光刻机的样品台上,样品台抽真空后,使样品夹具通过固定作用内凹孔(1)与固定作用的夹具斜坡(4)固定在样品台上;

步骤三,将标准样品(上样品)采用掩膜版真空吸住并固定,调整样品台高度,使下样品靠近上样品,利用光刻机的左右两个光学显微镜观察两个样品,并调整样品台位置,在事先设计并制作出的对准标记引导下,使下样品与上样品精确对准;

步骤四,调整样品台高度,使上样品与下样品相接触,继续用光刻机的左右两个光学显微镜观察上下样品的相对位置,使上下样品精确对准,并通过螺钉与方形垫片通过固定作用的螺纹通孔(3)将上下样品进行固定;

步骤五,在光刻机的样品台上取下已固定样品相对位置的夹具,以进行后续加工。

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