技术特征：
技术总结
本发明提供一种调控加电探针与玻璃基板接触的装置、系统及方法，所述装置包括至少一个夹持装置以及与夹持装置数量相对应的马达，其中：夹持装置包括上盖、底座和探针基座，夹持装置的探针基座上固定有至少一个探针，上盖和探针分别与所述玻璃基板的上下表面相夹持；在探针基座内部位于每一探针底端均设置有一压力传感器，压力传感器用于感测与其连接的探针的压力值；每一马达与一夹持装置的上盖和底座相连接，马达用于控制所述上盖和底座的行程。本发明通过在探针底部加传感器以及对上盖和探针基座进行行程控制，在探针的压力数据达不到要求时，对行程进行修改并控制实现，解决了现有技术情况下探针与玻璃基板接触不良不被发现的问题。
技术研发人员：苑春歌
受保护的技术使用者：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：2018.04.03
技术公布日：2018.11.06