况下，这些光学装置15能够探测设置在面板90的第一面上的标记，从而便于对准面板90的第二面上的图像。
[0073]托盘I还具有吸附装置，使得面板90通过吸附力抵靠在工作台面13上。为此，工作台面13具有在整个工作台面13上分布并通过管道网络(未示出)连接至框架10下方的多个真空泵22的吸附孔21。这些吸附孔21可以组织成不同的吸附区域，这些吸附区域可作为根据面板尺寸的变化而彼此独立地运行。
[0074]为了改善面板90抵靠工作台面13的保持力，特别地为了确保面板侧部90a_90a和面板的角部被适当地下压，托盘I还具有第一类型的保持装置30a，30b和第二类型的保持装置40a，40b，每个保持装置都被配置为保持并压持面板90的一个侧部。
[0075]第一类型的第一保持装置30a大致沿着工作台面13的第一边缘13a布置。其包括平行于第一方向X沿着一定长度的延伸的条状件形式的力施加器31，所述长度至少大致等于工作台面13的第一边缘13a的长度。该实例中，该条状件长61cm。
[0076]第一类型的第二保持装置30b完全类似于第一保持装置30a，区别在于其大致沿着工作台面13的第二边缘13b布置。类似地，其力施加器31为平行于第二方向Y沿着一定长度的延伸的条状件形式，所述长度至少大致等于工作台面13的第二边缘13b的长度。该实例中，该条状件长为75cm。
[0077]如图6A和6B所示，第一类型的每个保持装置30a，30b具有托架32，其安装为沿着设置在框架10下方的导轨33移动，并分别垂直于工作台面13的第一边缘13a和第二边缘13b。每个托架还枢转地承载曲柄34，托架大致处于曲柄的中部。力施加器31通过两个立柱35安装在曲柄34上，立柱35大致位于在力施加器长度的三分之一和三分之二处，立柱通过狭槽16穿过框架且可枢转地连接至曲柄34的端曲柄梢34a。
[0078]第一类型的每个保持装置30a，30b具有配置为竖直地移动力施加器31的第一致动器36，以及配置为水平地移动力施加器31的第二致动器38。
[0079]第一致动器为气动升降机36，其具有固定至托架32的第一和第二入口 36a和36b，并且具有通过枢轴连接至曲柄34的中心曲柄梢34b的杆37的活塞。
[0080]以此方式，当气动压力经由第一入口 36a进入升降机36的腔室中时，活塞被朝外推动，从而使升降机36的杆37伸长，因而曲柄34沿逆时针方向被驱动，使得立柱35向下移动，并带动力施加器31向下移动，从而向工作台面13施加力，或当所述面板90放置在工作台面13上时，向面板90施加力。
[0081]相反，当气动压力经由第二入口 36b进入升降机36的腔室中时，活塞被朝内推动，从而使升降机36的杆37缩短，因而曲柄34沿顺时针方向被驱动，从而向上驱动立柱35和力施加器31，并释放施加在工作台面13或面板90上的压力。
[0082]第二致动器是另一气动升降机38，其具有第一和第二入口 38a和38b，且所述气动升降机38的活塞杆连接至托架32的。
[0083]以此方式，当气动压力经由第一入口 38a进入升降机38的腔室中时，活塞被朝外推动，从而导致升降机38的杆伸长，托架32被横向朝外驱动，因而使得力施加器31也被横向朝外驱动，远离工作台面13。
[0084]相反，当气动压力经由第二入口 38b进入升降机38的腔室中时，活塞被朝内推动，从而将升降机38的杆缩短，托架32被横向朝内驱动，因而使得力施加器31也被横向朝内驱动，朝向工作台面13。
[0085]第二类型的第一保持装置40a具有平行于第一方向X延伸的条状件形式的力施加器41，从而能够保持面板90的第三边缘90c的大部分及其第四角部。该实例中，该条状件长 42cm。
[0086]第二类型的第二保持装置40b也具有平行于第二方向Y延伸的条状件形式的力施加器41，从而能够保持面板90的第四边缘90d的大部分。该实例中，该条状件长15cm。
[0087]如图5和7所示，第二类型的每个保持装置40a，40b分别具有托架42，所述托架42如下安装:其沿着设置在框架10下方的导轨43移动并分别从工作台面13的第三边缘13c或第四边缘13d大致沿对角方向朝向工作台面13的内部延伸的行程移动。
[0088]力施加器41通过立柱44安装在托架42上，所述立柱44通过狭槽18c或18d穿过框架10，所述狭槽18c或18d从工作台面13的外侧向工作台面13的内侧且平行于导轨43延伸。优选地，并用于第二类型的第二保持装置40b而所示出的(但在其他实施方案中也适用于第二类型的第一保持装置40a)，立柱44大致设置在力施加器41长度方向上的中间处。
[0089]第二类型的每个保持装置40a，40b包括致动器45 (更精确地为包括气动升降机)，致动器45配置为在竖直方向上移动立柱44，从而在竖直方向上移动力施加器41。
[0090]第二类型的每个保持装置40a，40b还配备有移动装置49，其配置为沿着导轨43移动托架42。为此，移动装置49包括由步进电机47驱动的蜗杆46，托架42固定至啮合在蜗杆46上的螺母48。
[0091]因而，移动装置49使得托架42沿其行程移动、并从而使得力施加器41也沿其行程移动，以使力施加器41的位置适应于使用的面板90的尺寸。
[0092]当托盘I未使用时，为保护每个保持装置30a，30b，40a，40b的力施加器31，41，并且为了能更加容易地清洁托盘，框架10的顶面11包括沿着工作台面13的边缘13a-13d靠后设置的凹槽17。这些凹槽17与力施加器31，41的尺寸相匹配，从而能够在托盘I未使用时将力施加器31，41容纳在框架10中。
[0093]下文将参考附图3A，3B，4A和4B来描述托盘I的操作。在图3A和3B的实例中，使用大尺寸面板90，而在图4A和4B的实例中，使用较小的面板90’。
[0094]当一系列新的面板90待曝光时，通过设置尺寸(即使用的面板90的长度和宽度)对托盘I进行初始化。随后，通过所述移动装置来驱动第二类型的保持装置40a，40b，从而将各个力施加器41移至待用位置，在待用位置处力施加器沿着为面板90的第三和第四边缘90c，90d所期望的位置延伸并略微靠后设置，并距离框架10的顶面11 一定距离。典型地，相对于面板90的边缘设置约1mm的水平间隙，相对于顶面11设置约20mm的竖直间隙。
[0095]对第一类型的保持装置30a，30b进行致动，从而将每个力施加器31移至待用位置，在待用位置处力施加器沿着工作台面13的第一和第二边缘13a和13b延伸并略微靠后设置，并距离框架10的顶面11 一定距离。典型地，相对于工作台面13的边缘13a和13b设置约25mm的水平间隙，相对于顶面11设置约20mm的竖直间隙。
[0096]在该初始位置，操作者99可将未曝光的面板90放置在工作台面13上，并通过朝着止动件14推动面板而抵住第一和第二边缘13a，13b并抵住工作台面13的参照角C从而将面板定位。图3A示出了这种配置。
[0097]一旦面板被合适地定位，操作者99可使得保持装置30a，30b，40a，40b移动至保持状态。该状态下，第一类型的保持装置30a，30b的第二致动器38在面板90的第一和第二边缘90a和90b上水平地移动力施加器31。此后，保持装置30a，30b的第一致动器36朝着工作台面13垂直移动力施加器31，从而到达保持位置，在该保持位置处，力施加器向面板90施加竖直的力。
[0098]当第二类型的保持装置40a，40b达到保持状态下，移动装置49在面板90的第三和第四边缘90c，90d上水平地移动力施加器41。此后，这些保持装置40a，40b的升降机45朝着工作台面13竖直地移动力施加器41，从而到达各自的保持位置，在该保持位置处，力施加器向面板90施加竖直的力。图3B示出了这种设置。
[0099]在这种设置中，面板90被紧固地抵靠工作台面13压持，然后准备面向曝光装置呈现。特别地，应观察到，面板90的四个角部、面板90的第一和第二边缘90a和90b的大致整个长度、面板90的第三边缘90c的主要部分(即其长度的至少一半)，以及面板90的第四边缘90d的至少中间部分被力施加器31，41向下按压。
[0100]一旦曝光结束，保持装置返回至图3A的待用位置，从而释放已曝光的面板90，随后操作者99可移走面板90，以将新的面板放置就位并开始新的循环。当然可以理解如下情况:可完美地由机械夹具和传送装置来替换操作者99以自动装载和卸载面板90。
[0101]当使用较小尺寸的面板90 ’时，通过移动装置使得第二类型的保持装置40a和40b朝着工作台面13内部行进，从而使得它们的待用和保持位置与新面板90’的尺寸匹配。这些保持装置40a和40b的行程相对于工作台面13的边缘13c和13d倾斜。
[0102]更精确而言，