第二类型的第一保持装置40a的行程可通过查看狭槽18c来估计，所述第二类型的第一保持装置40a的行程与工作台面13的第三边缘13c (即与第一方向X)形成近似为70°的角度A。以此方式，尽管面板90’的尺寸较小，第二类型的第一保持装置40a仍能将面板90’的第四角部和第三边缘90’ c的主要部分保持。
[0103]第二类型的第二保持装置40b的行程可通过查看狭槽18d来观察，所述第二类型的第二保持装置40b的行程与工作台面13的第四边缘13d(即与第二方向Y)形成近似为56°的角度B。以此方式，尽管面板90’的尺寸较小，第二类型的第二保持装置40b仍能保持第四边缘90’ d的中间部分。
[0104]下文将参考附图8和9来描述示例性的曝光机80。该曝光机80包括直接成像类型的曝光头81，例如包括能够基于数字负片投影图像的可控微镜矩阵。该曝光机80还具有根据本发明的托盘I (例如如上所述的)，其用于保持待曝光的面板90。
[0105]曝光机80还具有能够沿两个方向X和Y在水平平面内移动托盘I的二维移动装置82。为此，托盘可固定在第一托架83上，所述第一托架83可沿第一导轨84并平行于第一方向X移动，这些第一导轨自身被可沿着第二导轨86并平行于第二方向Y移动的第二托架85承载。以此方式，能够在操作者99进行工作以装载和卸载面板90的装载区域87与面向曝光头81的区域之间移动托盘I。
[0106]此外，当面板90大于曝光头能够投影的图像尺寸时，移动装置通过将面板90移动至面对曝光头81的连续的位置上而以分块的方式使面板曝光。
[0107]为了确保在图像被投影时图像被精确地对准(包括在托盘I移动时投影的图像变化的时候)，移动装置82被配置为对托盘I进行精确度大约为3 μ m的绝对定位，即使在托盘I移动时，并且使得托盘的移动速度有可能达到大约为420毫米每秒(mm/s)。必要时，移动装置82可被配置为实现高达800mm/s的最大速度。
[0108]本说明书中描述的各实施方案是以非限制性叙述的方式给出，并且根据说明书的精神，本领域技术人员能够容易地修改这些实施方案或可预料到其他实施方案，而这些都落在本发明的范围内。
[0109]此外，这些实施方案的各个特征可单独使用或彼此组合使用。当被组合时，这些特征可以上述方式或以其它方式进行组合，本发明并不限制为本说明书中所描述的特定组合。特别地，除非有相反的说明，否则在一个实施方案中描述的特则可以类似的方式应用至其他实施方案。
【主权项】
1.一种适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，该托盘包括: 工作台面(13)，其适配成接收不同尺寸的面板(90)，所述工作台面(13)大致为平面且具有沿着限定参照角(C)的基本正交的第一和第二方向(X，Y)延伸的相邻的第一和第二边缘(13a，13b);以及 第一类型的第一和第二保持装置(30a，30b)和至少一个第二类型的第一保持装置(40a)，每个保持装置能够在第一、保持状态与第二、待用状态之间被致动，在所述第一、保持状态下每个保持装置朝向工作台面(13)施加压力从而限定保持位置；在所述第二、待用状态下压力被释放； 所述托盘的特征在于，其进一步包括定位装置(14)，所述定位装置(14)沿着第一边缘(13a)的至少一部分且沿着第二边缘(13b)的至少一部分设置； 并且特征还在于，第一类型的保持装置(30a，30b)分别沿着第一和第二边缘(13a，13b)的至少一部分延伸，所述第一类型的保持装置(30a，30b)的保持位置被固定在平行于工作台面的平面上；且 特征还在于，所述第二类型的保持装置(40a)能够在平行于工作台面(13)的平面上移动，以将第二类型的保持装置(40a)的保持位置适配成根据所使用的面板(90)尺寸来变化。
2.根据权利要求1所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中定位装置包括倚靠工作台面(13)的第一边缘(13a)和/或第二边缘(13b)设置的至少一个止动件(14)。
3.根据权利要求1所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中所述第二类型的第一保持装置(40a)能够沿着如下行程平移移动:所述行程至少从工作台面(13)的第三边缘(13c)朝向工作台面(13)的内部并大致朝向所述第一类型的第一保持装置(30a)延伸。
4.根据权利要求3所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中所述第二类型的第一保持装置的行程与第一方向(X)所成的角度(A)严格介于45°至90°之间，优选地介于65°至75°之间。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其包括第二类型的第二保持装置(40b)， 其中所述第二类型的第二保持装置(40b)能够沿着如下行程平移移动:所述行程至少从工作台面(13)的第四边缘(13d)朝向工作台面(13)的内部且大致朝向所述第一类型的第二保持装置(30b)延伸；且 其中所述行程与第二方向(Y)所成的角度(B)严格介于45°至90°之间，优选地介于50°至60°之间。
6.根据权利要求3所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中至少一个第二类型的保持装置(40a，40b)的最大行程延伸超过至少10cm，优选地超过至少35cm，更优选地超过至少50cm，并且其中所述第一类型的保持装置(30a，30b)的最大横向行程小于10cm，优选地小于5cm。
7.根据权利要求1所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其包括至少一个第一移动装置(49)，用于移动至少一个第二类型的保持装置(40a，40b)。
8.根据权利要求7所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中所述第一移动装置(49)包括蜗杆(46)，其与固定至所述第二类型的保持装置(40a，40b)的螺母(48)协同工作。
9.根据权利要求1所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中至少一个所述保持装置(30a，30b，40a，40b)并且优选每个保持装置(30a，30b，40a，40b)包括由致动装置(36，38，45)致动的力施加器(31，41)，所述致动装置(36，38，45)配置为在保持状态下朝着工作台面(13)将力施加器(31，41)下降，并且在待用状态下使力施加器(31,41)升起远离工作台面(13) —定距离。
10.根据权利要求9所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中在待用状态下所述力施加器(31，41)的位置比其在保持状态下的位置更高、更远。
11.根据权利要求9或10所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中至少一个所述第一类型的保持装置(30a，30b)的致动装置包括配置为将力施加器(31)升起或使所述力施加器(31)下降的第一致动器(36)和配置为使所述力施加器(31)横向行进或后退的第二致动器(38)。
12.根据权利要求7和9所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，其中至少一个所述第二类型的保持装置(40a，40b)的致动装置包括配置为使所述力施加器(41)升起或使力施加器(41)下降的单独的致动器(45)，并且其中对应的移动装置(49)配置为使得力施加器(41)横向行进或后退。
13.根据权利要求1所述的适配成在面板曝光机中面向曝光装置来呈现面板的托盘，进一步包括配置为通过吸附力将面板(90)保持在工作台面(13)上的吸附装置(21，22)。
14.一种面板曝光机，包括曝光装置(81)和根据前述任一项权利要求所述的适配成面向曝光装置(81)来呈现面板(90)的托盘(I)。
15.根据权利要求14所述的面板曝光机，其中，所述托盘(I)能够在平行于工作台面的平面上相对于所述曝光装置(81)移动。
【专利摘要】本发明公开了一种用于曝光机的托盘，能够保持并下压面板以面向曝光装置来呈现面板。所述托盘包括工作台面，其适配成接收不同尺寸的面板，工作台面大致为平面且具有沿着限定参照角(C)的大致正交的第一和第二方向(X，Y)延伸的相邻的第一和第二边缘；第一类型的第一和第二保持装置和至少一个第二类型的第一保持装置，每个保持装置可在第一、保持状态与第二、待用状态之间被致动，在所述第一、保持状态下每个保持装置朝向工作台面施加压力从而限定保持位置；在所述第二、待用状态下压力被释放；以及定位装置，其沿着第一边缘的至少一部分且沿着第二边缘的至少一部分设置。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN104635431
【申请号】CN201410783945
【发明人】A·R·勒布谢
【申请人】阿卢蒂克斯公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2014年11月5日
【公告号】EP2871524A1, US20150124235