Mems光阀及其制作方法、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示领域，尤其涉及一种MEMS光阀及其制作方法、显示装置。
【背景技术】
[0002] 目前，微机电开关（MEMS :Micr〇-Electro_Mechanical Systems)技术作为未来显 示的一个发展方向，其在功耗方面相对LCD有着不可比拟的优势，在利用MEMS技术实现的 显示装置中，其利用MEMS光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制背光源发出的光的透光率， 从而实现图像的显示。
[0003] 图1是现有技术中的一种MEMS光阀的结构示意图，其包括固定在衬底10'上的固 定光栅20'以及与固定光栅20'相对设置的可动光栅30'，其显示原理是：当固定光栅20' 与可动光栅30'之间具有电位差时，固定光栅20'、可动光栅30'带有异种电荷，使得固定光 栅20'与可动光栅30'之间产生静电力，在静电力的作用下，可动光栅与位于其下方的固定 光栅20'形成有相对位移（如图2所示），进而使得透过固定光栅20'的光线可以有选择性 地透过可动光栅30 '，实现光阀在暗态与亮态之间的转换。然而，对于采用上述MEMS光阀实 现的显不装置，为提尚显不效果，MEMS光阀必须具备良好的开关能力，因此，如何提尚MEMS 光阀在暗态与亮态之间转换速度是目前亟待解决的问题。
【发明内容】
[0004] (一）要解决的技术问题
[0005] 本发明要解决的技术问题是如何提高MEMS光阀在暗态与亮态之间的转换速度。
[0006](二）技术方案
[0007] 为解决上述技术问题，本发明的技术方案提供了一种MEMS光阀，包括衬底、设置 在所述衬底上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述固定光栅包括多个第 一电极条，所述多个第一电极条间隔设置以构成光栅结构，所述可动光栅包括多个第二电 极条，所述多个第二电极条间隔设置以构成光栅结构，所述第一电极条朝向所述可动光栅 的表面和/或所述第二电极条朝向所述固定光栅的表面为非平面状。
[0008] 进一步地，所述非平面状为以下的任一形状：凹状、凸状、凹凸状。
[0009] 进一步地，所述第一电极条的横截面形状和/或所述第二电极条的横截面形状为 V字型。
[0010] 进一步地，所述第一电极条的横截面与所述第二电极条的横截面的形状相同。
[0011] 进一步地，所述第一电极条朝向所述可动光栅的表面以及所述第二电极条朝向所 述固定光栅的表面均为凸状或均为凹凸状。
[0012] 为解决上述技术问题，本发明还提供了一种显示装置，包括上述任一的MEMS光 阀。
[0013] 为解决上述技术问题，本发明还提供了一种MEMS光阀的制作方法，包括：
[0014] 在衬底上形成固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述固定光栅包括 多个第一电极条，所述多个第一电极条间隔设置以构成光栅结构，所述可动光栅包括多个 第二电极条，所述多个第二电极条间隔设置以构成光栅结构，所述第一电极条朝向所述可 动光栅的表面和/或所述第二电极条朝向所述固定光栅的表面为非平面状。
[0015] 进一步地，所述非平面状为以下的任一形状：凹状、凸状、凹凸状。
[0016] 进一步地，所述第一电极条的横截面形状和/或所述第二电极条的横截面形状为 V字型。
[0017] 进一步地，所述第一电极条的横截面与所述第二电极条的横截面的形状相同。
[0018] 进一步地，所述第一电极条朝向所述可动光栅的表面以及所述第二电极条朝向所 述固定光栅的表面均为凸状或均为凹凸状。
[0019](三）有益效果
[0020] 本发明提供的MEMS光阀，通过将固定光栅的第一电极条以及可动光栅的第二电 极条设为非平面状，从而能够增大电极条的面积，当固定光栅与可动光栅之间具有电位差 时，能够有效提高两者之间的静电力，进而提高MEMS光阀在暗态与亮态之间的转换速度。
【附图说明】
[0021] 图1是现有技术中的一种MEMS光阀的结构示意图；
[0022] 图2是图1所示的MEMS光阀在暗态与亮态之间转换的示意图；
[0023] 图3是本发明实施方式提供的第一种MEMS光阀的结构示意图；
[0024] 图4是图3所示的MEMS光阀在暗态与亮态之间转换的示意图；
[0025] 图5是本发明实施方式提供的第二种MEMS光阀的结构示意图；
[0026] 图6是本发明实施方式提供的第三种MEMS光阀的结构示意图；
[0027] 图7是图6所示的MEMS光阀在暗态与亮态之间转换的示意图；
[0028] 图8是本发明实施方式提供的第四种MEMS光阀的结构示意图；
[0029] 图9是本发明实施方式提供的第五种MEMS光阀的结构示意图；
[0030] 图10~图15是本发明实施方式提供的一种制作MEMS光阀的示意图。
【具体实施方式】
[0031] 下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施 例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0032] 本发明实施方式提供了一种MEMS光阀，该MEMS光阀包括衬底、设置在所述衬底上 的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述固定光栅包括多个第一电极条，所 述多个第一电极条间隔设置以构成光栅结构，所述可动光栅包括多个第二电极条，所述多 个第二电极条间隔设置以构成光栅结构，所述第一电极条朝向所述可动光栅的表面和/或 所述第二电极条朝向所述固定光栅的表面为非平面状。
[0033] 其中，在本发明中，固定光栅中的第一电极条以及可动光栅的第二电极条均由不 透明的导电材料形成，当固定光栅与可动光栅之间具有电位差时，可动光栅被两者间产生 的静电力所驱动，与固定光栅形成相对位移，进而使得透过固定光栅的光线可以有选择性 地透过可动光栅，实现光阀在暗态与亮态之间的转换。
[0034] 本发明实施方式提供的MEMS光阀，通过将固定光栅的第一电极条以及可动光栅 的第二电极条设为非平面状，从而能够增大电极条的面积，当固定光栅与可动光栅之间具 有电位差时，能