行显影液喷嘴平行，显影原液喷嘴用于向待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板进行显影所需的显影液，这样通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
【附图说明】
[0035]图1为本发明实施例提供的显影机的结构示意图；
[0036]图2为本发明实施例提供的显影机中显影供液系统的结构示意图；
[0037]图3为本发明实施例提供的显影机的显影方法流程图；
[0038]图4为本发明实施例提供的对玻璃基板进行显影的过程示意图。
【具体实施方式】
[0039]下面结合附图，对本发明实施例提供的显影机及显影方法的【具体实施方式】进行详细说明。
[0040]本发明实施例提供了一种显影机，如图1所示，可以包括:至少一行显影液喷嘴1、至少一行显影原液喷嘴2、显影腔和显影供液系统；其中，显影腔设置有倾斜的滑动轨道3，待显影玻璃基板4放置于倾斜滑动轨道3上；至少一行显影液喷嘴I位于待显影玻璃基板4的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴I与待显影玻璃基板4的倾斜面的边缘平行，显影液喷嘴I用于向待显影玻璃基板4的一端帘式喷洒显影液；至少一行显影原液喷嘴2位于待显影玻璃基板4的倾斜面的中部区域的上方，且每行显影原液喷嘴2与每行显影液喷嘴I平行，显影原液喷嘴2用于向待显影玻璃基板4的中部帘式喷洒显影原液；其中，待显影玻璃基板4的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准，在中位线两侧具有预设规定量的区域，显影原液的浓度大于显影液的浓度；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板4进行显影所需的显影液。
[0041]本发明实施例提供的上述显影机包括:至少一行显影液喷嘴1、至少一行显影原液喷嘴2、显影腔和显影供液系统；其中，显影腔设置有倾斜的滑动轨道3，待显影玻璃基板4放置于倾斜的滑动轨道3上；至少一行显影液喷嘴I位于待显影玻璃基板4的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴I与待显影玻璃基板4的倾斜面的边缘平行，显影液喷嘴I用于向待显影玻璃基板4的一端帘式喷洒显影液；至少一行显影原液喷嘴2位于待显影玻璃基板4的倾斜面的中部区域的上方，且每行显影原液喷嘴2与每行显影液喷嘴I平行，显影原液喷嘴2用于向待显影玻璃基板4的中部帘式喷洒显影原液；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板4进行显影所需的显影液，这样通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
[0042]在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，显影机包括的显影液喷嘴数量与显影原液的喷嘴数量可以根据待显影玻璃基板的尺寸规格，以及进行显影所需要的显影液的浓度进行设置，因此显影机可以包括至少两行显影液喷嘴和至少两行显影原液喷嘴；其中第一行显影液喷嘴位于待显影玻璃基板倾斜面高的一端的上方，其余行显影液喷嘴位于第一行显影液喷嘴与待显影玻璃基板中部区域对应的上方区域之间的区域；第一行显影原液喷嘴位于待显影玻璃基板倾斜面的中部区域的上方，其余行显影原液喷嘴位于第一行显影原液喷嘴与待显影玻璃基板倾斜面低的一端对应的上方区域之间的区域；其中，待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准，在中位线两侧具有预设规定量的区域，其中各行显影液喷嘴与各行显影原液喷嘴之间的间距，相邻行显影液喷嘴与显影原液喷嘴之间的距离，可以根据待显影玻璃基板进行显影所需的显影液的浓度进行设定，因此，本发明实施例提供的上述显影机可以根据实际需要自由调节喷嘴的数量和排布，以提高玻璃基板整面的显影均匀性。
[0043]在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，为了提高对待显影玻璃基板整个表面的显影均匀性，因此将显影液喷嘴与显影原液喷嘴的帘式喷洒方式设置为均匀且连续的帘式喷洒，这样显影液喷嘴与显影原液喷嘴喷洒出的溶液可以形成均匀且连续的液帘，由于流出的液面连续均匀且无需摇摆，因此可以确保玻璃基板在滑动轨道匀速传输的情况下，保证了显影液在垂直倾斜方向的均匀性，进一步保证实现玻璃基板表面显影均匀性，同时，根据待显影玻璃基板的尺寸规格，可以调整显影液喷嘴和显影原液喷嘴的数量，喷洒溶液的速度，以及所需显影液的浓度，可以进一步提高玻璃基板整面显影的均匀性。
[0044]在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，如图2所示，显影供液系统可以具体包括:显影液槽10、显影原液槽11和带控制阀的原液补充管道12 ;其中，显影液槽10的固定位置低于显影原液槽11的固定位置，显影液槽10与显影原液槽11通过原液补充管道12相连；显影液槽10用于向显影液喷嘴I提供显影液；显影原液槽11用于向显影原液喷嘴2提供显影原液以及在显影液槽10内的显影液浓度偏低时通过打开控制阀向显影液槽10补充显影原液。
[0045]具体地，本发明实施例提供的上述显影机中，显影液槽10与显影原液槽11分别提供不用浓度的显影液，显影液槽10向显影液喷嘴提供显影液，显影原液槽11向显影原液喷嘴2提供显影原液以及在显影液槽10内的显影液浓度偏低时向显影液槽10补充显影原液，这样在对玻璃基板进行显影时，通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，将显影液槽与显影原液槽通过原液补充管道连接，随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤