一种显影设备和显影方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及液晶显示领域，尤其涉及一种显影设备和显影方法。
【背景技术】
[0002] 众所周知，液晶显示器具有功耗低、体积小、重量轻、超薄屏等许多其他显示器无 法比拟的优点，近年来被广泛应用于单片机控制的智能仪器、仪表和低功耗电子产品中。
[0003] 如图1所示，目前的显影设备在对液晶显示器的基板进行显影时，包括有以下工艺 过程:将基板3放置于承载平台1上，承载平台1带动基板3与水平面呈预设倾斜角，采用显影 机的多个喷嘴2对基板3喷洒显影液，进而对基板3进行显影。
[0004] 如图1所示，目前的显影设备在对液晶显示器的基板进行显影时，包括有以下工艺 过程:将基板3以预设倾斜角Θ放置于承载平台1上，采用显影机的多个喷嘴2对基板3喷洒显 影液，进而对基板3进行显影。然而，在目前的显影过程中，多种因素均会造成基板3不同位 置接触到的显影液量不均匀，例如，喷洒于倾斜的基板3上方的显影液会沿着基板3向下流 到基板3下方，下方的基板3在接触到上方的喷嘴2喷洒的显影液的同时还会接触到上方流 下的显影液;又例如，与基板3不同区域对应的喷嘴2在喷洒显影液时，由于各个喷嘴2距基 板3高度的不同会导致其各自喷洒的显影液在基板3的覆盖范围大小不同（如图1中所示，S6 >S5>…〉S2>S1)，即，喷嘴对基板不同位置处喷洒的显影液的密度不同（S1处的密度最大，S6 处的密度最小）；又例如，相邻两个喷嘴喷洒至基板3上的显影液的范围有交叠区域。因此， 现在技术的显影设备在用于显影工艺时，会造成基板3不同区域接触到的显影液的量不均 匀，从而使基板3在显影后形成的图案的图形线宽均一性较差。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的是提供一种显影设备和显影方法，以改善目前显影设备用于对基板 进行显影工艺时，基板显影后形成的图案的图形线宽均一性较差的问题。
[0006] 本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
[0007] 本发明实施例提供一种显影设备，包括承载平台和多个喷嘴，所述承载平台用于 承载基板并使所述基板的第一延展方向与水平面呈预定夹角，各个所述喷嘴在所述承载平 台上方并排排列且距水平面的高度相同，各个所述喷嘴的排列方向与所述第一延展方向在 水平面的垂直投影平行，所述喷嘴用于以实心锥模式将显影液喷洒于所述基板上，各所述 喷嘴喷洒显影液的发散角可调，以控制相邻两个所述喷嘴喷洒的显影液落于所述基板上的 交叠区域的面积。
[0008] 本发明实施例有益效果如下：显影设备具有能够调控发散角的喷嘴，通过对喷嘴 喷洒显影液的发散角的调整可以控制相邻两个喷嘴喷洒的显影液落于基板上的交叠区域 的面积大小，以使基板各个区域接触到的显影液的量基本均匀，进而能够提高基板在显影 后形成的图案的图形线宽的均一性。
[0009] 优选的，所述喷嘴具有大小可调的出液口，所述喷嘴喷洒显影液的发散角与所述 出液口的开口大小成正比。
[0010]优选的，所述出液口设置有多个相互部分重叠的叶片组成的相机光圈结构，所述 喷嘴通过所述叶片的转动来改变中心孔径进而以调整所述出液口的开口大小。
[0011] 优选的，所述喷嘴包括本体和开口调整部，所述开口调整部为两个固定挡板和两 个转动挡板围设形成的上下开口的框状结构，所述开口调整部的横截面图形为矩形；
[0012] 两个所述固定挡板平行设置且二者的一端均与所述本体固定连接，两个所述转动 挡板具有连接端和转动端，所述转动挡板的连接端与所述本体活动连接，所述转动挡板的 转动端能够围绕所述转动挡板的连接端转动；
[0013] 各个所述喷嘴的所述固定档板与该些所述喷嘴在所述承载平台上方的排列方向 平行，所述喷嘴通过所述转动挡板的转动端的转动调整所述出液口的大小。
[0014] 优选的，所述显影设备还包括传输管道，所述传输管道用于向所述喷嘴输送显影 液；
[0015] 各个所述喷嘴与同一条所述传输管道连通;或者，
[0016] 各个所述喷嘴分别与不同所述传输管道一一对应连通。
[0017] 优选的，所述显影设备还包括电连接的监测部件和流量调节部件；
[0018] 所述监测部件，用于监测所述喷嘴喷洒显影液的当前发散角并发送给所述流量调 节部件；
[0019] 所述流量调节部件，用于根据所述当前发散角与预定发散角的比例关系，调节所 述传输管道向所述喷嘴输送显影液的流量。
[0020] 优选的，所述显影设备还包括显示部件和控制部件，所述控制部件与所述显示部 件、所述监测部件和所述流量调节部件电连接；
[0021] 所述显示部件，用于显示各个所述喷嘴喷洒显影液的所述当前发散角、所述传输 管道向所述喷嘴输送显影液的流量；
[0022] 所述控制部件，用于控制所述流量调节部件调节所述传输管道向所述喷嘴输送显 影液的流量，以及控制所述喷嘴的所述出液口的开口大小。
[0023] 本发明实施例有益效果如下：显影设备具有能够调控发散角的喷嘴，通过对喷嘴 喷洒显影液的发散角的调整可以控制相邻两个喷嘴喷洒的显影液落于基板上的交叠区域 的面积大小，以使基板各个区域接触到的显影液的量基本均匀，进而能够提高基板在显影 后形成的图案的图形线宽的均一性。
[0024]本发明实施例提供一种显影方法，采用所述的显影设备，包括：
[0025]使待显影的基板的第一延展方向与水平面呈预定夹角；
[0026]调节各个喷嘴喷洒显影液的发散角，使相邻两个所述喷嘴喷洒的显影液落于所述 基板上的交叠区域的面积在规定范围内。
[0027] 优选的，所述调节各个所述喷嘴喷洒显影液的发散角，具体包括：
[0028] 通过调整各个所述喷嘴的出液口的大小来调节各个所述喷嘴喷洒显影液的发散 角;其中，所述喷嘴喷洒显影液的发散角与所述出液口的开口大小成正比。
[0029]优选的，所述显影方法还包括：
[0030]通过监测所述喷嘴喷洒显影液的当前发散角，并根据所述当前发散角与预定发散 角的比例关系，调节所述传输管道向所述喷嘴输送显影液的流量，以调节各个所述喷嘴喷 洒显影液的发散角。
[0031]本发明实施例有益效果如下：显影设备具有能够调控发散角的喷嘴，通过对喷嘴 喷洒显影液的发散角的调整可以控制相邻两个喷嘴喷洒的显影液落于基板上的交叠区域 的面积大小，以使基板各个区域接触到的显影液的量基本均匀，进而能够提高基板在显影 后形成的图案的图形线宽的均一性。
【附图说明】
[0032]图1为现有技术的显影设备喷洒显影液时的示意图；
[0033]图2为本发明实施例提供的显影设备喷洒显影液时的示意图；
[0034] 图3为本发明实施例提供的喷嘴出液口为相机光圈结构的示意图；
[0035] 图4为本发明实施例提供的喷嘴出液口为转动挡板结构的示意图；
[0036] 图5为本发明实施例提供的喷嘴出液口具有转动挡板和固定挡板时的结构的示意 图；
[0037] 图6为本发明实施例提供的一种显影设备的喷嘴的结构示意图；
[0038] 图7为本发明实施例提供的另一种显影设备的喷嘴的结构示意图；
[0039] 图8为本发明实施例提供的显影方法流程图；
[0040] 图9现有技术的显影设备对基板进行显影后的图案的图形线宽分布示意图。
【具体实施方式】
[0041] 下面结合说明书附图对本发明实施例的实现过程进行详细说明。需要注意的是， 自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通 过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。 [0042]参见图2,本发明实施例提供一种显影设备，包括承载平台1和多个喷嘴2,承载平 台1用于承载基板3并使基板3的第一延展方向AB与水平面呈预定夹角Θ，各个喷嘴2在承载 平台1上方并排排列且距水平面高度相同，各个喷嘴2的排列方向与第一延展方向AB在水平 面的垂直投影平行，喷嘴2用于以实心锥模式将显影液喷洒于基板3上，各喷嘴2喷洒显影液 的发散角α可调，以控制相邻两个喷嘴2喷洒的显影液落于基板3上的交叠区域△ S的面积。 [0043]需要说明的是，喷嘴2所喷洒显影液所形成的立体图形可能是实心锥，也可能是空 心锥。对于显影而言，显然喷洒显影液为实心锥的喷嘴2更适合，而该实心锥可以是圆锥、多 棱锥(例如三棱锥、四棱锥或六棱锥等等），相应的，喷洒显影液为圆锥时，其垂直于法线的 横截面图形为圆形;喷洒显影液为四棱锥时，其垂直于法线的横截面图形为矩形，此时可以 视为液帘。因此，为了满足不同的需求，喷嘴2喷洒显影液的立体图形可以灵活选择，在此不 再赘述。
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