胶头和胶管一体化运动结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体生产中的设备，具体地说是一种胶头和胶管一体化运动结构。
【背景技术】
[0002]在半导体晶圆生产中的匀胶显影设备内部，涂胶胶头的固定和胶管的固定是分离的，通常是胶头放在移动的平台上，胶管根部固定在固定的平台上。在更换胶头的过程中，胶头移动，胶管的固定部分不移动，这种情况下，会造成胶管发生扭转，胶管和胶管之间发生干涉，进而产生摩擦，造成胶管破损，既不利于设备稳定运行，也会因为胶管的摩擦产生粉尘颗粒，这些颗粒会导致半导体生产的良率下降。
[0003]为解决上诉问题，需要一种新型的胶头和胶管的分布结构和一种新型的运动方式，避免由于胶管之间的干涉和摩擦产生的问题。
【发明内容】
[0004]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种胶头和胶管一体化运动结构，该结构位于半导体生产中涂胶单元内部，通过这样的结构避免胶管的互相干涉和摩擦。
[0005]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0006]一种胶头和胶管一体化运动结构，所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构、胶管、胶头及托架结构，其中执行机构设置于胶杯的一侧，所述托架结构连接于执行机构上、并通过执行机构的驱动作直线运动，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管，所述托架结构上还设有多个与各胶管相对应的胶头，各胶管的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头连接，所述托架结构通过执行机构的驱动，带动胶管和胶头一起沿平行于胶管排列方向移动。
[0007]所述托架结构包括胶管托架、总体托架及胶头托架，其中总体托架连接于执行机构上，所述胶管托架和胶头托架设置于总体托架上，所述胶管的一端与胶管托架连接，所述胶头设置于胶头托架上。
[0008]所述各胶管均为倒置U形结构。所述胶头的排列方向与托架结构的运动方向平行。所述执行机构包括架体、电机、滚珠丝杠及螺母，其中电机和滚珠丝杠设置于架体上、并电机的输出端与滚珠丝杠连接，所述螺母与滚珠丝杠连接，所述托架结构与螺母连接。
[0009]本发明的优点及有益效果是:
[0010]本结构是在匀胶显影设备中涂胶单元内部，是多个光刻胶胶头更换的一种结构，应用这种一体化运动结构，可以实现多个胶头更换，防止胶管互相干涉，提高设备稳定性。
【附图说明】
[0011]图1为本发明的整体结构示意图；
[0012]图2为本发明一端极限位置的俯视示意图；
[0013]图3为本发明另一端极限位置的俯视不意图。
[0014]其中:1为胶管托架,2为总体托架,3为执行机构,4为胶管,5为胶头,6为胶头托架，7为胶杯，8为胶杯中心点。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本发明作进一步描述。
[0016]如图1所示，本发明设置于涂胶单元内部，包括执行机构3、胶管4、胶头5及托架结构，其中执行机构3设置于胶杯7的一侧，所述托架结构连接于执行机构3上，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管4。所述托架结构上还设有多个与各胶管4相对应的胶头5，各胶管4的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头5连接。所述托架结构带动胶管4和胶头5 —起沿平行于胶管4排列方向移动。
[0017]所述托架结构包括胶管托架1、总体托架2及胶头托架6，其中总体托架2滑动连接于执行机构3上，所述胶管托架1和胶头托架6设置于总体托架2上。各胶管4均为倒置U形结构，各胶管4的一端与胶管托架1连接，胶管4通过胶管托架1从胶管出口连接到外部。各胶管4的另一端与胶头5连接，所述胶头5设置于胶头托架6上。所述胶头5的排列方向与托架结构的运动方向平行。总体托架2在执行机构的带动下带动胶头托架6和其上的胶头5与胶管托架1和其上的胶管4 一起移动，移动的方向平行于胶管4的排列方向。执行机构包括架体、滚珠丝杠、螺母和电机，电机与滚珠丝杠连接、并均安装在架体上，所述总体托架2通过螺母与滚珠丝杠连接，所述托架结构在电机的驱动下，通过滚珠丝杠与螺母做直线运动。
[0018]本发明的工作过程是:
[0019]半导体生产过程中，在需要不同的光刻胶进行匀胶工作时，所需要的胶头5和胶管4在执行机构的带动下运动到二者连线通过胶杯7圆心的位置。这时候，胶头5可以在胶杯7内部的胶杯中心点8进行涂胶工作，此时因为胶头5和胶管4成一条直线排列，这条直线通过胶杯中心点8，所以不会与其他胶管发生干涉。位于两端的胶头5的运动极限位置，如图2、图3所示。
[0020]本发明中胶头5和胶管4在进行涂胶的过程中，可以避免不同胶头和与之相连的不同胶管之间互相干涉。
【主权项】
1.一种胶头和胶管一体化运动结构，其特征在于:所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构(3)、胶管(4)、胶头(5)及托架结构，其中执行机构(3)设置于胶杯(7)的一侧，所述托架结构连接于执行机构(3)上、并通过执行机构(3)的驱动作直线运动，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管(4)，所述托架结构上还设有多个与各胶管(4)相对应的胶头(5)，各胶管(4)的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头(5)连接，所述托架结构通过执行机构(3)的驱动，带动胶管(4)和胶头(5) —起沿平行于胶管(4)排列方向移动。2.按权利要求1所述的胶头和胶管一体化运动结构，其特征在于:所述托架结构包括胶管托架(1)、总体托架(2)及胶头托架￠)，其中总体托架(2)连接于执行机构(3)上，所述胶管托架(1)和胶头托架(6)设置于总体托架(2)上，所述胶管(4)的一端与胶管托架(1)连接，所述胶头(5)设置于胶头托架(6)上。3.按权利要求1或2所述的胶头和胶管一体化运动结构，其特征在于:所述各胶管(4)均为倒置U形结构。4.按权利要求1或2所述的胶头和胶管一体化运动结构，其特征在于:所述胶头(5)的排列方向与托架结构的运动方向平行。5.按权利要求1或2所述的胶头和胶管一体化运动结构，其特征在于:所述执行机构(3)包括架体、电机、滚珠丝杠及螺母，其中电机和滚珠丝杠设置于架体上、并电机的输出端与滚珠丝杠连接，所述螺母与滚珠丝杠连接，所述托架结构与螺母连接。
【专利摘要】本发明涉及半导体生产中的设备，具体地说是一种胶头和胶管一体化运动结构。所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构、胶管、胶头及托架结构，其中执行机构设置于胶杯的一侧，所述托架结构滑动连接于执行机构上，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管，所述托架结构上还设有多个与各胶管相对应的胶头，各胶管的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头连接，所述胶管托架带动胶管和胶头一起沿平行于胶管排列方向移动。本发明实现多个胶头更换，防止胶管互相干涉，提高设备稳定性。
【IPC分类】G03F7/16
【公开号】CN105319855
【申请号】CN201410294868
【发明人】王阳, 胡延兵
【申请人】沈阳芯源微电子设备有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年6月25日