基板处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对基板进行热处理的技术。
【背景技术】
[0002]例如，作为液晶显示装置(IXD)的一个制造工序，存在在用于IXD的玻璃基板上形成规定的图案的光刻工序(Photolithography)。在该光刻工序中，通常，进行使清洗后的玻璃基板干燥的脱水烘烤(dehyd bake)处理、使涂敷在玻璃基板上的抗蚀剂凝固的预烘烤(pre-bake)处理或在显影后进行的后烘烤(post_bake)处理等热处理。
[0003]作为进行这样的热处理的处理单元公知有，在由加热板或冷却板等构成的载物台上载置玻璃基板，通过将载物台加热或冷却，来对基板进行热处理的处理单元。另外，通常在载物台的表面分散设置有多个防接触销(proximity pin)，使玻璃基板不与载物台直接接触。
[0004]另外，提出在载物台的表面上配置多个线材，来代替在载物台上设置防接触销，在该多个线材上载置基板(例如，专利文献I)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:JP特开2004-179384号公报
[0008]但是，在专利文献I记载的基板处理装置中，在加热板的长度方向上隔开规定的间隔配置多根线材。另外，利用设置在加热板的侧部上的多个线材固定夹具，一根根地固定各线材。因此，在加热板上安装各线材的情况下，需要在线材固定夹具上一根根地安装线材，从而作业变得复杂。另外，在从载物台拆卸线材时，也不得不一根根地从线材固定夹具拆卸线材，从而作业变得复杂。因此，不易于对载物台的表面进行维护。
【发明内容】
[0009]因此，本发明的目的在于，提供一种高效地将线材安装在对基板进行热处理的载物台上以及从该载物台拆卸该线材的技术。
[0010]为了解决上述问题，第一方式的基板处理装置，用于处理基板，具有:载物台，对基板进行热处理；一根以上的线材，配置在所述载物台的表面，通过折返而连续多次横跨所述载物台的表面；定位部，与所述线材的折返部分接触，规定所述线材在所述载物台的表面上的横跨位置。
[0011]另外，第二方式的基板处理装置，在第一方式的基板处理装置中，所述定位部具有:长条部，配置在所述载物台的侧部；多个钩挂部，安装在所述长条部上，并且钩挂所述线材。
[0012]另外，第三方式的基板处理装置，在第二方式的基板处理装置中，还具有施力机构，所述施力机构对所述长条部施力，来对钩挂在所述钩挂部上的所述线材进行牵拉。
[0013]另外，第四方式的基板处理装置，在第三方式的基板处理装置中，所述施力机构具有弹性构件，所述弹性构件将所述长条部以及所述载物台中的固定部之间进行连接，向所述固定部对所述长条部施力。
[0014]另外，第五方式的基板处理装置，在第三或第四方式的基板处理装置中，还具有检测器，所述检测器检测所述长条部向被所述施力机构施力的方向的移动。
[0015]另外，第六方式的基板处理装置，在第二至第五方式中的任一项的基板处理装置中，所述长条部具有安装结构，所述安装结构用于安装所述钩挂部，使所述钩挂部的在所述长条部上的安装位置能够改变。
[0016]另外，第七方式的基板处理装置，在第六方式的基板处理装置中，所述安装结构是将所述钩挂部能够装拆地安装在所述长条部上的结构。
[0017]另外，第八方式的基板处理装置，在第二至第七方式中的任一项的基板处理装置中，所述长条部具有沿着所述载物台成列配置的多个长条构件。
[0018]另外，第九方式的基板处理装置，在第二至第八方式中任一项的基板处理装置中，所述长条部具有卷绕并保持所述线材的端部的卷绕部。
[0019]另外，第十方式的基板处理装置，在第一至第九方式中任一项的基板处理装置中，所述一根以上的线材包括:第一线状部，沿着第一个方向横跨所述载物台的表面，多个第二线状部，沿着与所述第一个方向交叉的方向，横跨所述载物台的表面；所述第一线状部在与所述多个第二线状部交叉时，交替地通过各第二线状部的上方位置以及下方位置。
[0020]根据第一方式的基板处理装置，通过使线材折返，来使线材横跨载物台的表面，因此与将线材一根根地固定在横跨载物台的位置的情况相比，能够简化线材的安装作业。另夕卜，在拆卸时，也与一根根固定的情况相比，作业变得更容易。因此，发挥能够高效地安装以及拆卸线材的效果。
[0021]另外，根据第二方式的基板处理装置，通过将线材钩挂在钩挂部上，能够使线材折返。
[0022]另外，根据第三方式的基板处理装置，由于能够通过施力机构牵拉线材，所以能够将线材良好地配置在载物台表面上。
[0023]另外，根据第四方式的基板处理装置，由于能够通过弹性构件牵拉线材，所以能够将线材良好地配置在载物台表面上。
[0024]另外，根据第五方式的基板处理装置，由于能够检测出因线材的延伸或切断而产生的长条构件的移动，所以能够掌握线材的维护时期，发挥将工艺不良防患于未然的效果。
[0025]另外，根据第六方式的基板处理装置，由于钩挂部的安装位置可变，所以能够自由变更钩挂部的安装位置。因此，发挥能够变更载物台2的线材的横跨位置的效果。
[0026]另外，根据第七方式的基板处理装置，由于能够装拆钩挂部，所以能够按照需要安装或拆卸钩挂部。因此，由于能够将钩挂部的数量抑制为需要的数量，所以发挥能够抑制部件成本的效果。
[0027]另外，根据第八方式的基板处理装置，能够针对作为长条部的一部分的长条构件进行更换。因此，与通过一个构件构成长条部的情况相比，更易于维护长条部。另外，只要进行部分更换即可，所以还能够抑制因更换而产生的部件成本。
[0028]另外，根据第九方式的基板处理装置，通过卷绕部，能够发挥卷绕保持剩余的线材的部分的效果。
[0029]另外，根据第十方式的基板处理装置，能够在第一线状部以及第二线状部交叉的部分以点状支撑基板。由此，能够减小基板与线材之间的接触面积。因此，发挥能够良好地对基板进行热处理的效果。
【附图说明】
[0030]图1是表示具有第一实施方式的基板处理装置的基板处理系统的概略俯视图。
[0031]图2是表示第一实施方式的基板处理装置的概略俯视图。
[0032]图3是表示从+X侧观察的第一实施方式的基板处理装置的概略侧视图。
[0033]图4是表示从图2所示的IV-1V位置观察的基板处理装置的概略剖视图。
[0034]图5是从载物台卸下一对板状构件的基板处理装置的概略剖视图。
[0035]图6是表示第一实施方式的变形例的基板处理装置的概略侧视图。
[0036]图7是表示第二实施方式的基板处理装置的概略俯视图。
[0037]图8是表示从图7所示的VII1-VIII位置观察的基板处理装置的概略主视图。
[0038]图9是表示第二实施方式的长条构件的概略立体图。
[0039]图10是表示第二实施方式的变形例的长条构件的局部概略图。
[0040]图11是表示从图10所示的X1-XI位置观察的长条构件的概略剖视图。
[0041]图12是表示线材的第一配置例至第四配置例的图。
[0042]图13是表示将线材交叉配置的配置例的局部概略剖视图。
[0043]其中，附图标记说明如下:
[0044]100:基板处理系统
[0045]UlA:基板处理装置
[0046]2、2A:载物台
[0047]23:加热器
[0048]3:线材
[0049]30:折返部分
[0050]31:第一线状部
[0051]32:第二线状部
[0052]4、4A:定位部
[0053]40、40A、40B、401:长条构件(长条部)
[0054]402:槽
[0055]41:钩(钩挂部)
[0056]4IA:滑轮(钩挂部)
[0057]411:连接部
[0058]42、42A:安装孔(安装结构)
[0059]43:端部保持夹具