br>[0039]由此，满足本发明的外部气体实验的条件的娃酬系接着剂之中，对KE-101A/B的 接着剂，进行了耐热性确认实验。该种耐热实验，是将防尘薄膜组件1在150°C的氛围的烘 箱中进行24小时静置后，冷却至室温，对防尘薄膜11的接着状态（綱紧的状态）进行确认。 通过该种耐热实验，确认到用满足本发明的外部气体实验的条件的KE-101A/B将防尘薄 膜11贴附于防尘薄膜框架上，并暴露于15(TC的高温后，其接着状态（綱紧的状态）也良 好。
[0040] 另外，作为其他的接着剂，在满足本发明的外部气体实验的条件的娃酬系接着剂 的中，对娃酬系的KE- 4908SC-T(信越化学工业株式会社制的产品名）的接着剂，进行 了将烘箱的氛围气温度升温至20(TC，进行了同样的耐热实验，没有发现防尘薄膜11的接 着状态的异常。
[0041] 从W上的耐热实验，确认到，满足本发明的外部气体实验的条件的娃酬系接着剂， 在150°C和200°C的高温下也可保持充分的耐热性和接着力，在EUV曝光时，即使暴露于 100°C~200°C的温度，也可W作为EUV用防尘薄膜组件的接着剂而加W使用。
[0042] 将如此该样的具有低外部气体性耐热性的接着剂13在防尘薄膜组件框架12上涂 布时，例如，可W用图2所示的涂布装置进行。图2,为适宜接着剂13的涂布的接着剂涂布 装置的一个例子的模式图。该种接着剂涂布装置2,通过固定轨道W及可动轨道组合构成的 3轴机器人22,在架台21上方安装的筒23可W在XYZ轴方向上移动。该种筒23的先端处 安装有针25,装满接着剂13的筒23与气压式分布器（未图示）接续，通过3轴机器人22 的控制部（未图示）控制机器人动作，将涂布液吐出。
[0043] 然后，在接着剂涂布装置2的架台21上设置的防尘薄膜组件框架24上，针25边 将接着剂滴下，边移动，在防尘薄膜组件框架24上将接着剂13涂布。在该场合的接着剂13 的移送装置（未图示），不限于使用气压式，氮加压等的气体加压方式，还可W使用筒累，高 压活塞累，管累等可W对供给量W及吐出?停止进行控制的各种移送装置。
[0044] 另外，接着剂13的粘度高，涂布装置2涂布困难的场合，根据必要可W添加甲苯， 二甲苯等的芳香族系溶剂，己烧，辛烧，异辛烧，异石蜡等的脂肪族系溶剂，甲基己基酬，甲 基异了基酬等的酬系溶剂，己酸己基醋，己酸了醋等的醋系溶剂，二异丙離，1，4-二曠烧等 的離系溶剂，或该些的混合溶剂。
[0045]实施例
[0046]W下，用实施例W及比较例对本发明进行具体说明。
[0047] <实施例1〉
[0048] 实施例1中，首先，将外形尺寸149mmX122mmX高5. 8mm，厚2mm的侣合金制防尘 薄膜组件框架24搬入无尘室，用中性洗剂和纯水进行充分洗净?干燥。其后，将图2所示 的接着剂涂布装置2的架台21上将所述防尘薄膜组件框架24固定。
[0049] 作为实施例1的低外部气体性接着剂13,使用娃酬系的KE- 101A/B(信越化学 工业株式会社制的产品名）。该种KE- 101A/B，为二液室温硬化型，可W将KE- 101A和 KE- 101B同量砰量，充分揽拌混合。
[0050] 接着，将调制的接着剂13充填于图2所示的接着剂涂布装置2的聚丙締肿）审。 筒23中，将该种筒23与气加压式分布器（岩下工程株式会社制，未图示）接续。接着剂涂 布装置2中，用3轴机器人22的控制部（未图示），将机器人动作和涂布液吐出两方进行控 审IJ，在自动运转在防尘薄膜组件框架24的全周上，从针25滴下接着剂13涂布。
[0化1] 其后，将防尘薄膜11在防尘薄膜组件框架24的接着剂涂布端贴附，用刀将外侧的 不要膜切除。实施例1中，接着剂13在室温（25°C)进行24小时静置，硬化，也可W进行硬 化时间缩短的加热硬化。
[005引 < 实施例2〉
[0化3]实施例2中，作为接着剂13,使用娃酬系的KE- 4908SC-T(信越化学工业株式 会社制的产品名），其他与实施例1相同，制作防尘薄膜组件1。
[0054] <比较例1〉
[0化引 比较例1中，作为接着剂13,使用环氧系的aralditeAW- 106(日本Ciba-Geigy的产品名），其他，与实施例1同样，进行防尘薄膜组件1的制作。
[0056] <比较例2〉
[0化7]比较例2中，作为接着剂13,使用环氧丙締酸系的奥布托大英（才文hシ）UV- 3100 (大金工业株式会社制的产品名），此外，与实施例1同样，制作防尘薄膜组件1。 [005引接着，对实施例1，2和比较例1，2,分别按W下的指标进行接着剂13的外部气体发 生量和耐热性的评价。
[0化9]外部气体实验
[0060] 对实施例1，2和比较例1，2使用的接着剂13的外部气体发生量进行评价的实验 条件，如下。
[006UASTM_E595 _ 93 的实验条件
[0062] 真空度；7. 0X10-日TorrW下
[0063] 加热椿温度；125°C
[0064] 冷却板温度；25°C [00化]实验时间；24小时
[0066] 耐热实验
[0067] 将实施例1，2和比较例1，2中制作的防尘薄膜组件1在150°C氛围气的烘箱中进 行24小时静置后，冷却到室温，对防尘薄膜11的状态（綱紧的状态）进行确认。
[0068] 外部气体实验和耐热实验的结果，如下表1。
[0069]表1
[0070]
[0071] 从上述表1的结果，可W得知，实施例1，2的接着剂，分别将外部气体的发生量压 低至0.4%，0. 6%，而且防尘薄膜的綱紧的状态也良好，没有高温接着力的低下，具有耐热 性。与此相反，比较例1的接着剂，外部气体的发生量多达4. 9%，防尘薄膜的綱紧的状态良 好。比较例2的接着剂，外部气体的发生量限制在0. 4%的范围，但是，防尘薄膜的綱紧状态 变松，耐热性差。
[0072] 因此，实施例1，2的娃酬系的KE- 1014/8，邸一49085(：-1'等的接着剂，低外部 气体性和耐热性优良，特别是，作为EUV曝光技术使用的接着剂，综合评价最好。
[0073] 符号说明
[0074] 1 防尘薄膜组件
[00巧]11 防尘薄膜
[0076] 12 防尘薄膜组件框架
[0077] 13 接着剂
[007引 2 接着剂涂布装置
[0079] 21 架台
[0080] 22 3轴机器人
[00川 23 筒
[0082] 24 防尘薄膜组件框架
[008引 25 针
【主权项】
1. 一种低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂，其为将防尘薄膜贴附于防尘薄膜组件 框架的低外部气体性防尘薄膜组件用接着剂，其特征在于，所述接着剂为硅酮系接着剂，所 述接着剂的外部气体量为，在ASTM_E595 - 93的实验方法中，满足TML为1. 0%以下，CVCM 为0. 1 %以下的条件，在此，TML指重量减少值；CVCM指再凝集物质量比。2. 权利要求1所述的低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂，其特征在于，所述低外 部气体性的防尘薄膜组件用接着剂具有耐l〇〇°C~200°C的耐热性。3. -种防尘薄膜组件，其特征在于，其使用权利要求1或2所述的接着剂。4. 一种EUV用防尘薄膜组件，其在EUV曝光时被暴露于100°C~200°C的温度，其特征 在于，所述EUV用防尘薄膜组件的防尘薄膜通过权利要求2所述的接着剂贴附于防尘薄膜 组件框架上。
【专利摘要】提供一种不易发生污染防尘薄膜和光掩模的外部气体，同时具有耐高温的耐热性的防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的EUV用防尘薄膜组件。本发明的接着剂，为将防尘薄膜11贴附于防尘薄膜组件框架12的低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂13。这种接着剂13的特征为其为硅酮系接着剂，而且外部气体量用ASTM＿E595－93的实验方法测定时，满足TML为1.0％以下，CVCM为0.1％以下的条件。另外，本发明的防尘薄膜组件，为在EUV曝光时，被暴露于100℃～200℃的温度的EUV用防尘薄膜组件，其防尘薄膜11通过满足上述条件且具有耐100℃～200℃的温度的接着剂贴附于防尘薄膜组件框架12。
【IPC分类】G03F1/22, G03F1/62
【公开号】CN104977800
【申请号】CN201510153493
【发明人】堀越淳
【申请人】信越化学工业株式会社
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年4月2日
【公告号】EP2927746A2, EP2927746A3, US20150286133