基板、膜形成基板的制造方法以及涂布装置的制造方法_3

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宽度W进一步小尺寸化。因此,可以使制品本体内的凹槽群10N的占有空间更小,而相对于制品本体确保更大的显示区域DAo
[0080]本实施例的凹槽群10N中,将第1凹槽11?第3凹槽13的槽宽L1?槽宽L3设为L1 = 0.18mm、L2 = 0.09mm、L3 = 0.06mm。而且,将第1凹槽11与第2凹槽12的间隔S1、第2凹槽12与第3凹槽13的间隔S2设为SI = S2 = 0.01mm。对形成有这种尺寸的凹槽10的基板1进行所述涂布时,能够抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。
[0081](实施例2)(图5)
[0082]对实施例2的基板1进行说明。
[0083](d)在形成于基板1的凹槽10与显示区域DA之间,配置并列有规定深度的多个凹部20的凹部群20N,各凹部20的形状包含如下形状,即,使涂布于膜形成区域2的液体相比于从膜形成区域2朝向凹槽10的方向,在其相反方向即从凹槽10朝向膜形成区域2的方向上更难流动。另外,本实施例中,各凹部20沿着膜形成区域2的外周缘以规定的间距间隔配置。
[0084]相比于从膜形成区域2的内侧向外侧的液体流动,凹部群20N使向其相反方向的逆流更难流动。具体而言,由凹部群20N的各凹部20所形成的各凹部20之间成为涂布于膜形成区域2的液体润湿扩散时的主要路径。而且,各凹部20之间以膜形成区域2的内侧(靠近显示区域DA的一侧)宽且朝向外侧变窄的方式构成。另外,朝向显示区域DA的一侧以形成凹部20的面相对于显示区域DA不平行的方式构成。S卩,从凹槽10侧朝向显示区域DA侧,因为各凹部20之间窄,所以液体不易流动,从而即便从膜形成区域2的内侧润湿扩散而在凹槽10的槽边形成积液,且因该积液而产生液流的撞回,也会对因该撞回而产生的朝向内侧的流动(逆流)进行抑制(使其衰减)。
[0085]凹部群20N与无凹部群20N的情况相比,对于朝向外侧(从膜形成区域2朝向凹槽10的方向)润湿扩散的流动而言成为阻力,因此,相对于无凹部群20N的情况而能够使到达凹槽10的槽边时的流动的速度减小。液体撞上积液的速度越慢,则液流的撞回越小,因此,结果上凹部群20N有助于撞回的抑制。此外,润湿扩散的液体通过凹部群20N时会流入各凹部20内,由此,朝向凹槽群10N流动的液体的量减少,结果为在凹槽10的边缘的液体的撞回得以抑制,从而能够抑制产生于膜形成区域2内的膜厚不均。
[0086]另外,通过实验确认到即便当液体流入凹部20而成为液体积存于凹部20内的状态时,也获得抑制在从凹槽10侧朝向膜形成区域2的方向上流动的效果。对基板1的表面及覆盖凹部20的液体的膜进行观察,结果沿着凹部20的轮廓确认到液体膜呈堤状隆起,推测沿着凹部20的轮廓形成的液体膜的隆起部分对于在从凹槽10侧朝向膜形成区域2的方向上流动而言成为阻力,而抑制该流动。
[0087]不论液体是否渗入凹部20内,在凹部20的轮廓处液体均隆起,但形成该轮廓的线与显示区域DA不平行而形成角度。因此,由在该凹部20的轮廓部的液体的隆起而产生的撞回不直接朝向显示区域DA侧,且从并列的各凹部20的轮廓的撞回彼此相互干涉而减弱,因此,能够抑制产生于膜形成区域2内的膜厚不均。
[0088](e)构成形成于基板1的所述凹部群20N的各凹部20是包含顶角为锐角的等腰三角形的凹部21,以底边与凹槽10的延伸方向平行且位于凹槽10侧的方式配置,由此,能够确实地形成所述(d)的液体的流动。
[0089]另外,在膜形成区域2的外周缘,在正对着相正交的两边(纵边与横边)的角部的位置,配置有包含等腰三角形的凹部22。凹部22形成为与凹部21为同一形状的等腰三角形,以底边位于凹槽10侧,且与底边正交的中心轴相对于膜形成区域2的外周的纵边与横边成45度的方式倾斜地配置。
[0090]另外,在膜形成区域2的外周,在正对着相正交的两边(纵边与横边)的角部的位置,且在所述包含等腰三角形的凹部22的两侧,配置有凹部23,所述凹部23包含与凹部21、凹部22相比例如边长为一半的小形状的等腰三角形。凹部23以底边与凹槽10的延伸方向平行且位于凹槽10侧的方式配置。各凹部23的底边与各凹部21的底边配置于同一直线上。
[0091]本实施例的凹部群20N中,将凹部21、凹部22的底边的长度a、高度b设为a =0.06mm、b = 0.10mm,将凹部 23 的长度 c、高度 d 设为 c = 0.03mm、d = 0.05mm。而且,将相邻的凹部21的间距间隔pi设为pi = 0.1mm,将相邻的凹部21与凹部23的配置间隔pc设为pc = 0.085mm。通过形成这种尺寸的凹部群20N,可以更进一步抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。
[0092]另外,凹部群20N中,将例如相邻的包含等腰三角形的凹部21的间距间隔pi设为pl = 0.08mm,也可以使凹部21的密度变大。
[0093](实施例3)(图6)
[0094]实施例3与实施例1不同的方面是形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例3的凹部群20N是在相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间,配置有凹部24,所述凹部24包含与配置于凹部22的两侧的凹部23为同一形状的小形状的等腰三角形。各凹部24的顶点与各凹部21、凹部22的顶点配置于同一直线上,且配置于相邻的凹部21、凹部22之间的中央、及相邻的凹部21与凹部22之间的中央。将相邻的凹部24的间距间隔P2设为p2 = 0.1mm。通过以这种尺寸配置凹部24,也可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。
[0095](实施例4)(图7)
[0096]实施例4与实施例3不同的方面是形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例4的凹部群20N是使配置于相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间的各凹部24的顶点比连结各凹部21、凹部22的顶点的直线向凹槽10侧后退距离e =
0.025mm。通过以这种尺寸配置凹部24,也与实施例3同样地可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。
[0097](实施例5)(图8)
[0098]实施例5与实施例1不同的方面在于形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例5的凹部群20N是在相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间,配置有包含菱形的凹部25。将凹部25的短的对角线的长度f、长的对角线的长度g设为f =
0.03mm、g = 0.10mm。各凹部25的位于长的对角线上的两个顶点分别与各凹部21、凹部22的顶点与底边配置于同一直线上,且配置于相邻的凹部21与凹部21之间的中央、及相邻的凹部21与凹部22之间的中央。在以这种形状及尺寸配置凹部25的情况下,也可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。
[0099](实施例6)(图9)
[0100]实施例6与实施例4不同的方面在于形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例6的凹部群20N是将实施例4的凹部群20N的各凹部21替换成与实施例5中所使用的凹部25为同一形状的包含菱形的凹部26。在以这种形状及尺寸配置凹部26的情况下,也与实施例3同样地可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。
[0101]以上,通过附图对本发明的实施例进行了详细叙述,但本发明的具体构成并不限于所述实施例,即便有不脱离本发明的主旨的范围的设计的变更等也包含在本发明内。例如,本发明的基板1并不限于配置包含多个凹槽10的凹槽群10N,也可以配置单一的凹槽10。
[0102]另外,所述实施例2?实施例6中,沿着膜形成区域2的外周缘,在正对着相正交的两边(纵边与横边)的角部的位置,配置有包
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