专利名称：微珠去栅极毛刺法的制作方法
技术领域：
本发明涉及脉冲管子中栅极的精加工方法，与表面化学和超声技术有关，特别是涉及一种栅极去毛刺的方法。
背景技术：
脉冲管子的栅极调制比阴极和阳极调制具有更多的优越性，因此得到了很大的发展。在栅极调制中最关键的是做出符合要求的栅极，栅极的质量直接影响脉冲管子的好坏。
脉冲管子的栅极(球面)一般是由球面钼片通过电火花加工而成，钼片在高频电场作用下，击穿成形，这必然在成形的栅极上留下不少高温熔融的钼氧化物及其他化合物等。要做出符合要求的栅极必须想方设法使附在栅极上的杂质、干净地清除掉。这清除工作我们作了很多尝试(1)金钢砂超声波腐蚀法由于金钢砂质量太大，并且粗细形状各不相同，在超声波的作用下，金钢砂对栅极的网上作用力很大，只要操作稍有不慎，栅极就有报废的可能；(2)电解法电解法显然没有金钢砂超声波腐蚀法那样的缺陷，然而，电解法受到电场不均匀性的限制，无法使毛刺均匀地彻底除去，毛刺一般在栅极的中间；(3)最后，我们采用玻璃微珠的方法圆满地解决了问题。
发明目的本发明的目的是提供一种方法，能理想的去除脉冲管子的栅极网上的毛刺。
为达到上述目的，本发明的技术解决方案是提供一种微珠去栅极毛刺法，用于去除脉冲管子栅极网上的毛刺，包括下列步骤
(1)把要加工的栅网毛坯放入烧坏内；(2)在栅网上放入玻璃微珠，玻璃微珠的高度比栅网高出1-2mm；(3)放入抛光液，要求抛光液的液面高度高出微珠4-5mm；(4)放入超声波发生器内；(5)启动超声波发生器，开始工作，在超声波的作用下完成作业。
所述的去栅极毛刺法，其第五步，在超声波的作用下需25～35分钟。
所述的去栅极毛刺法，其所述玻璃微珠为工业级微型玻璃珠，其直径在8～12μm。
所述的去栅极毛刺法，其所述抛光溶液，按重量计算，其配方如下铁氰酸钾(工业级)4.51％氢氧化钠(工业级)1.5％水(蒸馏水) 93.99％所述的去栅极毛刺法，其所述超声波发生器功率为200～300W。
所述的去栅极毛刺法，其所述烧杯容量为400cc-500cc。
设想有一种方法只能对栅极的毛刺有腐蚀作用，而对栅极的基金属基本上没有腐蚀作用，根据氧化还原的原理我们找到了一种抛光液，在没有外力的作用下该液基本上不和基金属(钼)作用，这就是碱性铁氰酸钾溶液。有了抛光液还不够，还要有一种对栅极网上的作用力，我们找到玻璃微珠(工业级)一般在10μm左右的微珠，玻璃微珠质量小，并且多是珠型的，它们堆积在一起，里面有很多空隙，这种空隙有利于在超声波的作用下，玻璃微珠做各种运动。抛光液在微珠的作用下，毛刺逐渐地被腐蚀掉，而对栅极本身只有很少的腐蚀，只起抛光的作用，这种方法使我们达到了预期的目的。在“921”放大器的行波管栅极，就是采用这个方法做成的，现在我单位使用的栅极，最后均使用这种方法处理。
图1(a)为没有加工之前放大100倍的毛坯情况；图1(b)为没有加工之前放大20倍的毛坯情况；
图2(a)为经本发明的方法加工好放大100倍的样品；图2(b)为经本发明的方法加工好放大20倍的样品。
具体实施例方式
(一)准备器材(1)玻璃微珠，直径在10μm左右的工业级微型玻璃珠若干；(2)化学抛光溶液配方如下铁氰酸钾(工业级) 48克，占4.51％氢氧化钠(工业级) 16克，占1.5％水(蒸馏水) 1000克，占93.99％(3)超声波发生器 250W(4)烧杯400cc-500cc 数只(二)操作步骤(1)把要加工的栅网毛坯放入烧坏内；(2)在栅网上放入玻璃微珠，玻璃微珠的高度比栅网高出1-2mm；(3)放入抛光液，要求抛光液的液面高度高出微珠4-5mm；(4)放入超声波发生器内；(5)启动超声波发生器，开始工作，一般在超声波的作用下30分钟左右就能完成作业，这要看栅网毛坯的质量而定，灵活运用。
权利要求
1.一种微珠去栅极毛刺法，用于去除脉冲管子栅极网上的毛刺，其特征在于，包括下列步骤(1)把要加工的栅网毛坯放入烧坏内；(2)在栅网上放入玻璃微珠，玻璃微珠的高度比栅网高出1-2mm；(3)放入抛光液，要求抛光液的液面高度高出微珠4-5mm；(4)放入超声波发生器内；(5)启动超声波发生器，开始工作，在超声波的作用下完成作业。
2.如权利要求1所述的去栅极毛刺法，其特征在于，第五步，在超声波的作用下需25～35分钟。
3.如权利要求1所述的去栅极毛刺法，其特征在于，所述玻璃微珠为工业级微型玻璃珠，其直径在8～12μm。
4.如权利要求1所述的去栅极毛刺法，其特征在于，所述抛光溶液，按重量计算，其配方如下铁氰酸钾(工业级) 4.51％氢氧化钠(工业级) 1.5％水(蒸馏水)93.99％
5.如权利要求1所述的去栅极毛刺法，其特征在于，所述超声波发生器功率为200～300W。
6.如权利要求1所述的去栅极毛刺法，其特征在于，所述烧杯容量为400cc-500cc。
全文摘要
本发明涉及脉冲管子中栅极的精加工，特别是栅极去毛刺的方法，与表面化学和超声技术有关。方法包括下列步骤(1)把要加工的脉冲管栅网毛坯放入烧坏内；(2)在栅网上放入玻璃微珠；(3)放入抛光液；(4)放入超声波发生器内；(5)启动超声波发生器，开始工作，在超声波的作用下完成作业。本发明提供的方法，能理想地去除脉冲管子的栅极网上的毛刺。
文档编号H01J9/02GK1532868SQ0310737
公开日2004年9月29日 申请日期2003年3月24日 优先权日2003年3月24日
发明者陆允信 申请人:中国科学院电子学研究所