专利名称：Pecvd用硅片载片器的改装装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
背景技术：
太阳能光伏电池片有多晶、单晶之分，多晶硅片是正四边形的，单晶硅片是带有四个圆角的正四边形。在进行平板炉PECVD的工艺时，和它们相配套的硅片载片器也要与它们的外型相匹配才可以。有些厂家只配置了多晶的(即正四边形的)硅片载片器，在接到单晶的订单时，就需要配置新的单晶硅片载片器。由于硅片载片器的价格很贵，代价太高，从而增加了采购成本。
发明内容本实用新型针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的改装装置，该装置安装于多晶硅片载片器上，可将多晶硅片载片器转换成单晶硅片载片器，可大幅度降低采购成本。 按照本实用新型的技术方案一种PECVD用硅片载片器的改装装置，包括十字形
的板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体
成十字形，各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧，所述支臂的宽度与多晶硅片载片器
的框杆宽度相等，所述过渡圆弧的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。
本实用新型的技术效果在于本实用新型安装于相邻的多晶硅片载片器的交叉
处，将正四边形的多晶硅片载片器改装成带有圆角的正四边形硅片载片器，用于生产单晶
硅片，可以节省大量采购成本；拆除本实用新型后，又可以生产多晶硅片，转换方便。
图1为多晶硅片载片器中的一个方框的结构示意图；[0007] 图2为本实用新型的结构示意图； 图3为本实用新型安装于多晶硅片载片器中的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。 本实用新型是一种PECVD用硅片载片器的改装装置，可将多晶硅片载片器改装成
单晶硅片载片器，用来生产单晶硅片。 图1为多晶硅片载片器中的一个方框1的结构示意图。 如图2所示，本实用新型PECVD用硅片载片器的改装装置2，包括板体3，所述板体3的角部以板体3的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂4，使所述板3体成十字形；各个相邻的支臂4的交叉处设置有过渡圆弧5。支臂4的宽度与多晶硅片载片器框的框杆宽度相等，过渡圆弧5的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。 如图3所示，本实用新型PECVD用硅片载片器的改装装置2安装于相邻的多晶硅片载片器的方框1的交叉处，将多晶硅片载片器转换为单晶硅片载片器，生产单晶硅片，可节省2/3的硅片载片器成本。拆除本实用新型后又可进行多晶硅片的生产。本实用新型装卸方便，使用效果好。
权利要求一种PECVD用硅片载片器的改装装置，包括板体(3)，其特征是所述板体(3)的角部以板体(3)的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂(10)，使所述板体(3)成十字形，各个相邻的支臂(4)的交叉处设置有过渡圆弧(5)，所述支臂(4)的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧(5)的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。
专利摘要本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的改装装置，其包括十字形的板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形，各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧，所述支臂的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。本实用新型安装于相邻的多晶硅片载片器的交叉处，将正四边形的多晶硅片载片器改装成带有圆角的正四边形的硅片载片器，用于生产单晶硅片，可以节省大量采购成本；拆除本实用新型后，又可以生产多晶硅片，转换方便。
文档编号H01J37/32GK201473587SQ200920234830
公开日2010年5月19日 申请日期2009年8月7日 优先权日2009年8月7日
发明者尤耀明 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司