专利名称：等离子刻蚀机硅片定压施压夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池等离子刻蚀机的硅片加压装置，属于太阳能电池 等离子刻蚀机的一种夹具。
技术背景太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散 工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电池正负极之间并联电阻过小，漏电流过 大，影响电池的输出特性。在大规模生产中，一般用CF4在高频电场中电离，产物与Si反应 生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧，否则，硅表面的扩 散层也将会部分去除，从而减小太阳能电池的有效面积，使其短路电流降低。在太阳能电池等离子刻蚀机中，现有的太阳能电池等离子刻蚀夹具，其加压装置 存在不能精确加压的严重问题，加在整叠硅片两侧的压力大小全凭个人经验，既不能准确 控制整叠硅片的压力，也不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控 制产品质量
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具。它 可精确控制整叠硅片的施加压力大小，制作的太阳能电池边缘几乎看不到刻蚀环的影响，
色差非常小。本实用新型所采用的技术方案是本实用新型所述的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是包括夹具体、立柱 螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在 两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺 杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。进一步，在压板上设有把手。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板套装在两根立柱螺杆上，并由两 只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧，从而实现压板对整叠硅片的定压施压。这 样就能精确控制整叠硅片的压力，并可减少硅片四周受力的不均，使产品性能一致，刻蚀效 果好。
图1为等离子刻蚀夹具加压装置结构示意图；图中1-夹具体；2-立柱螺杆；3-复位弹簧；4-压板；5-收紧螺母；6-数控扭力扳 手；41-把手。
具体实施方式
以下结合附图说明本实用新型的具体实施方式
所述的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，它由夹具体1、立柱螺杆2、复位弹簧3、 压板4、收紧螺母5和数控扭力扳手6组成，两根立柱螺杆2的下端固定在夹具体1上，在 两根立柱螺杆2的上段设有螺纹，复位弹簧3套装在立柱螺杆2的上段，在压板4上设有把 手41和与两根立柱螺杆2相对应的耳座，压板4通过两耳座套装在两根立柱螺杆2上，并 由收紧螺母5收紧，收紧螺母5由数控扭力扳手6定扭矩收紧。
权利要求1.一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是包括夹具体(1)、立柱螺杆O)、复 位弹簧(3)、压板0)、收紧螺母( 和数控扭力扳手(6)，两根立柱螺杆O)的下端固定在 夹具体(1)上，在两根立柱螺杆( 的上段设有螺纹，复位弹簧C3)套装在立柱螺杆(2)的 上段，压板(4)套装在两根立柱螺杆( 上，并由收紧螺母(5)收紧，收紧螺母(5)由数控 扭力扳手(6)定扭矩收紧。
2.根据权利要求1所述等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是在压板(4)上设 有把手(41)。
专利摘要一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板由两只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧，从而实现压板对整叠硅片的定压施压。这样就能精确控制整叠硅片的压力，并可减少硅片四周受力的不均，使产品性能一致，刻蚀效果好。
文档编号H01J37/32GK201887012SQ20102062823
公开日2011年6月29日 申请日期2010年11月29日 优先权日2010年11月29日
发明者宋佳 申请人:常州亿晶光电科技有限公司