工作台装置及输送装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及工作台装置及输送装置。
【背景技术】
[0002]在输送装置中，使用了例如如专利文献I所公开的、具有能够移动的工作台的工作台装置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2004 - 195620号
【发明内容】
_6] 发明要解决的问题
[0007]在工作台装置中，虽然设为了要使工作台在目标轨道上移动，但是若该工作台自目标轨道脱离，则具有该工作台装置的输送装置的性能有可能降低。例如，虽然设为了要使工作台在铅垂方向上笔直地移动，但是若该工作台未笔直地移动，则工作台的定位精度降低。由此，载置于该工作台的物体有可能未配置在期望的位置。
[0008]本发明的目的在于提供能够抑制工作台自目标轨道脱离或定位精度降低的工作台装置及输送装置。
_9] 用于解决问题的方案
[0010]用于达到上述目的的本发明的工作台装置包括:第I构件，其能够在规定面内移动；第2构件，其能够相对于上述第I构件相对移动；第I引导装置，其至少一部分配置于上述第I构件，并以通过上述第I构件的移动使上述第2构件沿与同上述规定面正交的第I轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第3构件，其连接于上述工作台的至少一部分；以及轴承构件，其具有能够向与上述第3构件之间供给气体的供给口，利用从上述供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与上述第I轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件。
[0011]因而，借助形成于第3构件与轴承构件之间的气体轴承，连接有第3构件的工作台能够在目标轨道上移动。例如，为了使第3构件在与第I轴线平行的方向上笔直地移动，轴承构件以能够使第3构件移动的方式支承(引导)该第3构件，从而使连接有该第3构件的工作台能够在与第I轴线平行的方向上笔直地移动。即，利用能够形成气体轴承的轴承构件抑制第3构件和工作台的移动中的直线性的降低。即，通过在第3构件与轴承构件之间形成气体轴承，使轴承构件以非接触方式支承第3构件。由此，第3构件能够顺畅地沿与第I轴线平行的方向移动。在轴承构件与第3构件相接触时，有可能对第3构件的移动产生阻力。其结果，虽然设为了要使工作台和第3构件笔直地移动，但是工作台和第3构件有可能未笔直地移动。另外，在轴承构件与第3构件相接触时，有可能因第3构件的移动而产生振动。在第3构件产生振动时，工作台也进行振动，其结果，工作台的定位精度有可能降低。在本发明中，由于轴承构件以能够使第3构件移动的方式非接触地支承该第3构件，因此工作台和第3构件能够笔直地移动。而且，振动的产生得到抑制。其结果，工作台的定位精度的降低得到抑制，能够将工作台和支承于该工作台的物体配置在目标位置。
[0012]在本发明的工作台装置中，上述第3构件是在与上述第I轴线平行的方向上较长的棒状的构件，上述轴承构件是配置于上述第3构件的周围的筒状的构件，上述供给口配置为与上述第3构件的侧面相对，在上述第3构件的与上述第I轴线平行的方向上的移动范围内，上述供给口与上述第3构件的侧面持续相对。
[0013]因而，在第3构件的移动范围内，能够在第3构件与轴承构件之间持续形成气体轴承，能够维持第3构件与轴承构件之间的非接触状态。
[0014]在本发明的工作台装置中，在与上述第I轴线平行的方向上，上述第3构件的尺寸大于上述轴承构件的尺寸。
[0015]因而，能够顺畅地将工作台和自轴承构件的上端部突出的第3构件连接起来。另夕卜，第3构件也自轴承构件的下端部突出，从而轴承构件的上端部侧与下端部侧之间的质量(重量)的平衡性提高。由此，第3构件能够笔直地进行移动。
[0016]在本发明的工作台装置中，在上述第3构件的移动范围内，在与上述第I轴线平行的方向上，上述第3构件的中心持续配置在上述轴承构件的一端部与另一端部之间。
[0017]因而，即使在第3构件的移动中，由于轴承构件的上端部侧与下端部侧之间的质量(重量)的平衡性提高，因此第3构件也能够笔直地进行移动。
[0018]在本发明的工作台装置中，该工作台装置包括:致动器，其用于产生动力以使得上述第I构件沿上述规定面内的与第2轴线平行的方向移动；以及抑制构件，其用于抑制上述第2构件的与上述第2轴线平行的方向上的移动。
[0019]因而，即使第I构件沿与第2轴线平行的方向移动，第2构件沿与第2轴线平行的方向移动的情况也得到抑制。由此，第I构件的与第2轴线平行的方向上的移动被高效地转换为第2构件的与第I轴线平行的方向上的移动。
[0020]在本发明的工作台装置中，该工作台装置具有第2引导装置，该第2引导装置的至少一部分配置于上述抑制构件，且该第2引导装置用于沿与上述第I轴线平行的方向引导上述第2构件。
[0021]因而，第2构件被第2引导装置引导而能够沿与第I轴线平行的方向移动。通过第2构件沿与第I轴线平行的方向移动，使支承于该第2构件的工作台也能够与第2构件一起沿与第I轴线平行的方向移动。
[0022]在本发明的工作台装置中，该工作台装置包括支承装置，该支承装置配置在上述第2构件与上述工作台之间，并用于柔软地支承上述工作台。
[0023]因而，即使由于抑制构件(第2引导装置)与第2构件之间的接触而使第2构件进行不期望的移动(振动)，也利用支承装置抑制该不期望的移动(振动)向工作台传递。
[0024]在本发明的工作台装置中，上述支承装置包括球面轴承。
[0025]因而，即使由于抑制构件(第2引导装置)与第2构件之间的接触而使第2构件进行振动或者第2构件自目标轨道脱离移动，也通过球面轴承的内轮构件与外轮构件之间的相对移动来吸收该不期望的移动(振动)，并抑制该第2构件的振动向工作台传递。
[0026]用于达到上述目的的本发明的输送装置包括上述工作台装置。
[0027]因而，输送装置能够将支承于工作台的物体输送到目标位置。
[0028]用于达到上述目的的本发明的半导体制造装置包括上述工作台装置。
[0029]因而，半导体制造装置能够对配置在目标位置的物体进行处理，因此自该物体制造出不良产品的情况得到抑制。
[0030]发明的效果
[0031]根据本发明的工作台装置及输送装置，工作台自目标轨道脱离的情况得到抑制，定位精度的降低得到抑制。
【附图说明】
[0032]图1是表示第I实施方式的工作台装置的一例的主视图。
[0033]图2是图1的A — A线向视图。
[0034]图3是表示第I实施方式的工作台装置的一例的侧视图。
[0035]图4是表示第I实施方式的工作台装置的一例的侧视图。
[0036]图5是将图1的一部分放大后的图。
[0037]图6是表示第I实施方式的引导装置的一例的图。
[0038]图7是表示第I实施方式的气体轴承的一例的图。
[0039]图8是表示第I实施方式的气体轴承的一例的剖视图。
[0040]图9是表示第I实施方式的工作台装置的动作的一例的图。
[0041]图10是表示第I实施方式的气体轴承的一例的剖视图。
[0042]图11是表示第2实施方式的工作台装置的一例的主视图。
[0043]图12是图11的A —A线向视图。
[0044]图13是表示本实施方式的工作台装置的一例的侧视图。
[0045]图14是表示本实施方式的工作台装置的一例的侧视图。
[0046]图15是将图11的一部分放大后的图。
[0047]图16是表示本实施方式的输送装置和半导体制造装置的一例的图。
[0048]图17是表示本实施方式的输送装置和检查装置的一例的图。
【具体实施方式】
[0049]以下，参照【附图说明】本发明的实施方式，但是本发明并不限定于此。以下说明的各个实施方式的要件能够适当地进行组合。此外，也存在不使用一部分构成要素的情况。在以下说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系说明各部的位置关系。将水平面内的一个方向设为X轴方向，将在水平面内与X轴方向正交的方向设为Y轴方向，将分别与X轴方向和Y轴方向正交的方向(即铅垂方向)设为Z轴方向。此外，将绕X轴、Y轴以及Z轴的旋转(倾斜)方向分别设为ΘΧ方向、Θ Y方向以及ΘΖ方向。X轴与YZ平面正交。Y轴与XZ平面正交。Z轴与XY平面正交。
[0050]<第I实施方式>
[0051]说明第I实施方式。图1是表示本实施方式的工作台装置100的一例的图。图2是图1的A — A线向视图。图3是从一 X侧观察图1的工作台装置100得到的图。图4是从十X侧观察图1的工作台装置100得到的图。图5是将图1的一部分放大后的图。
[0052]工作台装置100包括:工作台10，其能够支承物体S ;第I构件1，其能够在XY平面内(水平面内)移动；第2构件2，其能够相对于第I构件I相对移动；引导装置4，其至少一部分配置于第I构件1，并以通过第I构件I的移动使第2构件2沿Z轴方向移动的方式引导第2构件2 ;第3构件3，其连接于工作台10的至少一部分；轴承构件5，在其与第3构件3之间形成气体轴承5G，并以能够使第3构件沿Z轴方向移动的方式支承第3构件3 ；支承装置6，其用于支承轴承构件5 ;以及致动器7，其用于使第I构件I移动。轴承构件5具有能够向与第3构件3之间供给气体的供给口 15。轴承构件5利用从该供给口 15供给的气体，在该轴承构件与第3构件3之间形成气体轴承5G，并以非接触方式支承该第3构件3。
[0053]工作台装置100包括基座构件8。在本实施方式中，基座构件8包括第I基座构件81和用于支承第I基座构件81的第2基座构件82。基座构件8配置在例如设置工作台装置100的设施(例如工厂)的地面等上。
[0054]工作台10支承于第2构件2。在本实施方式中，第2构件2借助连接构件22支承工作台10。第2构件2与连接构件22相固定。连接构件22与工作台10相固定。另外，第2构件2与连接构件22也可以为一体。第3构件3连接于工作台10的至少一部分。工作台10具有朝向+ Z方向的上表面1A和朝向上表面1A的相反方向(一 Z方向)的下表面1Bo物体S载置于工作台10的上表面1A0上表面1A能够支承物体S。
[0055]第I构件1、第2构件2以及第3构件3分别配置于工作台10的下表面1B侧(一Z侧)。第2构件2在工作台10的下表面1B侧支承工作台10。第3构件3连接于工作台10的下表面10B。
[0056]第I构件1、第2构件2以及第3构件3分别是可动构件。第I构件1、第2构件2以及第3构件3分别在工作台10的下方的空间(一 Z侧的空间)内移动。第I构件1、第2构件2以及第3构件3分别在基座构件8的上方的空间(+ Z侧的空间)内移动。
[0057]第I构件I能够在XY平面内移动。在本实施方式中，第I构件I能够沿X轴方向移动。第I构件I在XZ平面内的外形呈大致三角形(楔形)。如图1和图5所示，第I构件I具有与XY平面平行的下表面1B、相对于XY平面倾斜的斜面IG以