00的焊接面进行摩擦之后，所述制造方法还包括:利用超声波处理所述靶材100，使铟焊料101进一步与靶材100浸润。
[0063]可选的，在利用超声波处理所述靶材的步骤中，采用超声波振荡器进行所述超声波处理，超声波振荡器的功率在6KW到1KW的范围内，输出频率在25Hz?35Hz的范围内，利用超声波处理所述靶材的时间在I到3分钟的范围内。但是本发明对超声波振荡器的功率、输出频率和处理时间不做限制。
[0064]对通过超声波来加强浸润效果，即通过超声波发生设备生成超声波，将所生成的超声波打在所述靶材100的焊接面和熔化后的所述铟焊料101上，使它们的原子发生振动。这样，所述靶材100的焊接面的表面能量提高，并且所述靶材100的焊接面上的原子和熔融后的所述铟焊料101的原子发生振动，使得它们能够更好的相互扩散进入对方，达到表面浸润的效果。此外，超声波震动能够将铟焊料101中的氧化物清理出来，减少焊接过程中的杂质。
[0065]但是本发明对是否利用超声波处理所述靶材100不做限制，对利用超声波处理所述靶材100的次数也不做限制，可以进行一到三次利用超声波处理所述靶材100的步骤。
[0066]还需要说明的是，本发明对背板200的焊接面表面浸润处理和靶材100的焊接面表面浸润处理的先后顺序不做限制，可以先后进行，或者同时进行，即对步骤S2和步骤S3的顺序不做限制。
[0067]还需要说明的是，在其他实施例中，在对背板200和靶材100的焊接面表面浸润处理过程中，还可以将固态的铟焊料放置于背板200或靶材100上，然后加热所述背板200或靶材100，以使固态的铟焊料熔融。
[0068]参考图5，执行步骤S4，将完成表面浸润处理后的所述靶材100的焊接面与所述背板200的焊接面焊接在一起。
[0069]本实施例中，利用所述铟焊料101将所述靶材100的焊接面与所述背板200的焊接面焊接在一起，可以通过将所述靶材100的焊接面向下扣在所述背板200的焊接面上的方式，或者将所述背板焊接面向下扣在所述靶材100上的方式，使得所述靶材100的焊接面与所述背板200的焊接面焊接在一起。
[0070]在将所述靶材100的焊接面至所述背板200的焊接面之后，对它们施加压力，使得焊接更加牢固。
[0071]由于在实施例中，铟焊料101与靶材100的焊接面能够充分浸润，在将靶材100与背板200的焊接面焊接之后，靶材100与背板200的焊接面结合性较强，不容易产生缺陷，并且通过实践证明，利用本发明所提供的靶材组件的制造方法，靶材与背板的拉伸力达到
9.0-12MPa，表明本发明所提供的靶材组件的制造方法所制作的靶材组件焊接牢固，能够满足磁控溅射工艺对靶材的要求。
[0072]而且，在本实施例中，靶材100与背板200均采用铟焊料101浸润，在靶材100与背板200的焊接过程中，靶材100上的铟焊料101与背板200上的铟焊料101结合性能较强，铟焊料的总使用量较现有技术更少，将靶材100与背板200的焊接面焊接之后，不容易产生缺陷。本发明焊接方法没有引入其他焊料，不会降低铟焊料的纯度，回收的铟焊料可以全部再次使用，提高了铟焊料的回收纯度。
[0073]此外，靶材100与背板200均采用铟焊料101浸润，由于铟焊料101焊接工艺的温度较低，氧化较少，有利于降低焊接过程的能耗、节约成本，并提高焊接后靶材组件的质量。
[0074]以上所述仅为本发明的具体实施例，目的是为了使本领域技术人员更好的理解本发明的精神，然而本发明的保护范围并不以该具体实施例的具体描述为限定范围，任何本领域的技术人员在不脱离本发明精神的范围内，可以对本发明的具体实施例做修改，而不脱离本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括: 提供靶材和背板； 利用铟焊料对背板的焊接面进行表面浸润处理； 在靶材的焊接面涂布铟焊料，采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦，以进行表面浸润处理； 将完成表面浸润处理后的所述靶材的焊接面与所述背板的焊接面焊接在一起。2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在靶材的焊接面涂布铟焊料，采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦，以进行表面浸润处理的步骤包括:在靶材的焊接面涂布铟焊料之后，采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦之前，加热所述靶材，使靶材上的铟焊料熔融。3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦的步骤中，使革E材的焊接面的粗糙度达到1.6微米到2.4微米的范围。4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦的步骤中，采用钢丝毛刷将靶材的焊接面摩擦二到八次。5.如权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述钢丝毛刷包括粗钢丝毛刷和细钢丝毛刷，粗钢丝毛刷的刷毛直径在0.1mm到0.3mm的范围内；细钢丝毛刷的刷毛直径在0.0lmm到0.03mm的范围内； 采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦的步骤中，先采用粗钢丝毛刷将靶材的焊接面摩擦三到四次，再采用细钢丝毛刷将靶材的焊接面摩擦二到三次。6.如权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述靶材的焊接面为矩形，矩形的两边沿第一方向，另两边沿第二方向，在采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦的步骤中，使钢丝毛刷沿焊接面的第一方向往复摩擦，并且在往复摩擦的过程中使钢丝毛刷沿第二方向移动。7.如权利要求2所述的制造方法，其特征在于，加热所述靶材的步骤包括:对所述靶材的加热温度控制于232°C?250°C之间。8.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦之后，利用超声波处理所述靶材，使铟焊料进一步与靶材浸润。9.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，在利用超声波处理所述靶材的步骤中，采用超声波振荡器进行所述超声波处理，超声波振荡器的功率在6KW到1KW的范围内，输出频率在25Hz?35Hz的范围内。10.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，在利用超声波处理所述靶材的步骤中，利用超声波处理所述靶材的时间在I到3分钟的范围内。11.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，进行一到三次利用超声波处理所述靶材的步骤。
【专利摘要】本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：利用铟焊料对背板的焊接面进行表面浸润处理；在靶材的焊接面涂布铟焊料，采用钢丝毛刷对靶材的焊接面进行摩擦，以进行表面浸润处理；将完成表面浸润处理后的所述靶材的焊接面与所述背板的焊接面焊接在一起。通过采用钢丝毛刷摩擦所述靶材的焊接面的步骤，能够去除靶材的焊接面上的金属氧化物，并使得靶材的焊接面粗糙度增大，进而铟焊料与靶材的焊接面能够充分浸润，在将靶材与背板的焊接面焊接之后，靶材与背板的焊接面结合性较强，不容易产生缺陷靶材与背板均采用铟焊料浸润，铟焊料与铟焊料的结合性能较强，铟焊料的总使用量较现有技术更少，并提高了铟焊料的回收纯度。
【IPC分类】B23K1/19, B23K1/08
【公开号】CN105618886
【申请号】CN201410588843
【发明人】姚力军, 潘杰, 相原俊夫, 大岩一彦, 王学泽, 李健成, 周伟君
【申请人】宁波江丰电子材料股份有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年10月28日