专利名称：用于在基底上气相沉积的设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的、用于在基底上气相沉积的设备。
背景技术：
通常在真空条件下使合成膜具有金属层，例如以便于使合成膜不能透过气体、或者使其导电。如果并非所有区域、而是只是某些印迹线做成导电的，则使不会接收到金属层的那些区域具有若干油膜条带。由于这些油膜，金属无法附着在叠层上。借助于油蒸发器涂敷这些油膜条带。
用于以在真空条件下涂布膜印迹线的方式生产不含金属的条带、尤其是用于生产电容的设备是已知的，在该设备中设有装油的容器，该设备具有至少一个出气管(DE 3922187 A1)。该出气管的出气管嘴终止于涂布室中的油面下方，紧邻所要涂布的基底。
而且，已知一种用于在隔热材料带的金属气相沉积中生产不含金属的条带的方法和设备(EP 0756020 A1)。这里，在所要生产的不含金属的条带的区域中涂上覆带，借助于油蒸发器，该覆带在一侧涂有油。油蒸发器结构的细节并未提供。
在另一种已知的用于生产油遮蔽膜的设备中设置了圆柱形的遮蔽辊，遮蔽油被导入该设备中(JP2001-279425)。在遮蔽辊的周围有开口，遮蔽油通过该开口输出。在该遮蔽辊上方定位有带若干通孔的薄叠层，且这些通孔与该开口重叠。
在JP 2004-214185中公开了另一种设备，其中基底被引导经过若干线性设置的管嘴。这里所说的设备包括装油的盒形装置，以及定位于该设备下方的加热系统。
上述设备不具有计量流出的油汽量的能力。
发明内容
因此，本发明解决了提供一种用于在基底上气相沉积油的设备的问题，该设备可以设定流出的油汽量。
该问题通过权利要求1所述的特征而得到解决。
因此，本发明涉及一种用于在基底上气相沉积的设备。该设备包括盘以及带若干线性设置的孔的盖。在该盖的上方设置有密封装置，该密封装置也具有若干开口。通过该密封装置，盖的这些孔可以封闭或者开放，且所有的孔都被同时处理。通过该密封装置，能够在极短的时间内设定不同的蒸发速率。
本发明中所述的设备具有使蒸汽压力具有更明显的均一性的优点，并因而在油膜的整个工作宽度上使油膜条带精度获得更明显的均一性。
设备包括设置成行的若干孔，且这些孔可借助于密封装置敞开或者封闭。该密封装置还包括若干开口，并且，通过致动该密封装置，这些孔可以敞开或者封闭。
该密封装置同时处理所有的孔，从而可以实现一致地开放所有的孔。
由此变得可以在极短的时间内设定热惯性蒸发设备的蒸发速率。
本发明的一个优点包括可以设置密封装置，使得流出的蒸汽量一直保持恒定。由于蒸汽量的恒定，因而基底的涂层也可以变得均匀，从而该设备尤其适合于在金属合成膜上形成条带、图案以及表面不含金属的区域。
本发明的另一个优点在于，准备期间以及气相沉积工艺的结束期间，蒸发空间可以借助于密封装置而封闭。因此，油的泄漏变得不大可能，这还使油对环境的污染降到了最小。从而，可以显著地减小油的损耗。因此，密封装置具有设定打开位置或者关闭位置的能力。
利用调节流出的油汽量的能力，可以使油量最优，从而变得可以在边缘精度和残留油量方面改善不含金属的区域的质量。例如，可以精确地设定，从而借助于测量设备确定所排出的油量。如果油汽的排出量与标定值不相对应，则有信号传递到用于致动密封装置的装置，从而再将油汽量设定在标定值。
该设备的构思还体现在，使得上升蒸汽只沿着向上方向、即朝向一个侧面离开该设备，这是因为其它所有侧面上完全不能透过蒸汽。从而，不再发生交叉流，在设备的所有区域中蒸汽压力接近相等，由此在管嘴下方的空间中也不存在流阻。由于坩埚和呈滑块形式的密封装置的较浅的构造，设备可以采取比先前已知的蒸发器单元小得多的尺寸。
本发明的主题显示在附图中，且将在下文中进一步详细地描述。在附图中图1是用在基底上沉积油的设备、以及被导向经过该设备的基底的透视图；图2是根据图1的设备在没有基底和管嘴杆时的透视图；
图3是沿A-A通过根据图1的设备的纵向截面的一段的视图，其中滑块处于打开位置；图4是在沿顺时针方向转动90度之后，沿B-B通过图1所示的设备的截面视图，其中滑块处于打开位置。
具体实施例方式
图1显示了用于在真空下、在例如有机材料的材料基底上气相沉积的设备1的透视图。在该设备1上方，沿B-B引导叠层基底38。如果该基底为合成膜，则如JP 2001-279425所述，基底可以在设备1上方移动。为了产生出尖锐边缘的条带，基底38和设备1之间的距离通常非常小。
该设备1包括油盘2，其中设置有所要蒸发的油。在油盘2上有隔热层3，在隔热层3上设有加热板4。在该加热板4上定位有管嘴杆5，该管嘴杆5在其顶部边缘具有间隙6。还可以设置若干独立管嘴以代替间隙6。沿线A-A设有带若干孔的滑块7，在图1中只有其中的孔10是可见的。间隙6由两个区域24、25定界。
而且，该设备1包括若干连接元件28-32，它们将油盘2、隔热层3、加热板4以及搁在它们上面的管嘴杆5彼此连接起来。
油盘2包括至少一个加热系统，在图1中该加热系统显示为棒式加热器9。该加热器9为例如电阻加热器，其优选地在交流电压源下工作。通过该棒式加热器9，使油盘2中的油蒸发。
为了防止蒸汽在设备1的中心区域冷凝，加热板4包括至少一个单独的棒式加热器8。
图2显示了图1所示的设备1没有基底38和管嘴杆5时的透视图。而且，可以看到滑块7，该滑块7被设置在加热板4中。如这里所示，滑块7可以呈细长板的形式。加热板4与靠在油盘2上面的隔热板3相接触，而且隔热板3、加热板4以及油盘2通过连接元件28-37而彼此连接起来。而且，棒式加热器9、8和27是明显可见的。
隔热板3用于将油盘2和加热板4热隔离开。在单独加热器的情况下，可以将不同温度的棒式加热器8和加热器9因此设置在加热板4和油盘2中。隔热板3由大体柔性的合成材料构成，其同时用作密封材料。
加热板4在它沿A-A的中心具有凹槽，滑块7被装配在该凹槽中。该滑块7具有设置成行的若干开口10-14，它们基本彼此等距地间隔开。滑块7能够沿A-A(见箭头)移动。必须有至少与加热板4(图2中不可见)的孔一样多的开口10-14，两个开口10-14的中心距与加热板4中的两个孔的中心距相对应。加热板的孔径大致与滑块7的开口10-14的直径相对应。从而，滑块7的长度与加热板4的长度加上两个开口10-14的中心距相对应。因此，变得可能的是一方面，开口10-14的中心可以精确地位于这些孔的中心上方，另一方面，位于这些孔的中心之间。如果这些开口精确地位于这些孔上方，则蒸汽可以从油盘2的内部离开，然而，如果这些开口位于这些孔之间，则阻止了蒸汽离开。要理解的是，在这两个极端位置之间可以有若干可能位置，在这些位置，可以使减小量的蒸汽离开。要理解的是，可以设置比图2中所示的开口数量更多、且尺寸更小的开口10-14。
在沿A-A延伸的加热板4的两个侧面上均设有密封材料15、16，这防止了蒸汽从油盘2离开。该密封材料15、16优选地包含橡胶型的弹性材料。
图3显示了图1所示设备沿A-A的纵向截面的一段。在油盘2的内部空间18中可以看到加热棒9，该加热棒9完全被油包围。在油盘2上定位有隔热板3，在隔热板3上设有加热板4。该加热板4包括若干孔19-22，蒸汽可从这些孔离开并通过滑块7的开口10-14而进入空隙26。
如在图3中所见，带开口10的滑块7的一部分位于油盘2外侧。以下述方式将滑块7设置在加热板4上，即，使得滑块的开口12-14的一部分与加热板4的孔19-21对准。从而，上升的蒸汽能够通过这些孔19-21和开口12-14进入管嘴杆5的空隙26中，并从那通过间隙6而穿到设备1外。以此方式，蒸汽到达在设备1上方移动的基底38。
如果滑块7进一步滑动到设备1中，则可以确定开口10-12现在仅部分地位于孔19-22上方。在此情况中，滑块7作用类似于节流阀，这是因为较少的蒸汽能够穿到油盘2外。如果滑块7又进一步滑动到设备1中，则涂布工艺被完全中断，这是因为没有开口仍然位于孔19-22上方，且蒸汽不再可能从油盘2离开。
图4显示了图3所示的设备在沿顺时针方向转动90度之后沿B-B的截面视图。基底38在设备1上方移动，并经过设备1。加热棒9在油盘2的内部18延伸，该加热棒9完全被油17所包围。
在油盘2上有隔热板3以及加热板4和管嘴杆5。所有的这些元件2-5通过连接件29-34而保持在一起，从而这些元件彼此紧密地相邻。从而，蒸汽不可能在设备1的侧面离开。两个加热棒8和27延伸通过加热板4。还可看到的是橡胶型的弹性材料15、16以及平行延伸到孔19的密封材料23。从而，该孔19与余下的孔20、21、22一样也被密封材料完全包围。
在加热板4上停靠有带开口12的滑块7，滑块7正好位于孔19上方。因此，上升蒸汽可以到达空隙26。为了获得均匀的油膜条带，特别是在带有很少管嘴的管嘴杆的情况下，蒸汽压力的平衡必须是可能的，而没有明显的流阻。因此，管嘴下方的空隙26必须尽可能的大。管嘴杆5具有由两个区域24、25限定出的间隙6。通过该间隙6，蒸汽可以离开设备1，并到达移动经过该设备1的基底38，蒸汽最后冷凝在基底38上。
滑块7的滑动完成，使得开口12不再、或者仅部分地位于孔19上方。
如果滑块7仅部分地位于孔19上方，则获得了节流效果，相反的，如果开口12不再位于孔19上方，则蒸汽不能离开。从而，滑块7作为密封阀。
一旦涂布工艺完成，而且设备1已冷却下来，则可以卸下连接件29、34，而且可以容易拆开该装置并清洁它。
权利要求
1.一种用于在基底上气相沉积的设备，该设备包括盘(2)以及在该盘(2)上方、带有若干线性设置的孔(19-22)的盖(4)，其特征在于，在该盖(4)的上方设有密封装置(7)，该密封装置(7)还包括若干线性设置的开口(10-14)。
2.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)具有至少与所述盖(4)具有的孔(19-22)一样多的开口(10-14)。
3.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)能够沿着一个坐标移动。
4.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)的长度大致与所述盖(4)的长度相对应。
5.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)的长度至少为所述盖(4)的长度加上与两个孔(19-22)的中心距相对应的长度。
6.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)的两个相邻开口(10-14)的中心之间的距离近似与所述盖(4)的两个相邻孔(19-22)的中心之间的距离相对应。
7.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)采取这样的位置，在该位置，所述开口(10-14)的中心精确地位于所述盖(4)的孔(19-22)的中心上方。
8.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置(7)采取这样的位置，在该位置，所述开口(10-14)的中心精确地位于所述盖(4)的相邻孔(19-22)之间的中心。
9.如权利要求1所述的设备，其中，所述盘(2)具有至少一个加热器(9)。
10.如权利要求1所述的设备，其中，所述盖(4)具有至少一个加热器(8、27)。
11.如权利要求1所述的设备，其中，在所述盘(2)和所述盖(4)之间设有隔热板(3)。
12.如权利要求1所述的设备，其中，在管嘴杆(5)中，在所述密封装置(7)上方设有蒸汽空隙(26)。
13.如权利要求12所述的设备，其中，在所述管嘴杆(5)中，在所述蒸汽空隙(26)上方设有间隙(6)。
14.如权利要求9或权利要求10所述的设备，其中，所述加热器(9、8、27)为棒式加热器。
全文摘要
本发明涉及一种用于在基底上气相沉积的设备。该设备包括盘和带有若干线性设置的孔的盖。在该盖的上方设有密封装置，该密封装置也包括若干开口。通过该密封装置，可以使盖的这些孔敞开或者封闭，所有的孔被同时处理。通过该密封装置，能够在极短的时间内设定不同的蒸发速率。
文档编号C23C14/54GK1955331SQ20061011007
公开日2007年5月2日 申请日期2006年7月31日 优先权日2005年10月26日
发明者甘特·克莱姆 申请人:应用材料有限公司