专利名称：紧凑型灵敏气缸的制作方法
技术领域：
本发明涉及双面抛光/研磨机领域，尤其涉及双面抛光/研磨机上盘系统的控制 压力用气缸的结构。
背景技术：
电子专用加工设备双面抛光机的压力控制通常采用气动控制，气缸通常作为执行 元件。传统的抛光设备的加压气缸通常采用普通气缸或低摩擦气缸，均为标准气缸。由于 双面抛光/研磨设备的使用环境对洁净度要求较高，设备通常在洁净厂房内使用，因此对 设备的高度有所限制，对作用压力要求精确平稳。在实际生产中，如果采用市场上可采购到 的标准气缸，压力精度、结构尺寸、洁净要求均不能满足工艺使用的要求。
发明内容
本发明的目的在于避免现有技术的不足，提供一种紧凑型灵敏气缸。以解决因采 用标准气缸导致设备高度过高及不易清洁的问题，同时实现对上盘系统压力的精确控制。为实现上述目的，本发明采取的技术方案为一种紧凑型灵敏气缸，包括有气缸后 盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接，缸筒(13)上设有上通气口(15)活塞杆(8)上 设有活塞(5)，其主要特点是包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。所述的紧凑型灵敏气缸，所述的活塞杆(8)的杆端设有与拉力传感器连接的杆端 螺纹。所述的紧凑型灵敏气缸，在所述的气缸后盖(1)与活塞(5)之间设有上缓冲垫 (14)；在气缸前盖(9)与活塞(5)之间设有下缓冲垫(7)。所述的紧凑型灵敏气缸，在所述的活塞(5)上设有活塞密封圈(6)。所述的紧凑型灵敏气缸，在所述的活塞密封圈(6)上涂有低摩擦润滑脂。所述的 活塞密封圈(6)为特殊橡胶。在所述的缸筒内壁采用珩磨加工，光洁度小于0.4 μ m。从而使气缸动作灵敏，启动 压力0. 005Mpa，而普通气缸为0. 05MPa。本发明的有益效果本发明上盘系统的升降和加压分别由两个串联的气缸完成，主气缸负责上盘系统 的快速升降，加压缸负责上盘系统的压力控制。采用传统的标准气缸时，主气缸和加压气缸 之间由过渡连接法兰连接，无形中增大了轴向尺寸。在本发明中，将加压气缸的后端盖加 厚，并在后端盖中间位置做有与主气缸缸杆杆端螺纹一致的螺纹孔，这样主气缸可直接与 加压气缸相连，省去了中间的过渡连接法兰。加压缸的缸杆前端外螺纹做成与拉力传感器 的螺纹一致，加压缸与拉力传感器可直接相连，同样可省去中间的过渡零件。采用以上结 构，有效的缩小了轴向安装尺寸，大大缩短了上盘系统的安装尺寸。前缸盖的焊接结构，后 缸盖采用沉头螺钉连接，一方面头大大的增强了气缸使用安全性，另一方面气缸外观整齐， 光滑美观。特殊的活塞密封件，不仅能够起到有效的密封作用，还实现了运动的低摩擦性，是实现上盘系统压力精确控制的有力保证。本发明紧凑型灵敏气缸，主要应用于电子专用加工设备双面抛光/研磨机上盘系 统的压力控制及缓升缓降用，也可用于其他需要精确压力控制及低速平稳动作控制的场
I=I O
图1是本发明的结构示意图；图2升降和加压两个气缸串联的结构示意图。图中1、气缸后盖；2、与主气缸连接用螺纹孔；3密封圈；4、螺钉连接孔；5、活塞； 6、密封圈；7、缓冲垫；8、活塞杆；9、前盖；10、与拉力传感连接的杆端螺纹；11、密封圈；12、 通气口 ；13、缸筒；14缓冲垫；15、通气口 ；16、主气缸杠杆；17、螺母。
具体实施例方式以下对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限 定本发明的范围。实施例1 一种紧凑型灵敏气缸，包括有气缸后盖1、气缸前盖9分别与缸筒13连 接，缸筒13上设有上通气口 15活塞杆8上设有活塞5，包括有在气缸后盖1上设有与主气 缸连接用螺纹孔2。所述的活塞杆8的杆端设有与拉力传感器连接的杆端螺纹。在所述的 气缸后盖1与活塞5之间设有上缓冲垫14 ；在气缸前盖9与活塞5之间设有下缓冲垫7。 在所述的活塞5上设有活塞密封圈6。在所述的活塞密封圈6上涂有低摩擦润滑脂。加压 缸前缸盖与缸筒间采用焊接结构，后缸盖和缸筒采用沉头螺钉连接，后缸盖中间位置做有 与主气缸缸杆杆端螺纹一致的螺纹孔，加压缸的缸杆杆端螺纹分为两段，其中前端外螺纹 与拉力传感器的螺纹一致，气缸行程两端采用弹性缓冲，活塞采用整体式低摩擦型，在保证 密封可靠的前提下，实现运动的低摩擦性。气缸侧面留有两个通气口，气缸内添加低摩擦润 滑脂。实施例2 如图2，所述的紧凑型灵敏气缸通过与主气缸连接用螺纹孔2与主气缸 相连接。本气缸用于双面抛光/研磨机工作时上盘的缓升缓降及加工压力精确控制，主气 缸杠杆(或其他动作机构)旋入其后盖螺纹孔即可进行大行程快升快降动作。上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原 则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
一种紧凑型灵敏气缸，包括有气缸后盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接，缸筒(13)上设有上通气口(15)，活塞杆(8)上设有活塞(5)，其特征是，还包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。
2.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸，其特征是，所述的活塞杆(8)的杆端设有与拉 力传感器连接的杆端螺纹。
3.如权利要求1或2所述的紧凑型灵敏气缸，其特征是，在所述的气缸后盖(1)与活塞 (5)之间设有上缓冲垫(14)；在气缸前盖(9)与活塞(5)之间设有下缓冲垫(7)。
4.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸，其特征是，在所述的活塞(5)上设有活塞密封 圈(6)。
5.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸，其特征是，在所述的活塞密封圈(6)上涂有低 摩擦润滑脂。
6.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸，其特征是，在所述的缸筒内壁采用珩磨加工， 光洁度小于0.4 μ m。
全文摘要
本发明涉及双面抛光/研磨机领域，尤其涉及双面抛光/研磨机上盘系统的控制压力用气缸的结构。一种紧凑型灵敏气缸，包括有气缸后盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接，缸筒(13)上设有上通气口(15)活塞杆(8)上设有活塞(5)，其主要特点是包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。本发明的优点是有效的缩小了轴向安装尺寸，大大缩短了上盘系统的安装尺寸。前缸盖的焊接结构，后缸盖采用沉头螺钉连接，一方面头大大的增强了气缸使用安全性，另一方面气缸外观整齐，光滑美观。特殊的活塞密封件，不仅能够起到有效的密封作用，还实现了运动的低摩擦性，是实现上盘系统压力精确控制的有力保证。
文档编号B24B41/00GK101982301SQ201010270759
公开日2011年3月2日 申请日期2010年8月30日 优先权日2010年8月30日
发明者梁春, 金万斌 申请人:兰州瑞德实业集团有限公司