专利名称：新型液体气化器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用来气化镀膜前驱液的气化器，具体涉及一种新型液体气化
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背景技术：
在20世纪70年代，人们开始尝试CVD与平板玻璃生产线结合在一起的在线工艺， 试图用它在大面积平板玻璃上进行镀膜。采用这种工艺生产出来的第一个产品是英国皮尔金顿公司生产的“Reflectafloat”阳光控制膜。与用于生产半导体部件产品相反的是，在平板玻璃应用中，吹过玻璃表面的镀膜气体气流与周围气压属于湍流的范围。这样，在大面积玻璃表面上得到的膜层沉积速率就更高，厚度也更均勻。目前，在浮法玻璃生产线上利用CVD工艺可以在玻璃基片上镀多种金属和非金属及其氧化物、氮化物和碳化物薄膜，目前已知的用来镀膜的化学物只有很少的一部分是气态的，大多数为液态或固态，而现在在线镀膜所需要解决的就是如何解决镀膜的均勻性、防止在玻璃表面出现彩虹、如何使膜层的技术指标达到要求的问题。这和均勻的气体成分、稳定的气压是密不可分的，而目前我们所采用的镀膜前驱液大多数为液态物质，所以就需要这样一种气化器来保证液体完全气化后的气体的均勻及稳定。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决镀膜的均勻性、防止在玻璃表面出现彩虹、如何使膜层的技术指标达到要求，而提供一种新型液体气化器。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是新型液体气化器，包括气化器主体，其特征在于气化器主体内设有上隔板和下隔板，两个隔板沿气化器主体的横截面方向设置，两个隔板在气化器主体内形成上、中、下三个密闭的空腔；在气化器主体的上部空腔壳体上还设有一个出气口与外部相通，在上部空腔内的上隔板上还设有一个封闭罩；在中部空腔壳体上设有一个导油孔，用于对中部空腔注入导热油，在中部空腔处还设有一组进料管由中部空腔的外侧穿入壳体内且穿过上隔板至封闭罩内与封闭罩内相连通；在气化器主体的下部空腔内设有一个支撑板，将下部空腔分隔成上、下两部分，在下部空腔的壳体上还设有一个载气入口与下部空腔的下半部分相通，在支撑板上还设有一组气化管，所述的气化管由下隔板穿入，依次穿过中部空腔，上隔板、封闭罩至气化器主体的上部空腔内，在上隔板对应的每个气化管截面以下的气化管内设有填料，在封闭罩内的每个气化管上设有溢液口与封闭罩相通。前驱液体由进料管进入封闭罩，经溢液口进入气化管，在流经填料层时受热气化， 热源来自导热油。[0011]载气由载气入口进入下部空腔，再进入气化管，在填料层携带气化后的气体上升至上部空腔，最终由出气口流出。在上述的主要技术方案的基础上，可以增加以下进一步完善的技术方案在气化器主体的上部空腔内设有一个除沫器，将上部空腔分隔成上、下两部分，所述的除沫器可对气化后的气体进行过滤。在封闭罩上方的每个气化管上设有溢流口与上部空腔相通，除沫器隔离下的冷凝原料经溢流口再次流入气化管内进行再次气化。在导油孔上方的中部空腔壳体上设有出油孔与外部相通。在下部空腔的下半部分壳体上设有排液口与外部相通，残液及残渣经排液口流
出ο本实用新型的有益效果是能够防止气体冷凝液进入气体输送管道，同时能够将冷凝的液体再次气化，提高了气化效率，节约了成本，便于安装，方便维护。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型的主视图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型新型液体气化器，包括气化器主体13，气化器主体13内设有上隔板9和下隔板15，两个隔板沿气化器主体的横截面方向设置，两个隔板在气化器主体13内形成上、中、下三个密闭的空腔，上部空腔2和下部空腔18为半圆球形，中部空腔 11为圆柱形；在气化器主体13的上部空腔2内设有一个除沫器3，将上部空腔2分隔成上、下两部分，在上部空腔2壳体的上半部分上还设有一个出气口 1与外部相通，所述的出气口 1优选设置在的半圆球形的顶部，在上部空腔2的下半部分内的上隔板9上还设有一个封闭罩 6，封闭罩6为圆柱形，其直径小于半圆球形的直径；在中部空腔11壳体上设有一个导油孔14，用于对中部空腔注入导热油，所述导油孔14位于靠近下隔板15的中部空腔11壳体上，在导油孔14上方的中部空腔11壳体上设有出油孔10与外部相通，在靠近下隔板15的中部空腔处还设有两个进料管8由中部空腔 11的外侧穿入中部空腔11壳体内且穿过上隔板9至封闭罩6内与封闭罩6内相连通，所述的两个进料管8在中部空腔11壳体上对称设置；在气化器主体13的下部空腔18内设有一个支撑板16，将下部空腔18分隔成上、 下两部分，在下部空腔18的下半部分壳体上还设有一个载气入口 17与下部空腔18的下半部分相通，在支撑板16上还设有一组气化管4，所述的气化管4由下隔板15穿入，依次穿过中部空腔11，上隔板9、封闭罩6至气化器主体13的上部空腔2内，所述的一组气化管4 在气化器主体13以中心线向外侧均勻分布，所述的两个进料管8位于气化管4的外侧，在上隔板9对应的每个气化管4截面以下的气化管4内设有填料12，优选由气化管4的底部至上隔板9对应的截面位置都填充填料12，在封闭罩6内的每个气化管4上设有溢液口 7 与封闭罩6相通，在封闭罩6上方的每个气化管4上设有溢流口 5与上部空腔2相通，除沫器3隔离下的冷凝原料经溢流口 5再次流入气化管4内进行再次气化，在下部空腔的下半部分壳体上还设有排液口 19与外部相通，残液及残渣经排液口流出。 液体经进料管8流入封闭罩6内，经过溢液口 7流入气化管4内，气化管4内的填料12经导热油加热后，对液体进行加热，载气由载气入口 17进入下部空腔18，再进入气化管4，在填料12携带气化后的气体上升至上部空腔2，经除沫器3过滤后由出气口 1流出， 除沫器3隔离下的冷凝原料经溢流口 5再次流入气化管4内进行再次气化。导热油充满由上隔板9和下隔板15以及侧壁构成的气化器主体内13，通过导热油对气化管4进行加热， 残液及残渣经排液口 19流出。
权利要求1.新型液体气化器，包括气化器主体(13)，其特征在于气化器主体(13)内设有上隔板(9)和下隔板(15)，两个隔板沿气化器主体的横截面方向设置，两个隔板在气化器主体 (13)内形成上、中、下三个密闭的空腔；在气化器主体(13)的上部空腔(2)壳体上还设有一个出气口( 1)与外部相通，在上部空腔(2)内的上隔板上还设有一个封闭罩(6)；在中部空腔(11)壳体上设有一个导油孔(14)，用于对中部空腔注入导热油，在中部空腔(11)处还设有一组进料管(8)由中部空腔(11)的外侧穿入中部空腔壳体内且穿过上隔板(9)至封闭罩(6)内与封闭罩(6)内相连通；在气化器主体(13)的下部空腔(18)内设有一个支撑板(16)，将下部空腔(18)分隔成上、下两部分，在下部空腔(18)壳体上还设有一个载气入口( 17)与下部空腔(18)的下半部分相通，在支撑板(16)上还设有一组气化管(4)，所述的气化管(4)由下隔板(15)穿入，依次穿过中部空腔(11)，上隔板(9)、封闭罩(6)至气化器主体(13)的上部空腔(2)内，在上隔板(9)对应的每个气化管(4)截面以下的气化管(4)内设有填料(12)，在封闭罩(6)内的每个气化管(4)上设有溢液口(7)与封闭罩(6)相通。
2.根据权利要求1所述的新型液体气化器，其特征在于在气化器主体(13)的上部空腔(2)内设有一个除沫器(3)，将上部空腔(2)分隔成上、下两部分。
3.根据权利要求2所述的新型液体气化器，其特征在于在封闭罩(6)上方的每个气化管(4)上设有溢流口(5)与上部空腔(2)相通。
4.根据权利要求1所述的新型液体气化器，其特征在于在导油孔(14)上方的中部空腔(11)壳体上设有出油孔(10)与外部相通。
5.根据权利要求1所述的新型液体气化器，其特征在于在下部空腔(18)的下半部分壳体上设有排液口(19)与外部相通。
专利摘要本实用新型涉及新型液体气化器，包括气化器主体(13)，其特征在于气化器主体(13)内设有上隔板(9)和下隔板(15)，两个隔板沿气化器主体的横截面方向设置，两个隔板在气化器主体(13)内形成上、中、下三个密闭的空腔；在气化器主体(13)的下部空腔(18)内设有一个支撑板(16)，在下部空腔(18)壳体上还设有一个载气入口(17)与下部空腔(18)的下半部分相通，在支撑板(16)上还设有一组气化管(4)，在上隔板(9)对应的每个气化管(4)截面以下的气化管(4)内设有填料(12)，在封闭罩(6)内的每个气化管(4)上设有溢液口(7)与封闭罩(6)相通。本实用新型的有益效果是能够防止气体冷凝液进入气体输送管道，同时能够将冷凝的液体再次气化，提高了气化效率，节约了成本，便于安装，方便维护。
文档编号C23C16/448GK202323017SQ201120460788
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月19日 优先权日2011年11月19日
发明者单传丽, 张家林, 王东, 甘治平, 石丽芬, 邹上荣, 金良茂, 陈凯 申请人:中国建材国际工程集团有限公司, 蚌埠玻璃工业设计研究院