专利名称：一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种真空镀膜领域，特别是一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置。
背景技术：
传统镀膜工艺不需要接入高压电源，只是单纯实现镀膜工艺。随着真空镀膜工艺广泛应用和技术要求的提升，部分设备制造企业也开始采用向真空室引入高压电源类似工艺技术在制备汽车灯具保护膜。为了向真空容器中引入高压电源，可采用将高压线通过密封航空插头或陶瓷接头引入真空室体的办法。航空插头引入办法可以满足真空密封的要求，但是由于电源功率和工作电压等级较高，接入装置在带电连续运行10次左右(每次100多秒)就会将绝缘层或密封处的密封圈烧毁，很难克服在接入处的真空放电打火问题。由工 程陶瓷材质的高压接入装置可以满足高压绝缘等级，但是存在的问题是，一方面这种高压电极在真空室体中与内部电极碰撞对接的过程容易破损，另外对真空密封紧固困难，结构加工难度加大，价格昂贵。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单，结实耐用的真空专用大功率交流高压绝缘接入装置。本发明采用的技术方案是这样的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端，电源接入口外设有防护罩，电压导出端的端口设有高压触头，整个装置通过电极座固定在真空室壳体上，其特征在于，所述的电压导出端为3级绝缘防护结构，所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。第一级防护结构和第二级防护结构主体为电极套管；所述的第一级防护结构穿过真空室壳体，在第一级防护结构与电源接入口的连接处设有绝缘套2，拉杆从绝缘套2中穿过；所述的第二级防护结构内设有绝缘套I，所述的绝缘套包裹住拉杆。第三级防护结构主体为隔套，隔套的材质为聚四氟乙烯，所述的隔套内还设有滑套，所述的滑套内有可以容纳高压触头的空间。第三级防护结构尾端置于第二级防护结构内。所述的弹性缓冲防撞结构为在滑套的空间内设置弹簧，高压触头的尾端置于滑套的空间内并抵在弹簧上，滑套的头端设有锁紧螺母。高压触头的头端超出隔套的前端。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是本发明的电压导出端为3级绝缘防护结构，隔套的材质为聚四氟乙烯，且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构，该发明绝缘性能好，结构简单，且不易破损。完全满足工艺需要，有力减少了设备故障率，提高工艺可靠性和稳定性。
本发明将通过例子并参照附图的方式说明，其中
图I是一种真空室用大功率交流高压绝缘接入装置的剖视图。图2是工件小车上的电极刚与高压触头接触示意图。图3是工件小车上的电极与高压触头形成可靠连接示意图。图中标记1为高压触头，2为锁紧螺母，3为隔套，4为弹簧，5为滑套，9为电极套管，10为绝缘套1,11为拉杆，12为绝缘套2,14为防护罩，15为电极座，16为电源接入口，17为电压导出端，171为第一级防护结构，172为第二级防护结构，173为第三级防护结构，18为弹性缓冲防撞结构。
具体实施例方式本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥 的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。如图1，一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，包括真空室外大气侧的电源接入口 16和真空室内侧的电压导出端17，电源接入口外设有防护罩14，电压导出端17的端口设有高压触头1，整个装置通过电极座15固定在真空室壳体上，其特征在于，所述的电压导出端17为3级绝缘防护结构，所述的高压触头I底部设有弹性缓冲防撞结构18。第一级防护结构171和第二级防护结构172主体为电极套管9 ;所述的第一级防护结构171穿过真空室壳体，在第一级防护结构171与电源接入口 16的连接处设有绝缘套
212,拉杆11从绝缘套2 12中穿过；所述的第二级防护结构172内设有绝缘套I 10,所述的绝缘套10包裹住拉杆11。第三级防护结构173主体为隔套3，隔套3的材质为聚四氟乙烯。所述的隔套3内还设有滑套5，所述的滑套5内有可以容纳高压触头I的空间。第三级防护结构173尾端置于第二级防护结构172内。所述的弹性缓冲防撞结构18为在滑套5的空间内设置弹簧4，高压触头I的尾端置于滑套5的空间内并抵在弹簧4上，滑套5的头端设有锁紧螺母2。所述的高压触头I的头端超出隔套3的前端。如图2，装有工件的小车推入真空室，小车上的电极刚与高压触头I接触的状态，高压电源在真空状态下电极完全碰撞对接可靠之后才接通。如图3，装有工件的小车上的电极将高压触头压进滑套5的空腔中，电极与高压触头之间形成了可靠电连接，接通电源即可实现了高压电源向真空室的引入，高压触头I经过弹簧的缓冲作用，不容易损坏。本发明并不局限于前述的具体实施方式
。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。
权利要求
1.一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，包括真空室外大气侧的电源接入口(16)和真空室内侧的电压导出端(17)，电源接入口(16)外设有防护罩(14)，电压导出端(17)的端口设有高压触头(1)，整个装置通过电极座(15)固定在真空室壳体上，其特征在于，所述的电压导出端(17)为多级绝缘防护结构，所述的高压触头(I)底部设有弹性缓冲防撞结构(18)。
2.根据权利要求I所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，所述的多级防护结构分为3级防护结构。
3.根据权利要求2所述的一种真空室用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，第一级防护结构(171)和第二级防护结构(172)主体为电极套管(9);所述的第一级防护结构(171)穿过真空室壳体，在第一级防护结构(171)与电源接入口( 16)的连接处设有绝缘套2 (12)，拉杆(11)从绝缘套2 (12)中穿过；所述的第二级防护结构(172)内设有绝缘套I(10),所述的绝缘套(10)包裹住拉杆(11)。
4.根据权利要求2所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，第三级防护结构(173)主体为隔套(3)，所述的隔套(3)内还设有滑套(5)，所述的滑套(5)内有可以容纳高压触头(I)的空间。
5.根据权利要求2所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，第三级防护结构(173)尾端置于第二级防护结构(172)内。
6.根据权利要求I所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，所述的弹性缓冲防撞结构(18)为在滑套(5)的空间内设置弹簧(4)，高压触头(I)的尾端置于滑套(5 )的空间内并抵在弹簧(4 )上，滑套(5 )的头端设有锁紧螺母(2 )。
7.根据权利要求6所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，所述的高压触头(I)的头端超出隔套(3)的前端。
8.据权利要求4所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，其特征在于，所述的隔套(3)的材质为聚四氟乙烯。
全文摘要
本发明公开了一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端，电源接入口外设有防护罩，电压导出端的端口设有高压触头，整个装置通过电极座固定在真空室壳体上，其特征在于，所述的电压导出端为3级绝缘防护结构，所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。本方案的电压导出端为3级绝缘防护结构，隔套的材质为聚四氟乙烯，且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构，该方案绝缘性能好，结构简单，且不易破损。完全满足工艺需要，有力减少了设备故障率，提高工艺可靠性和稳定性。
文档编号C23C14/56GK102828160SQ20121032394
公开日2012年12月19日 申请日期2012年9月5日 优先权日2012年9月5日
发明者范多旺, 范多进, 刘吉林, 杨树本, 令晓明, 李德文 申请人:常州大成绿色镀膜科技有限公司, 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司, 兰州大成科技股份有限公司