专利名称：带真空释放导流机构的真空镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜机，尤其涉及该设备中真空释放装置。
背景技术：
现有技术真空镀膜机真空室真空释放装置基本工作原理，树脂镜片真空镀膜机真空释放系统包括吸气LV阀，连接真空室管道，以及连接管道的吸气消声过滤装置。树脂镜片镀膜设备在镜片镀膜过程中，首先通过扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+plycold进行排气，把真空室内的气体、水汽分子排出，达到真空室真空度符合树脂镜片镀膜的加工条件。树脂镜片镀膜在真空室真空度达到3. 0E-5T0RR以下的条件镀膜，才 能达到符合要求的树脂镜片膜系。当镀膜工程结束后，镀膜设备按设定程序，真空室内会自动充气进行真空释放。当树脂镜片完成镀膜时MV高压阀自动关闭，LV阀自动打开，空气经消声过滤器流入真空室，对真空室进行真空释放。由此可见因真空室与外界大气压力不同，真空释放时LV管道在吸气过程中真空室内会产生短暂的气流冲击，管道出口无任何的缓解装置，从而使DOM上镜片受气流冲击出现吹飞镜片现象。使镜片散落在MV高真空阀内和真空室内。每罩加工180片中有5-10片树脂镜片因气流冲击而散落，或卡在MV高真空阀盖上，致使在下加工过程中，因MV高真空阀关闭不严，低真空排气时间延长，影响镀膜工作效率和膜色的不良。
实用新型内容本实用新型需要解决的技术问题是提供了一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，旨在解决上述的问题。为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的本实用新型包括带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一 LV阀；还包括一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是使DOM上镜片不易吹落；同时也保证了真空镀膜机在规定时间内达到所需的真空度，保证生产设备的稳定性。
图I是本实用新型结构示意图。图2是图I中真空释放导流机构示意图。
具体实施方式
以下结合附图与具体实施方式
对本实用新型作进一步详细描述[0012]由图I、图2可见本实用新型包括带MV高压阀I的真空室2以及与真空室2相连的管道3 ;所述管道3的一端连接一消声过滤器4 ;在所述管道3的中间安置一 LV阀5 ;还包括一真空释放导流机构6 ;所述的真空释放机构6安置在管道3另一端的前端；所述的真空释放导流机构6形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔61。所述梅花形小孔61的孔径为8mm。由于有真空释放导流机构，有效的缓解了真空室真空释放的气流冲击，分散缓减对其DOM上镜片的冲击。
权利要求1.一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一 LV阀；其特征在于还包括一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔。
2.根据权利要求I所述的带真空释放导流机构的真空镀膜机，其特征在于所述梅花形小孔的孔径为8mm。
专利摘要本实用新型涉及一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一LV阀；还包括一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔；本实用新型的有益效果是使DOM上镜片不易吹落；同时也保证了真空镀膜机在规定时间内达到所需的真空度，保证生产设备的稳定性。
文档编号C23C14/22GK202643823SQ201220265608
公开日2013年1月2日 申请日期2012年6月6日 优先权日2012年6月6日
发明者吴国庆 申请人:比真光学(上海)有限公司