磁控溅射圆柱靶的靶芯结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，它是真空镀膜技术中磁控溅射镀圆柱靶的核心部分，它在靶管内部，在芯铁上面安装有多条长条形强磁钢，两个端部装有两条弱磁钢，芯铁外面有封闭的不锈钢罩隔水装置，防止磁钢浸在水里，这样可以延长磁钢的使用寿命，节约磁钢，解决了磁控溅射圆柱靶的靶材两端溅射后出现凹槽的缺陷，使靶材的利用率提高一倍。它解决了磁控溅射圆柱靶使用中磁钢使用寿命短，靶材利用率低的两个技术难题。
【专利说明】磁控溅射圆柱靶的靶芯结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜装置的阴极靶心结构，尤其是一种应用于太阳集热真空管镀膜和建筑玻璃镀膜生产线以及装饰材料镀膜等领域的磁控溅射圆柱靶的靶芯结构。
【背景技术】
[0002]目前，在太阳集热管镀膜和建筑玻璃镀膜及装饰材料镀膜过程中，采用最先进镀膜工艺就是真空磁控溅射的方法，使用的设备是磁控溅射圆柱靶镀膜机，其使用的靶材主要是铝、紫铜、不锈钢、钛、银、镍等，靶芯上的磁钢是强磁钢，为钕铁硼材料，磁钢采用直接水冷方式。这样的结构带来以下两种缺点:第一磁钢浸在水里冷却，使磁钢容易被腐蚀粉碎，使用寿命缩短；第二最主要是在靶管溅射放电时，靶管两端出现半圆弧放电，靶管两端造成很深的凹槽，缩短了靶材的使用寿命，靶材利用率约为35%，靶材利用率低。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，它具有提高靶材利用率，延长磁钢使用寿命，降低运行成本。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案:
[0005]磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管以及其内设的靶芯，所述靶芯包括芯铁、至少三条长条形强磁钢以及配重，所述芯铁上设置有至少三条长条形沟槽，所述长条形沟槽的上面安装有强磁场均匀的长条形强磁钢，所述长条形强磁钢的两端各安装有弱磁钢，所述弱磁钢的磁场强度为位于中间安装的长条形强磁钢的磁场强度的30%至60%，所述芯铁的外面设置有只用来密封长条形强磁钢和弱磁钢的不锈钢罩装置，该装置是由不锈钢薄板偎成盒子，罩在长条形强磁钢和弱磁钢上，不锈钢盒子与芯铁之间通过橡胶板密封，并使用螺钉压紧固定，所述长条形强磁钢、弱磁钢和配重的外面罩有热缩管，并通过热缩管将靶芯、长条形强磁钢、弱磁钢以及配重的完全密封住.[0006]本实用新型的有益效果是，
[0007]I)、通过在芯铁上面的至少三条长条形强磁钢的两端安装弱磁铁，通过上述的设置进行靶溅射放电，在靶管两端由原来半圆弧形放电变成V型放电，溅射后的凹槽深度减小80%，解决了靶管溅射后，两端出现较深的两个凹槽的难题，提高了靶材利用率，把靶管材利用率由35%提高到70%，节省了靶管材料，靶管的使用寿命提高一倍。
[0008]2)、本结构中的芯铁的外面设置有只用来密封长条形强磁钢和弱磁钢的不锈钢罩装置，该装置是由不锈钢薄板偎成盒子，罩在长条形强磁钢和弱磁钢上，不锈钢盒子与芯铁之间通过橡胶板密封，并使用螺钉压紧固定，避免在水冷过程中长条形强磁钢和弱磁钢直接与水接触，而由于水中的有害离子腐蚀对长条形强磁钢和弱磁钢的损坏，进而将长条形强磁钢和弱磁钢的寿命由6个月提高至24个月，提高长条形强磁钢和弱磁钢的使用寿命，减少上述磁钢维修更换次数，即消除了水冷过程中，水对长条形强磁钢和弱磁钢的腐蚀现象。
[0009]3)、长条形强磁钢、弱磁钢和配重的外面罩有热缩管，并通过热缩管将靶芯、长条形强磁钢、弱磁钢以及配重的完全密封住。
[0010]4)、不锈钢罩封闭和热缩管封闭是两种保护磁钢不受水损害的设置，两种方设置均可实现对磁钢寿命的延长。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型结构示意图；
[0012]图2是不锈钢盒子封闭磁钢装置结构图；
[0013]图3是热缩管封闭磁钢装置结构图；
[0014]其中1.圆柱靶管，2.芯铁，3.不锈钢罩，4.弱磁钢，5.热缩管。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0016]结合图1所示，磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管I以及其内设的靶芯，靶芯包括芯铁2、至少三条长条形强磁钢以及配重，芯铁2上设置有至少三条长条形沟槽，长条形沟槽的上面安装有强磁场均匀的长条形强磁钢。
[0017]结合图2所示，长条形强磁钢的两端各安装有弱磁钢4，进一步的，弱磁钢4的磁场强度为位于中间安装的长条形强磁钢的磁场强度的30%至60%，芯铁2的外面设置有只用来密封长条形强磁钢和弱磁钢4的不锈钢罩3装置，该装置是由不锈钢薄板偎成盒子，罩在长条形强磁钢和弱磁钢4上，不锈钢盒子与芯铁2之间通过橡胶板密封，并使用螺钉压紧固定。
[0018]结合图3所示，长条形强磁钢、弱磁钢4和配重的外面罩有热缩管5，并通过热缩管5将靶芯、长条形强磁钢、弱磁钢4以及配重的完全密封住上述虽然结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。
【权利要求】
1.磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管以及其内设的靶芯，所述靶芯包括芯铁、至少三条长条形强磁钢以及配重，其特征在于，所述芯铁上设置有至少三条长条形沟槽，所述长条形沟槽的上面安装有强磁场均匀的长条形强磁钢，所述长条形强磁钢的两端各安装有弱磁钢，所述弱磁钢的磁场强度为位于中间安装的长条形强磁钢的磁场强度的30%至60%，所述芯铁的外面设置有只用来密封长条形强磁钢和弱磁钢的不锈钢罩装置，该装置是由不锈钢薄板偎成盒子，罩在长条形强磁钢和弱磁钢上，不锈钢盒子与芯铁之间通过橡胶板密封，并使用螺钉压紧固定，所述长条形强磁钢、弱磁钢和配重的外面罩有热缩管，并通过热缩管将靶芯、长条形强磁钢、弱磁钢以及配重的完全密封住。
【文档编号】C23C14/35GK203807550SQ201420236523
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年5月9日 优先权日:2014年5月9日
【发明者】万光辉, 梁君, 平杰 申请人:山东亿家能太阳能有限公司