技术总结
本发明公开了一种振动辅助抛光模块，包含一抛光盘、一工件承载盘、一线性滑轨机构、一连杆、一马达及一可调式偏心机构。线性滑轨机构包括一滑轨、一导引座与一导引杆，滑轨枢接于工件承载盘且嵌设于导引座内，导引杆设置于导引座上；连杆枢接于滑轨；可调式偏心机构具有一座体连接于马达的动力轴，座体与连杆以一枢接轴相接，枢接轴与动力轴的轴心偏心设置；由动力轴驱动座体旋转且带动连杆偏心摆动，同时通过导引座对滑轨的限位作用，使滑轨作线性移动，并驱动工件承载盘产生水平径向振幅及低频振动，且同时使得工件与抛光盘的接触面产生低频振动。
技术研发人员：丁嘉仁;林宗信;周大鑫;蓝春发
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
文档号码：201510856570
技术研发日：2015.11.30
技术公布日：2017.05.10