技术总结
本发明涉及一种用于为CVD或PVD装置产生蒸气的方法和设备，设有第一导热体(1)，所述第一导热体(1)具有用于将蒸发热量传导在通过第一输入管路(5)进料到第一导热体(1)内的第一原材料的液态或固态颗粒上的导热面，其中，通过所述颗粒的蒸发而产生的蒸气能够被运载气体沿运载气体的流动方向从第一导热体(1)转移到第二导热体(2)中，所述第二导热体(2)沿运载气体的流动方向布置在第一导热体(1)的后面，其中，第一导热体(1)能够被加热到第一温度，并且第二导热体(2)能够被加热到第二温度。设有第二输入管路(6)，第二输入管路(6)直接通入到第二导热体(2)内或之前，第二原材料的液态或固态颗粒通过第二输入管路能够进料到第二导热体(2)内，从而能够将蒸发热量传导在所述颗粒上，并且通过所述颗粒的蒸发而产生的第二蒸气能够与第一蒸气一起被运载气体从第二导热体(2)输送出。
技术研发人员：M.朗
受保护的技术使用者：艾克斯特朗欧洲公司
文档号码：201580035075
技术研发日：2015.06.16
技术公布日：2017.05.10