一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法与流程

文档序号:12148408阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供的一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,包括了制片、安装摆放垫与打孔、配制金刚石研磨液、加入金刚石研磨液、研磨与回收研磨液等步骤,步骤简单,制备方便,采用聚氨酯垫配合金刚石研磨液的加工方法,利用聚氨酯研磨垫硬度较低,表面有许多小孔,在研磨的过程中金刚石颗粒可以镶嵌在表面,有效的减少金刚石颗粒对晶片表面的磨损,有效的提高加工效率,提升晶片外观质量,大大降低了成本并且可回收利用。

技术研发人员:胡孔林;王晨宇
受保护的技术使用者:江苏吉星新材料有限公司
文档号码:201610844838
技术研发日:2016.09.23
技术公布日:2017.03.01

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