技术总结
本发明公开了一种平坦化加工装置、单面及双面平坦化加工系统，平坦化加工装置包括：多个用于形成多点自旋转阵列磁极的永磁铁，永磁铁同向或异向端面平齐排布，永磁铁通过磁极安装端盖设置于磁极安装盘内，永磁铁对应设于转轴的第一端，磁极安装盘上设有抛光盘，转轴的第二端连接用于驱动永磁铁同步转动的磁极同步转动电机及传动系统；设于抛光盘上的阵列正电极和阵列负电极，阵列正电极、阵列负电极与磁极安装盘三者相互绝缘设置，阵列正电极与阵列负电极连接低频高压方波交变电源；设于抛光盘中的混合有磨料的电磁流变液，电磁流变液在动态磁场与低频高压方波交变电场的耦合作用下形成抛光垫。此装置提高了工件表面的平坦化加工的质量与效率。
技术研发人员：阎秋生;潘继生
受保护的技术使用者：广东工业大学
文档号码：201610917180
技术研发日：2016.10.20
技术公布日：2017.01.11