一种抛光液在线调配内供给抛光机床的制作方法

文档序号:11498302阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床,属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接,抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接,Z向进给机构与机床支架固定连接,Z向进给机构与A轴摆动机构相连,A轴摆动机构与抛光头工具系统相连,机X向进给机构与床底座固定连接,X向进给机构上方与Y向进给机构相连,Y向进给机构上方与C轴转台相连。本发明对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力,推进光学曲面精密制造理论创新,加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展,具有重要学术价值和较大的社会经济效益。

技术研发人员:杨旭;张富;张冰;赵继;刘畅;刘思明;勾鹏巍
受保护的技术使用者:吉林大学
技术研发日:2016.11.16
技术公布日:2017.08.18
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