1.一种APF薄膜沉积设备，其特征在于包括：供气钢瓶、冷凝管以及气体板；其中，供气钢瓶中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体。
2.根据权利要求1所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，所述冷凝管是双套管。
3.根据权利要求2所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，双套管的外管通冷凝剂。
4.根据权利要求2所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，双套管的内管流通气体。
5.根据权利要求1或2所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，气体板包括：用于通入乙炔气体的依次连接的第一上游气阀、第一质量流量控制器和第一下游气阀，用于通入第一惰性气体的依次连接的第二上游气阀、第二质量流量控制器和第二下游气阀，用于通入第二惰性气体的依次连接的第三上游气阀、第三质量流量控制器和第三下游气阀。
6.根据权利要求5所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，第一惰性气体是He气。
7.根据权利要求5所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，第二惰性气体是Ar气。
8.根据权利要求5所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，气体板还包括：与第一下游气阀和第二下游气阀连接的第一出口阀门、以及与第三下游气阀连接的第二出口阀门，第一出口阀门和第二出口阀门经由过滤器连接至腔室。
9.一种APF薄膜沉积通气方法，其特征在于包括：利用包含乙炔和丙酮的供气钢瓶经由冷凝管向气体板供气，其中冷凝管过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽，使得经由冷凝管进入气体板的气体的乙炔纯度相对于供气钢瓶更高。