技术总结
本发明提供了一种APF薄膜沉积设备以及APF薄膜沉积通气方法。本发明的APF薄膜沉积设备包括：供气钢瓶、冷凝管以及气体板；其中，供气钢瓶中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体。在本发明中，利用包含乙炔和丙酮的供气钢瓶经由冷凝管向气体板供气，其中冷凝管过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽，使得经由冷凝管进入气体板的气体的乙炔纯度相对于供气钢瓶更高。
技术研发人员：许隽;李锦山;龚荟卓
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
文档号码：201611016727
技术研发日：2016.11.18
技术公布日：2017.05.31