一种进气管安装结构的制作方法

本实用新型涉及炉管设备技术领域，尤其涉及一种进气管安装结构。

背景技术：

炉管设备制程气体进气管（gas nozzle ）一般都采用石英制成，进气端固定在法兰（flange）上，并通过带密封圈的螺纹接口与金属气管相连。

一般炉管设备所使用的进气管都比较长，在安装的时候很难保证其垂直度，而进气管一旦稍有倾斜，就可能与晶舟发生摩擦，从而影响产品，这是本领域技术人员所不期望见到的。

技术实现要素：

针对上述存在的问题，本实用新型公开一种进气管安装结构，应用于设置有金属气管的炉管设备中，所述安装结构包括：

管道夹具（Nozzle Jig），与所述金属气管连接；

进气管，所述进气管为直管，且所述进气管可拆卸地固定在所述管道夹具上。

上述的进气管安装结构，其中，所述管道夹具包括L型结构管路，所述L型结构管路的水平部分与所述金属气管连接，所述L型结构管路的竖直部分的外围设置有外壳，所述外壳上设置有定位凹槽。

上述的进气管安装结构，其中，所述进气管的下端设置有与所述定位凹槽尺寸相适配的定位孔。

上述的进气管安装结构，其中，所述安装结构还包括与所述定位凹槽和所述定位孔相适配的定位销（lock pin）；

所述进气管通过所述定位销可拆卸地固定在所述管道夹具上。

上述的进气管安装结构，其中，所述安装结构还包括与所述定位销相适配的锁紧装置；

所述锁紧装置用以锁紧所述定位销。

上述的进气管安装结构，其中，所述锁紧装置为C型环（C-ring）。

上述的进气管安装结构，其中，所述进气管的材质为石英。

上述的进气管安装结构，其中，所述管道夹具的材质为金属。

上述的进气管安装结构，其中，所述炉管设备为ALD （Atomic Layer Deposition，原子层沉积）类型的炉管设备。

上述的进气管安装结构，其中，所述炉管设备还包括法兰；所述管道夹具固定设置于所述法兰上。

上述实用新型具有如下优点或者有益效果：

本实用新型公开了一种进气管安装结构，应用于设置有金属气管的炉管设备中，通过设置与金属气管连接的管道夹具代替原来的进气管的L 型进气口，并设置进气管为直管，从而在安装时可以直接将进气管插入管道夹具中，并用定位销与C型环固定，从而降低了安装难度，且在安装时进气管不会与晶舟产生摩擦，进而提高了产品的良率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1是本实用新型实施例中进气管安装结构的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中进气管安装结构应用于炉管设备中的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的说明，但是不作为本实用新型的限定。

如图1和图2所示，本实施例涉及一种进气管安装结构，可应用于设置有金属气管的炉管设备中，该安装结构包括：与金属气管连接的管道夹具2和可拆卸地固定在管道夹具2上的进气管1，且该进气管1为直管；具体的，该管道夹具2包括L型结构管路，L型结构管路的水平部分与金属气管连接，L型结构管路的竖直部分的外围设置有外壳21，外壳21上设置有定位凹槽22，进气管1的下端设置有与定位凹槽22尺寸相适配的定位孔11。该安装结构还包括与定位凹槽22和定位孔11相适配的定位销3，进气管1通过该定位销3可拆卸地固定在管道夹具2上。

在本实用新型一个优选的实施例中，上述安装结构还包括与定位销3相适配的锁紧装置4；该锁紧装置4用以锁紧定位销3，进一步的，该锁紧装置4为C型环。

在本实用新型一个优选的实施例中，上述进气管1的材质为石英。

在本实用新型一个优选的实施例中，上述管道夹具2的材质为金属。

在本实用新型一个优选的实施例中，上述炉管设备为ALD 类型的炉管设备。

在本实用新型一个优选的实施例中，炉管设备还包括法兰；且该管道夹具2固定设置于法兰上。

本安装结构在第一次安装时，只要保证管道夹具2的垂直度，就能保证后面进气管1的安装没有问题。进气管1与管道夹具2的固定是通过一个定位销3卡住位于进气管1末端的凹槽，然后再锁紧C型环以完成安装。再做PM时或其他需要更换进气管1的操作时，只需要拆除C型环与定位销3就可轻松更换进气管1，且不用考虑进气管1安装的垂直度问题。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本实用新型的实质内容，在此不予赘述。

以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。