一种进气管安装结构的制作方法

文档序号:12179721阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种进气管安装结构,其特征在于,应用于设置有金属气管的炉管设备中,所述安装结构包括:

管道夹具,与所述金属气管连接;

进气管,所述进气管为直管,且所述进气管可拆卸地固定在所述管道夹具上。

2.如权利要求1所述的进气管安装结构,其特征在于,所述管道夹具包括L型结构管路,所述L型结构管路的水平部分与所述金属气管连接,所述L型结构管路的竖直部分的外围设置有外壳,所述外壳上设置有定位凹槽。

3.如权利要求2所述的进气管安装结构,其特征在于,所述进气管的下端设置有与所述定位凹槽尺寸相适配的定位孔。

4.如权利要求3所述的进气管安装结构,其特征在于,所述安装结构还包括与所述定位凹槽和所述定位孔相适配的定位销;

所述进气管通过所述定位销可拆卸地固定在所述管道夹具上。

5.如权利要求4所述的进气管安装结构,其特征在于,所述安装结构还包括与所述定位销相适配的锁紧装置;

所述锁紧装置用以锁紧所述定位销。

6.如权利要求5所述的进气管安装结构,其特征在于,所述锁紧装置为C型环。

7.如权利要求1所述的进气管安装结构,其特征在于,所述进气管的材质为石英。

8.如权利要求1所述的进气管安装结构,其特征在于,所述管道夹具的材质为金属。

9.如权利要求1所述的进气管安装结构,其特征在于,所述炉管设备为ALD 类型的炉管设备。

10.如权利要求1所述的进气管安装结构,其特征在于,所述炉管设备还包括法兰;

所述管道夹具固定设置于所述法兰上。

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