一种辅助氮气循环利用的液体氮化炉用装置的制作方法

文档序号:11901186阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种辅助氮气循环利用的液体氮化炉用装置,包括杂质气体回收装置(8)、液体氮化炉主体(11)和吸附膜层(19),其特征在于:所述液体氮化炉主体(11)的下方设置有防护层(12),所述液体氮化炉主体(11)的上方安装有液体氮化炉炉盖(5),所述液体氮化炉炉盖(5)的左侧安装有驱动块(4),所述液体氮化炉炉盖(5)的上方安装有控制器(6),所述控制器(6)的右侧安装有温度检测控制仪(7),所述液体氮化炉炉盖(5)的右侧安装有杂质气体回收装置(8),所述杂质气体回收装置(8)的下方设置有气体浓度探头(9),所述液体氮化炉主体(11)的左侧安装有循环装置(17),所述循环装置(17)的上方设置有第一流量控制阀(1)和第二流量控制阀(2),所述循环装置(17)的下方设置有杂质气体收集口(14),所述杂质气体回收装置(8)的内部设置有防吸附膜层(19),所述防吸附膜层(19)的左侧安装有过滤器(18),所述防吸附膜层(19)的下方安装有出气管(21),所述出气管(21)的表面设置有分类区丝(20),所述过滤器(18)的输入端与控制器(6)的输出端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种辅助氮气循环利用的液体氮化炉用装置,其特征在于:所述气体浓度探头(9)的右侧安装有气体种类传感器(10),所述气体种类传感器(10)的输入端与控制器(6)的输出端电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种辅助氮气循环利用的液体氮化炉用装置,其特征在于:所述液体氮化炉主体(11)的左侧设置有干燥过滤网(3)。

4.根据权利要求1所述的一种辅助氮气循环利用的液体氮化炉用装置,其特征在于:所述循环装置(17)通过氮气循环收集管(16)与回流管(15)相连,所述回流管(15)的表面设置有电子控制阀(13)。

5.根据权利要求1所述的一种辅助氮气循环利用的液体氮化炉用装置,其特征在于:所述出气管(21)的右侧安装有密封用法兰(22)。

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