靶材喷砂装置的制作方法

本实用新型属于表面处理技术领域，尤其涉及一种靶材喷砂装置。

背景技术：

荷能粒子（例如氩粒子）轰击固体表面，引起表面各种粒子，如原子、分子或团束从该固体表面逸出的现象称溅射工艺，其中被轰击的固体称为靶材。目前，溅射工艺常应用在薄膜沉积生产领域，例如，在TFT-LCD面板制作过程中，其中一道工序使在玻璃基板上沉积一层钼薄膜，则需要使用钼靶材对玻璃基板进行溅射。

在溅射工艺中，靶材组件作为阴极，首先应具有优良的导电性，同时为了排放高荷能态离子高速轰击靶材表面产生的热量，靶材组件也要具有优良的导热性，因此，靶材13需要采用焊合材料铟固定连接背板14（如图1所示），以避免溅射靶在工作中的脱落、开裂等问题。为了保证靶材和背板的焊合率，需要靶材背面（非溅射面）进行粗化处理，以便更好附着焊合材料铟，但在焊接工艺中，靶材和背板四周边缘容易溢出焊接材料铟，需要对焊接材料进行清除，同时还需要增大清除区域和靶材四周的粗糙度，在溅射工艺中使粗化后的此区域更够更好的粘住沉积到此的靶材材料，减小其溢出的概率。靶材背面和四周的粗化以及焊接材料铟的清除都需要喷砂处理来完成，所述的喷砂处理就是利用高速的砂流的冲击作用来清理和粗化固体表面；目前喷砂过程处理主要是人工操作，人工操作具有粉尘污染，工作量大等不足。

申请号201420814979.1公开一种用于靶材基体粗糙度制造的喷砂装置，该喷砂装置包括喷枪及储沙罐，储沙罐具有喷砂出口，而喷枪位于靶材基体喷涂箱体内并固定在滑块上，而滑块与靶材基体喷涂箱体内壁上端的滑轨配合，形成喷枪的滑动喷涂结构，喷枪与喷砂出口之间通过喷砂管连通。该结构的不足之处在于：喷枪为一只，无法实现对靶材的全面喷砂，所以需要增加滑动结构和旋转结构进行配合使用，但是由于砂粒在下落过程中会进入旋转结构内造成机械磨损，导致该结构的故障率较高。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种靶材喷砂装置，使靶材位于一封闭空间内，能够一次对靶材喷砂完成，喷完后砂粒自动分离，防止污染空气。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

靶材喷砂装置，包括壳体、设置在壳体内的辊道、铰接在壳体上端的密封盖和固定连接在壳体下端的回收罐，所述回收罐下端连通设置回收管，所述回收管下端连通设置吸尘器，所述壳体四周贯穿设置多个喷砂管，所述喷砂管伸出壳体的一端连接有送风机构和储砂罐。

进一步的，所述壳体为长方体结构或圆形结构，所述回收罐为锥形结构。

进一步的，所述送风机构为空气压缩机，所述送风机构、喷砂管和储砂罐之间通过多通管相连通，所述储砂罐位于所述喷砂管的上方。

进一步的，所述喷砂管为柱状结构且其内壁设置内螺纹。

进一步的，所述喷砂管伸入所述壳体内的一端设置收紧口。

进一步的，所述收紧口为锥形或扇形。

本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型包括壳体、设置在壳体内的辊道、铰接在壳体上端的密封盖和固定连接在壳体下端的回收罐，回收罐下端连通设置回收管，回收管下端连通设置吸尘器，壳体四周贯穿设置多个喷砂管，喷砂管伸出壳体的一端连接有送风机构和储砂罐。本实用新型在使用时，把焊接后的靶材和背板放在辊道上，盖上密封盖进行密封后，开启四周的喷砂管，砂粒随着压缩空气从喷砂管喷出，对靶材和背板的四周边缘位置进行喷砂处理，砂粒落入回收罐中，进而通过吸尘器抽走，待四周边缘位置粗化完成后，关闭喷砂管即可。本结构在壳体内仅设置辊道，从壳体四周对靶材进行喷砂，有效避免壳体内机构的机械磨损，具有结构简单、使用寿命长的优点。

2.壳体为长方体结构或圆形结构，回收罐为锥形结构，本结构设计不仅有利于对标准件进行喷砂，而且有利于砂粒快速滑落至回收罐内，提高喷砂效率。

3.送风机构为空气压缩机，送风机构、喷砂管和储砂罐之间通过三通管相连通，储砂罐位于喷砂管的上方。

4.喷砂管为柱状结构且其内壁设置内螺纹，本结构设计可使砂粒在空气的带动下产生旋转前进，增加砂粒喷出的强度，进而提高喷砂效率。

5.喷砂管伸入壳体内的一端设置收紧口，收紧口可以为锥形或者扇形且与喷砂管之间为可拆卸式连接，本结构设计可以提高砂粒的喷出速度提高喷砂效率，而且通过可拆卸式连接便于快速更换收紧口。

附图说明

图1为现有技术中靶材和背板的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一喷砂管的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一辊道的结构示意图；

图5为本实用新型实施例二喷砂管的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述。

实施例一

如图2至图4所示，本实用新型包括壳体1、水平固定连接在壳体1内的辊道2、铰接在壳体1上端的密封盖3和固定连接在壳体1下端的回收罐4，壳体1为长方体结构，回收罐4为锥形结构且其下端连通安装两个回收管5，回收管5下端连通安装吸尘器6，壳体1四周贯穿安装多个喷砂管7，喷砂管7为柱状结构且其内壁设置内螺纹8，每个喷砂管7均设置阀门9（图中只示出左右两侧的阀门），喷砂管7伸入壳体1内的一端螺纹连接收紧口12，收紧口12为锥形，喷砂管7伸出壳体1的一端连接有送风机构10和储砂罐11（图中只示出右侧的送风机构和储砂罐），送风机构10为空气压缩机，送风机构10、喷砂管7和储砂罐11之间通过多通管相连通，即在风和砂粒混合后的输出位置通过多个软管15连接在喷砂管7上使高速砂粒在单独的软管内前进，储砂罐11位于多个喷砂管7的上方。需指出的是，送风机构10和储砂罐可以配套使用四个，对四个不同端面的喷砂管7进行单独供砂。

实施例二

本实施例与实施例一的结构基本相同，不同的是：如图5所示，喷砂管7伸入壳体1内的一端螺纹连接收紧口12，收紧口12为扇形，本结构设计可以提高砂粒的喷出速度提高喷砂效率，而且通过可拆卸式连接便于快速更换收紧口12。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。