喷砂机及喷砂生产线的制作方法

本实用新型涉及半导体加工设备领域，更具体地说，涉及一种喷砂机，还涉及一种喷砂生产线。

背景技术：

喷砂机主要应用于电子制造业半导体大功率可控硅芯片加工用的一种专用设备。喷砂机是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到被需处理硅片表面，使硅片表面的外表面的机械性能发生变化的一种机器。其工作原理是以压缩空气为动力，通过气流的高速运动在喷枪内形成的负压，将磨料通过输砂管吸入喷枪并经喷嘴喷出，喷射到被加工表面，达到预期的加工目的。

目前现有的喷砂机的喷嘴仅一个，经过喷嘴喷出的磨料流量少，一次仅能够对一个硅片进行加工，其生产效率较低，且产品质量难以保证。

综上所述，如何有效地解决喷砂机生产效率低、产品质量难以保证的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的第一个目的在于提供一种喷砂机，以解决喷砂机生产效率低、产品质量难以保证的问题。本实用新型的第二个目的是提供一种包括喷砂机的生产线。

为了达到上述第一个目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种喷砂机，包括机架和设置于所述机架上的喷砂室，所述喷砂室内设置有用于带动工件旋转的传动装置，所述机架上设置有喷嘴，所述喷嘴的个数至少为两个，至少两个所述喷嘴的喷射方向不同。

优选地，在上述喷砂机中，所述传动装置的个数为多个。

优选地，在上述喷砂机中，所述传动装置具体为联轴器。

优选地，在上述喷砂机中，各个所述喷嘴的喷射方向可调。

优选地，在上述喷砂机中，还包括与所述喷砂室连接的砂箱振动装置，所述砂箱振动装置包括调压过滤器。

本实用新型提供的喷砂机包括机架和喷砂室，喷砂室设置于机架上。其中，喷砂室内设置有用于带动工件旋转的传动装置，机架上设置有喷嘴，喷嘴的个数至少为两个，至少两个所述喷嘴的喷射方向不同。

应用本实用新型提供的喷砂机时，将工件放置在模座上，传动装置带动工件进行旋转，机架上的喷嘴的个数至少为两个，至少两个喷嘴的喷射方向不同。在作业时，可根据工件的位置调整好喷嘴的磨削角度，一个喷嘴磨削硅片边缘，另一个喷嘴磨削硅片根部，使每批次硅片喷磨角度一致，有效地保证了产品质量，至少两个喷嘴同时喷磨，缩短单片的喷磨时间，提高生产效率，提高产品质量。

为了达到上述第二个目的，本实用新型还提供了一种喷砂机的生产线，该生产线包括上述任一种喷砂机，由于上述的喷砂机具有上述技术效果，具有该喷砂机的喷砂生产线也应具有相应的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的喷砂机的主视结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的喷砂机的侧视结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的喷砂机的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的喷砂机的喷砂振动装置的结构示意图。

附图中标记如下：

调节装置1、机架2、喷砂室3、传动装置4、砂箱振动装置5。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种喷砂机，以解决喷砂机生产效率低、产品质量难以保证的问题。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，图1为本实用新型实施例提供的喷砂机的主视结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的喷砂机的侧视结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的喷砂机的俯视结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的喷砂机的喷砂振动装置的结构示意图。

在一种具体的实施方式中，喷砂机包括机架2和喷砂室3。其中，喷砂室3设置于机架2上，喷砂室3内设置有用于带动硅片旋转的传动装置4，机架2上可设置有调节装置1，调节装置1上设置有喷嘴，用于喷出磨料，喷嘴的个数至少为两个，至少两个所述喷嘴的喷射方向不同。应用本实用新型提供的喷砂机时，将工件放置在传动装置4的模座中并固定，启动电源，传动装置4带动工件进行旋转，通过电动杆控制调节装置1移动到与工件相适应的位置，调节装置1上的喷嘴对工件进行喷磨，喷嘴的个数至少为两个，如在设置时可优选为两个，分别调整好两个喷嘴的磨削角度，一个喷嘴磨削工件边缘，另一个喷嘴磨削工件根部，使每批次产品喷磨角度是一致的，有效地保证了产品质量，在其他实施例中，也可以设置三个喷嘴，其中至少两个喷嘴的喷射方向不同，如可以两个喷嘴喷射工件的边缘，一个喷嘴喷射工件的根部，以保证对硅片进行多角度全方位的研磨，至少两个喷嘴同时研磨，缩短单片的喷磨时间，提高工作效率和生产质量。

具体的，传动装置4的个数为多个。为了更好地提高工作效率，传动装置4的个数可以为多个，在一种实施例中，可具体为四个。一次磨削四个硅片，相应的调节装置1也为四个，传动装置4和调节装置1配合使用，使得一次磨削 的工件增多，提高工作效率，在其他实施例中，也可以更具喷砂机的尺寸、动力装置的功率自行进行设置传动装置4的个数。

更进一步地，传动装置4具体为联轴器。联轴器用来连接不同机构中的两根轴使之共同选择以传递扭矩的机械零件，分别与主动轴和从动轴连接。采用电机、联轴器的直接传动方式，降低运行噪音。在其他实施例中，也可以选择其他类型的传动装置4，如链传动或齿轮传动等，均在本实用新型的保护范围内。

在上述各实施例的基础上，各个喷嘴的喷射方向可调。一般的，可根据实际的工件的待加工角度对喷嘴的喷射方向进行预先设置，然后再与机架连接，通过设置后对工件完成喷磨工艺。在其他实施例中，也可以设置控制装置对各个喷嘴的喷射方向进行远程控制，根据加工过程中工件的喷磨情况改变喷嘴的喷射方向进而完成对工件的喷磨，具体的，可根据实际的生成需要自行进行选择。

具体的，还包括与喷砂室3连接的砂箱振动装置5，砂箱振动装置5包括调压过滤器。通过增加混合砂箱，气体进入砂箱筒后，使砂箱筒内的研磨粉剂进入混合砂箱，使高压气流与研磨粉剂有机混合，调压过滤器由电磁阀进行控制。振动器对砂箱实施高频振动，同时控制研磨粉的流量，使混合砂箱产生高压研磨喷流均匀、有力的对工件实施有效的磨削。

一般的，干洁的气体经过气源三联体后，经电磁阀控制的砂箱经喷嘴喷出，完成对工件的磨削。

具体的工作过程为：接入220V交流电源，电源指示灯亮；设定喷砂时间，按动灯开关，工作室灯亮；选择开关置手动模式，将待加工工件装入模座内，按“向前”按钮，电动杆向前移动到位，调节切削距离和切削角度；按“启动”按钮，电机带动硅片旋转，根据硅片大小调整电机转速到指定转速；将时间继电器设定为工件所需加工的时间；调试完成，将选择开关置自动模式，按“启动”按钮，自动完成喷砂，打开喷砂室3门，更换四个工件，关闭喷砂室3门，自动完成4个工件喷砂。该装置降低工人的劳动强度，工作时噪声小、无飞尘，符合工业环境卫生要求，由于采用了电器调节喷磨距离及角度和定位磨片，工件喷磨均匀，一致性好，一批工件喷磨角度是一致的，有效地保证了产品质量，提高工作效率。

基于上述实施例中提供的喷砂机，本实用新型还提供了一种喷砂生产线，该喷砂生产线包括上述实施例中任意一种喷砂机。由于该喷砂生产线采用了上述实施例中的喷砂机，所以该喷砂生产线的有益效果请参考上述实施例。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。