技术特征：
技术总结
本发明涉及一种PVD涂层生产制造过程中的等离子刻蚀清洗工艺，该工艺主要采用惰性和非惰性气体不同组合混合作为反应气体，产生的等离子体可同时达到物理离子清洗和化学离子清洗的作用，既可以去除工件表面吸附的氧化物、油脂、微颗粒物等残留，还可以去除工件表面的金属性氧化物，活化工件表面能，生产效率较高，最终可提高PVD涂层与工件基体的结合力，同时使得涂层更加均匀，改善PVD涂层的各项性能，增加工件使用寿命，适宜进一步推广应用。
技术研发人员：王信德;潘修河
受保护的技术使用者：江苏苏德涂层有限公司
技术研发日：2017.03.31
技术公布日：2018.10.16