一种真空烧结炉用抽真空系统的制作方法

文档序号:14457978阅读:来源:国知局
一种真空烧结炉用抽真空系统的制作方法

技术特征:

1.一种真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,包括主抽管道、预抽管道和前级管道,所述主抽管道一端与真空烧结炉连通,所述主抽管道的另一端连接设有主抽泵,所述主抽管道上设有主抽阀,所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通,所述预抽管道的另一端连接设有预抽泵,所述预抽管道上设有预抽阀,所述前级管道的两端分别与所述主抽泵和所述预抽管道连接,所述前级管道上设有前级阀,所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端,所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。

2.如权利要求1所述的真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,所述手动缓抽阀设有手动调节开度开关,以控制所述预抽管道的气体流量。

3.如权利要求1所述的真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,所述气动缓抽阀设有电气启闭开关,以控制所述缓抽管道的启闭。

4.如权利要求1所述的真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,所述前级管道的一端通过金属波纹管与位于所述预抽泵和所述预抽阀之间的所述预抽管道连通。

5.如权利要求1所述的真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,所述前级管道的侧壁通过固定件与所述主抽管道的侧壁连接。

6.如权利要求1所述的真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,还包括机械泵组,所述机械泵组分别与所述前级管道和预抽管道连接。

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