一种真空烧结炉用抽真空系统的制作方法

本实用新型涉及真空烧结炉抽真空技术领域，特别是涉及一种真空烧结炉用抽真空系统。

背景技术：

真空烧结炉是用于各种材料在真空环境下烧结的真空炉，是工件粉末、粉末压坯在适当温度下受热，借助于原子迁移实现颗粒间的联结。真空烧结的目的是使多孔的粉末压坯，形成具有一定的结构和性能的合金。因为用户的工件一般以金属粉末的形式通过工装安放在真空炉内，而且有些金属材料如金属铌、碳化钽的放气量比较大，且真空炉内的隔热屏等也有部分气体释放，所以为了能达用户所要求的真空度，设备要配置大抽速的真空泵，但是在真空泵开始抽真空工作时，会导致部分工件粉末扬起，抽到泵里，污染主抽泵，降低泵的性能。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种真空烧结炉用抽真空系统，以解决现有抽真空系统工作时容易污染主抽泵的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供真空烧结炉用抽真空系统，包括主抽管道、预抽管道和前级管道，所述主抽管道一端与真空烧结炉连通，所述主抽管道的另一端连接设有主抽泵，所述主抽管道上设有主抽阀，所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通，所述预抽管道的另一端连接设有预抽泵，所述预抽管道上设有预抽阀，所述前级管道的两端分别与所述主抽泵和所述预抽管道连接，所述前级管道上设有前级阀，所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端，所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。

其中，所述手动缓抽阀设有手动调节开度开关，以控制所述预抽管道的气体流量。

其中，所述气动缓抽阀设有电气启闭开关，以控制所述缓抽管道的启闭。

其中，所述前级管道的一端通过金属波纹管与位于所述预抽泵和所述预抽阀之间的所述预抽管道连通。

其中，所述前级管道的侧壁通过固定件与所述主抽管道的侧壁连接。

其中，还包括机械泵组，所述机械泵组分别与所述前级管道和所述预抽管道连接。

(三)有益效果

本实用新型提供的一种真空烧结炉用抽真空系统，通过缓抽管道上的气动缓抽阀和手动缓抽阀实现对真空烧结炉内的气体进行小抽速的缓抽，有效防止工件粉末扬起而污染主抽泵，提高主抽泵的性能；同时，平衡预抽管道和主抽管道之间的压力差，维持工艺分压时所需的真空度，结构简单，保证了烧结炉内的真空度，提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例缓抽管道的结构示意图。

图中，1：预抽泵；2：预抽阀；3：预抽管道；4：主抽阀；5：主抽管道；6：前级管道；7：主抽泵；8：缓抽管道；9：气动缓抽阀；10：手动缓抽阀；11：机械泵组；12：前级阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种真空烧结炉用抽真空系统，包括主抽管道5、预抽管道3和前级管道6，所述主抽管道5一端与真空烧结炉连通，所述主抽管道5的另一端连接设有主抽泵7，所述主抽管道5上设有主抽阀4，所述预抽管道3的一端与所述主抽管道5的一侧连通，所述预抽管道3的另一端连接设有预抽泵1，所述预抽管道3上设有预抽阀2，所述前级管道6的两端分别与所述主抽泵7和所述预抽管道3连接，所述前级管道6上设有前级阀12，所述预抽阀2两侧的所述预抽管道3上分别连接缓抽管道8的两端，所述缓抽管道8上设有气动缓抽阀9和手动缓抽阀10。

进一步的，手动缓抽阀10设有手动调节开度开关，以控制预抽管道3的气体流量；气动缓抽阀9设有电气启闭开关，以控制缓抽管道8的启闭。

其中，缓抽管道8上设置气动缓抽阀9和手动缓抽阀10，实现了对真空烧结炉内的气体进行小抽速的缓抽，有效防止工件粉末扬起而污染主抽泵7，提高主抽泵7的性能；同时，平衡预抽阀2和主抽阀7之间的压力差，维持工艺分压时所需的真空度，

进一步的，前级管道6的一端通过金属波纹管与位于预抽泵1和预抽阀2之间的预抽管道3连通，保证连接处的密封性能的前提下，方便前级管道6的拆装。

其中，前级管道6的侧壁通过固定件与主抽管道5的侧壁连接，加强前级管道6的固定。

进一步的，还包括机械泵组11，机械泵组11分别与前级管道6和预抽管道3连接，以提供抽真空动力。

本实施例的操作流程如下：

首先，根据实际工艺情况调整手动缓抽的开度至最佳，再打开预抽泵和手动缓抽阀，对烧结炉进行小抽速的缓抽，防止烧结炉内的工件粉末扬起，平衡预抽管道和主抽管道之间的压力差，等工件及烧结炉内大部分气体分子抽完，关闭前级泵和气动缓抽阀，打开主抽泵、预抽阀、前级阀和主抽阀，对烧结炉进行大速抽真空，完成烧结炉抽真空作业。

当生产工艺需要分压时，打开气动缓抽阀，维持所需真空度。

本实用新型提供的一种真空烧结炉用抽真空系统，通过缓抽管道上的气动缓抽阀和手动缓抽阀实现对真空烧结炉内的气体进行小抽速的缓抽，有效防止工件粉末扬起而污染主抽泵，提高主抽泵的性能；同时，平衡预抽管道和主抽管道之间的压力差，维持工艺分压时所需的真空度，结构简单，保证了烧结炉内的真空度，提高生产效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。