技术总结
本实用新型涉及真空烧结炉抽真空技术领域，公开了一种真空烧结炉用抽真空系统，包括主抽管道、预抽管道和前级管道，所述主抽管道上设有主抽阀，所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通，所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端，所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。通过缓抽管道上的气动缓抽阀和手动缓抽阀实现对真空烧结炉内的气体进行小抽速的缓抽，有效防止工件粉末扬起而污染主抽泵，提高主抽泵的性能；同时，平衡预抽管道和主抽管道之间的压力差，维持工艺分压时所需的真空度，结构简单，保证了烧结炉内的真空度，提高生产效率。
技术研发人员：王辉;苗志岭
受保护的技术使用者：北京北方华创真空技术有限公司
文档号码：201721445808
技术研发日：2017.11.02
技术公布日：2018.05.18