一种自动化真空滤光片电镀膜机的制作方法

文档序号:14780428发布日期:2018-06-26 22:18阅读:349来源:国知局

本实用新型涉及一种滤光片镀膜机,特别涉及一种自动化真空滤光片电镀膜机。



背景技术:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,蒸发镀膜一般是加热靶材,使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。

传统的滤光片镀膜机不能自动化作业,也大多数采用蒸汽镀膜比较薄,同时花费时间较大,不能节约成本,工序复杂,若完全镀膜成功则消耗大量材料和时间,滤光片镀膜机镀膜的性质、均匀度不是很好,而且镀膜速度慢很多。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种自动化真空滤光片电镀膜机。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型一种自动化真空滤光片电镀膜机,包括真空筒,所述真空筒的一侧设置有抽气泵,所述真空筒的底部设置有转盘,所述转盘的表面设置有第一转换载物台,所述第一转换载物台的一侧设置有第二转换载物台,所述第二转换载物台的一侧设置有第三转换载物台,所述第三转换载物台的一侧设置有第四转换载物台,所述第四转换载物台的一侧设置有第五转换载物台,所述第五转换载物台的一侧设置有第六转换载物台,所述真空筒的内部设置有电镀台,所述电镀台的顶部设置有电镀装置,所述电镀装置的顶部设置有电镀线路,所述电镀线路的一侧设置有升降皮带,所述升降皮带的顶端设置有电动机,所述电动机的一侧设置有控制中心。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述电镀线路的顶部设置有电镀传感器,所述电镀线路的底部设置有电压板,所述电压板底部设置有纵向电压杆,所述纵向电压杆的一侧设置有横向电压杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一转换载物台的顶部设置有绝缘垫,所述第一转换载物台底部设置有伸缩台。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述电动机、电镀传感器、抽气泵、伸缩台和转盘分别与控制中心电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述电压板、纵向电压杆和横向电压杆由超导材料制作而成。

本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型通过设置的转盘和伸缩台还有电镀装置,能够一次将六分滤光片进行镀膜,实现自动化作业,同时采用电镀,镀膜的性质、均匀度很好,而且镀膜速度快,节约了滤光片镀膜时间,整个装置设计合理,使用方便,从而有效的提高了工作效率和实用性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图2是本实用新型的局部结构示意图之一;

图3是本实用新型的局部结构示意图之二;

图4是本实用新型的局部结构示意图之三;

图5是本实用新型的模块图;

图中:1、真空筒;2、抽气泵;3、转盘;4、第一转换载物台;5、电镀台;6、电镀装置;7、电镀线路;8、升降皮带;9、电动机;10、控制中心;11、第二转换载物台;12、第三转换载物台;13、第四转换载物台;14、第五转换载物台;15、第六转换载物台;16、绝缘垫;17、伸缩台;18、电镀传感器;19、电压板;20、纵向电压杆;21、横向电压杆。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1-5所示,本实用新型提供一种,包括真空筒1,真空筒1的一侧设置有抽气泵2,真空筒1的底部设置有转盘3,转盘3的表面设置有第一转换载物台4,第一转换载物台4的一侧设置有第二转换载物台11,第二转换载物台11的一侧设置有第三转换载物台12,第三转换载物台12的一侧设置有第四转换载物台13,第四转换载物台13的一侧设置有第五转换载物台14,第五转换载物台14的一侧设置有第六转换载物台15,真空筒1的内部设置有电镀台5,电镀台5的顶部设置有电镀装置6,电镀装置6的顶部设置有电镀线路7,电镀线路7的一侧设置有升降皮带8,升降皮带8的顶端设置有电动机9,电动机9的一侧设置有控制中心10。

电镀线路7的顶部设置有电镀传感器18,电镀线路7的底部设置有电压板19,电压板19底部设置有纵向电压杆20,纵向电压杆20的一侧设置有横向电压杆21。设置电镀装置便于控制,同时安全可靠。

第一转换载物台4的顶部设置有绝缘垫16,第一转换载物台4底部设置有伸缩台17。便于转换,节约时间成本。

电动机9、电镀传感器18、抽气泵2、伸缩台17和转盘3分别与控制中心10电性连接。便于操作,可同时控制。

电压板、纵向电压杆和横向电压杆由超导材料制作而成。导电快速,便于镀膜。

具体的,工作时,滤光片同时固定在第一载物台4、第二转换载物台11、第三转换载物台12、第四转换载物台13、第五转换载物台14和第六转换载物台15,通过控制中心10启动抽气泵2将真空筒1抽成真空,然后启动电动机9通过升降皮带8将电镀装置下降到接近第一载物台4进行电镀,电镀完成后伸缩台17自由伸缩,转盘3旋转到第二转换载物台11。

本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型通过设置的转盘和伸缩台还有电镀装置,能够一次将六分滤光片进行镀膜,实现自动化作业,同时采用电镀,镀膜的性质、均匀度很好,而且镀膜速度快,节约了滤光片镀膜时间,整个装置设计合理,使用方便,从而有效的提高了工作效率和实用性。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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