一种高精度金属掩膜板及其制造方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种高精度金属掩膜板及其制造方法。

背景技术：

amoled目前较为成熟的制备工艺是有机真空蒸镀工艺，有机真空蒸镀工艺中较为重要的一项工艺是fmm工艺。利用金属掩膜板进行蒸镀区域定义，制作有机膜层。fmm工艺较为重要的一点是掩膜条和遮挡条需紧密贴合，以防止有机蒸汽从缝隙内渗入，造成混色。

目前fm在掩膜板的制造过程中掩膜条和遮挡条均是通过先拉伸张紧后，然后在安装框架上进行焊接，以其本身较高的平行度使掩膜条和遮挡板紧密贴合。一般情况下，在制造高精金属掩膜板时先进行遮挡条的焊接，然后在遮挡条的上方焊接支撑条，最后在支撑条的上方焊接掩膜条，以此保证fmm焊接后整体的平整度。由于支撑条与掩膜条自身刚性不足，在使用过程中支撑条以及掩膜条容易形成塌陷，若支撑条或掩膜条张紧度或平整度异常，则二者贴合处会出现缝隙，有机蒸汽会从缝隙处散逸出来，造成混色异常，导致产品良率下降，生产成本明显增加。

技术实现要素：

为此，需要提供一种高精度金属掩膜板及其制造方法，来解决现有技术中掩膜板的支撑条以及掩膜条连接处容易形成塌陷，二者贴合处容易出现缝隙，有机蒸汽会从缝隙处散逸出来，造成混色异常，导致产品良率下降，生产成本高的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种高精度金属掩膜板，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；

所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；

所述遮挡条设置于支撑条上，所述支撑条用于支撑遮挡条，所述遮挡条包括遮挡部和连接部，所述遮挡部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部的槽口朝上设置，所述连接部焊接于安装框架上；

所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。

作为本发明的一种优选结构，所述安装框架与遮挡条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述遮挡条的连接部由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。

作为本发明的一种优选结构，所述安装框架与支撑条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述支撑条的两端分别由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。

作为本发明的一种优选结构，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3，且d3＝d2。

作为本发明的一种优选结构，所述掩膜条、遮挡条以及支撑条与安装框架之间通过激光焊接固定。

进一步的，发明人还提供了一种高精度金属掩膜板的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：

提供一形成有蒸镀区的安装框架；

在安装框架上焊接支撑条；

在支撑条上设置遮挡条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d1的遮挡部槽口朝上，并通过遮挡部两端的连接部与安装框架焊接；

在遮挡条上设置掩膜条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d2掩膜部槽口朝下，且d2＞d1，并通过遮挡部两端的焊接部与安装框架焊接，将掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，使得掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接；

其中，所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条。

进一步的，所述“在支撑条上设置遮挡条”步骤之前还包括：

沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d1，并沿弯折线裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成遮挡条。

进一步的，所述“在遮挡条上设置掩膜条”之前还包括：

沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d2，并沿弯折线裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成掩膜条。

进一步的，“在安装框架上焊接支撑条”具体是：将支撑条的两端由下向上穿过卡环，并向外拉伸支撑条的两端使其张紧后焊接于安装框架上；

或，

“并通过遮挡部两端连接部与安装框架焊接”具体是：将遮挡条的两端的连接部由下向上穿过卡环，并向外拉伸连接部使其张紧后焊接于安装框架上。

进一步的，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3与掩膜部的槽深d2相同。

区别于现有技术，上述技术方案具有如下优点：本发明一种高精度金属掩膜板，所述的遮挡条包括遮挡部和连接部，并将遮挡部设置成“凵”形槽体结构，通过连接部与安装框架焊接固定，所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，并将掩膜部设置成“凵”形槽体结构，通过焊接部与安装框架焊接固定，通过对遮挡条以及掩膜条结构的改变，改善了遮挡条与掩膜条自身的刚性，降低了二者安装后塌陷的风险，此外，将掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，并保证掩膜部的槽深大于遮挡部的槽深，将遮挡板与掩膜条设置成以上扣接结构，二者的能够紧密贴合，既使掩膜条、遮挡条或者支撑条出现塌陷，掩膜条会跟随遮挡条下陷，二者的贴合处也不会出现缝隙，提高了产品良率，降低了生产成本。

附图说明

图1为本发明一种高精度金属掩膜板一实施例的斜视结构示意图；

图2为本发明一种高精度金属掩膜板的安装框架一实施例斜视示意图；

图3为本发明一种高精度金属掩膜板的安装框架一实施例部分剖视示意图；

图4为本发明一种高精度金属掩膜板的遮挡条一实施例斜视示意图；

图5为本发明一种高精度金属掩膜板的遮挡条制造过程示意图；

图6为本发明一种高精度金属掩膜板的掩膜条一实施例斜视示意图；

图7为本发明一种高精度金属掩膜板的掩膜条制造过程示意图；

图8为本发明一种高精度金属掩膜板一实施例的支撑条与安装框架的配合示意图；

图9为本发明一种高精度金属掩膜板一实施例的支撑条、安装框架以及遮挡条的配合示意图；

图10为本发明一种高精度金属掩膜板遮挡条与掩膜条配合示意图；

图11为本发明一种高精度金属掩膜板的制造方法的流程图。

附图标记说明：

100、安装框架；

200、掩膜条；210、掩膜部；220、焊接部；

300、遮挡条；310、遮挡部；320、连接部；

400、支撑条；

500、卡环；

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅1至图9，本发明提供了一种高精度金属掩膜板，所述掩膜板用于oled真空蒸镀制程中，蒸镀材料经过高温汽化后透过掩膜板的上的蒸镀孔沉积到背板玻璃上，最终形成有机薄膜，用于实现oled发光。具体的，所述掩膜板包括安装框架100、掩膜条200、遮挡条300和支撑条400；

如图8所示，所述支撑条400垂直于掩膜条200和遮挡条300设置，支撑条400的两端焊接在所述安装框架100上；

如图4和图9所示，所述遮挡条300设置于支撑条400上，所述支撑条400用于支撑遮挡条300，所述遮挡条300包括遮挡部310和连接部320，所述遮挡部310呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部310的槽口朝上设置，所述连接部320焊接于安装框架100上；

如图1和图6所示，所述掩膜条200包括掩膜部210和焊接部220，所述掩膜部210呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部210的槽口朝下设置，掩膜部210接跨设于相邻两遮挡条300的遮挡部310上，且掩膜部210的两侧壁分别与相邻遮挡部310两对应侧壁扣接，所述焊接部220用于安装框架100焊接固定。

所述的安装框架100作为掩膜板的主体承载机构，用于安装所述掩膜条200、遮挡条300以及支撑条400，在实际使用中其设置于蒸镀源的上方，蒸镀源内的有机材料受热蒸发穿过掩膜条200上的蒸镀孔，从蒸镀孔逸出的蒸镀材料沉积到背板玻璃上形成有机薄膜。掩膜板上一般包括1条，多条掩膜条200，多条掩膜条200相互拼接组成掩膜板的图形。遮挡条300设置于掩膜条200的相互拼接处，遮挡条300平行于掩膜条200设置，用来起遮挡作用，避免在蒸镀时蒸镀材料自拼接处渗透；支撑条400在本实施例中用于支撑遮挡条300，再通过遮挡条300对掩膜条200进行支撑，其作用在于：第一，避免掩膜条200下垂导致产生蒸镀孔变形；第二，防止遮挡条300下陷导致其与掩膜条200贴合处产生出现缝隙，从而出现面板混色不均的问题。本发明旨在保护支撑条、遮挡条以及掩膜条相互配合的卡合连接结构，图1中所示的实施例中掩膜板只设有一条掩膜条结构组成掩膜板，其并不对本发明的保护范围进行限制，在实际生产中掩膜条设置的数量需要根据掩膜板的尺寸进行适当选择。

请参阅图1、图4、图6和图10，在本实施例中，所述的遮挡条300包括遮挡部310和连接部320，所述遮挡部310呈“凵”形槽体结构，并通过连接部320与安装框架100焊接，所述掩膜条200包括掩膜部210和焊接部220，所述掩膜部210呈“凵”形槽体结构，并通过焊接部220与安装框架100焊接，将遮挡条300与掩膜条200设置成以上结构，改善了遮挡条300与掩膜条200自身的刚性，降低了二者安装后塌陷的风险。同时，所述遮挡条300中“凵”形槽体结构的遮挡部310槽口向上设置，所述掩膜条200中“凵”形槽体结构的掩膜部210槽口向下设置成“冂”字形结构，并且掩膜部210接跨设于相邻两遮挡条300的遮挡部310上，且掩膜部210的两侧壁分别与相邻遮挡部310两对应侧壁扣接，将遮挡板与掩膜条200设置成以上扣接结构，二者的能够紧密贴合，并保证掩膜部210的槽深d2大于遮挡部310的槽深d1，这样既使掩膜条200、遮挡条300或者支撑条400出现塌陷，掩膜条200会跟随遮挡条300下陷，二者的贴合处也不会出现缝隙，提高了产品良率，降低了生产成本。

请参阅图2和图8，作为本发明的一种优选实施例，所述安装框架100与遮挡条300焊接的内框侧壁上设置有卡环500，多个卡环500在相对的侧壁上对应设置，所述遮挡条300的连接部320由下向上穿过卡环500并焊接于安装框架100的上表面上。所述卡环500的设置更加方便遮挡条300的对位设置，先在安装框架100的内框的相对的侧壁上设置对应的卡环500，能够保证遮挡条300定位焊接的准确性，并且在遮挡条300安装时，使得遮挡条300左右两侧的连接部320由部由下向上穿过卡环500后焊接于安装框架100上表面上，卡环500同样可以起到限位作用，防止掩膜板在使用过程中出现移位的情况，从而影响面板的蒸镀效果。

请参阅图2和图9，作为本发明的一种优选实施例，所述安装框架100与支撑条400焊接的内框侧壁上设置有卡环500，多个卡环500在相对的侧壁上对应设置，所述支撑条400的两端分别由下向上穿过卡环500并焊接于安装框架100的上表面上。所述卡环500的设置更加方便支撑条400的对位设置，先在安装框架100的内框的相对的侧壁上设置对应的卡环500，能够保证支撑条400定位焊接的准确性，并且在支撑条400安装时，使得支撑条400的两端由下向上穿过卡环500后焊接于安装框架100上表面上，卡环500以及焊接处的限位作用下，防止支撑条400在使用过程中不易发生移位或者下陷的情况，保证了面板的蒸镀效果。此外，在安装框架100的内框上设置卡环500，在组装时比较方便控制遮挡条300垂直设置在支撑条400的上方。

如图1至图3所示的实施例中，所述卡环500下缘到安装框架100上表面的距离d3，且d3＝d2。在本实施例中，使得述卡环500下缘到安装框架100上表面的距离d3与掩膜条200中掩膜部210的槽深d2相同，这样在掩膜条200焊接在安装框架100上时，掩膜条200能够与安装框架100基本保持在同一水平高度上，从而保证掩膜条200的平整度，进行掩膜板的蒸镀效果。

进一步的实施例中，请参阅图1和图11，发明人还提供了一种高精度金属掩膜板的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：

s100，提供一形成有蒸镀区的安装框架；所述安装框架为中空结构，中空区域作为蒸镀区。

s200，在安装框架上焊接支撑条；

s300，在支撑条上设置遮挡条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d1的遮挡部槽口朝上，并通过遮挡部两端的连接部与安装框架焊接；

s400，在遮挡条上设置掩膜条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d2掩膜部槽口朝下，且d2＞d1，并通过遮挡部两端的焊接部与安装框架焊接，将掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，使得掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接；

其中，所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条。

在上述的金属掩膜板制造方法中，在安装框架上从下到上依次焊接支撑条、遮挡条和掩膜条，支撑条垂直于遮挡条和掩膜条设置，所述遮挡条中“凵”形槽体结构的遮挡部槽口向上设置，所述掩膜条中“凵”形槽体结构的掩膜部槽口向下，并且掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，将遮挡板与掩膜条设置成以上扣接结构，二者的能够紧密贴合，并保证掩膜部的槽深d2大于遮挡部的槽深d1，这样既使掩膜条、遮挡条或者支撑条出现塌陷，掩膜条会跟随遮挡条下陷，二者的贴合处也不会出现缝隙，提高了产品良率，降低了生产成本。在本制造方法中，需要掩膜条与遮挡条形成上下的扣接结构，因此需要将原来位于遮挡条与掩膜条中间的支撑条，焊接在最下方以起到支撑作用。

进一步的，所述“在支撑条上设置遮挡条”步骤之前还包括：

如图5所示，沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d1，并沿弯折线(图中所示虚线)裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成遮挡条。遮挡条采用该制造方法简单、快速，矩形金属条两侧的弯折宽度为d1，其所形成的“凵”形槽体的槽深即可d1。如图7所示，优选的，所述“在遮挡条上设置掩膜条”之前还包括：沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d2，并沿弯折线(图中所示虚线)裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成掩膜条。优选的，用于制造遮挡条以及掩膜条的矩形金属条两侧的弯折角度可以为89°，这样遮挡部与掩膜部扣接更加方便、顺畅。

请参阅图2、图8和图9，，进一步的实施例中，“在安装框架上焊接支撑条”具体是：将支撑条的两端由下向上穿过卡环，并向外拉伸支撑条的两端使其张紧后焊接于安装框架上；“并通过遮挡部两端连接部与安装框架焊接”具体是：将遮挡条的两端的连接部由下向上穿过卡环，并向外拉伸连接部使其张紧后焊接于安装框架上。采用上述制造方法，现在安装框架上设置卡环，有利于支撑条以及遮挡条的定位，同时支撑条以及遮挡条的两端先穿过卡环，再向外拉紧后固定在安装框架上，焊接效率更高。同时在卡环的限位作用下，还能够防止遮挡条的遮挡部出现变形。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本发明的专利保护范围。因此，基于本发明的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明专利的保护范围之内。