一种滤光片镀膜装置的制作方法

本实用新型属于滤光片生产领域，具体涉及一种滤光片镀膜装置。

背景技术：

镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻 璃的光学性能，满足某种特定要求，

滤光片的镀膜是滤光片生产过程中的关键工艺，在进行滤光片镀膜的过程中，需 要首先将镀膜机真空室内通过吸尘装置进行清理，然后将待镀膜滤光片放置在镀膜机内，随后进行抽真空，当真空室内的真空度达到规定要求时再进行镀膜操作。现有的镀膜机没有专门的除尘装置，除尘操作不方便，同时，当除尘不彻底时，镀膜机内残存的金属颗粒容易堵塞真空泵。而且现有的镀膜机一次只能对一块滤光片进行镀膜，效率较低。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种滤光片镀膜装置，提高镀膜效率，方便对镀膜机的真空室进行除尘，防止真空泵堵塞。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种滤光片镀膜装置，包括镀膜机，镀膜机内设有至少一个极靶，所述极靶下方设有托盘，托盘底部设有转轴，转轴通过步进电机驱动，托盘上方设有与转轴同心的夹具盘，夹具盘上侧沿圆周设有若干放置槽，其中一个放置槽位于极靶的正下方，镀膜机设有进气管以及排气管，排气管通过管道依次与除尘箱装置和吸风机连接，除尘装置通过支管与真空泵连接，进气管上设有阀门。

优选的方案中，所述除尘装置包括除尘箱，除尘箱内设有水平设置的转动轴，转动轴上沿长度方向设有若干层竖直滤网，竖直滤网下端设置在除尘箱内的水中，转动轴通过设置在除尘箱外侧的电机驱动，除尘箱与管道的连接端设置在水面以上，除尘箱上侧设有加水口，下侧设有排水口，加水口上设有盖板，排水口上设有阀门。

优选的方案中，所述进气管与竖直设置的过滤筒连通，过滤筒内设有水平滤网，过滤筒的下方设有排尘口，排尘口上设有封盖，过滤筒的进气口设置在水平滤网下方。

优选的方案中，所述托盘上侧设有安装轴，夹具盘上设有与安装轴配合的安装孔，安装轴与安装孔通过键连接。

优选的方案中，所述夹具盘的外侧设有支撑环，支撑环与夹具盘通过连接杆连接，夹具盘外侧设有与放置槽连通的通孔，顶紧杆一端设置在通孔内，另一端穿过支撑环上的滑动孔，顶紧杆上设有顶紧块，顶紧块设置在支撑环和夹具盘之间，顶紧杆上套有弹簧，弹簧设置在支撑环和顶紧块之间。

进一步的方案中，所述顶紧杆远离夹具盘的一端设有手柄。

本实用新型提供的一种滤光片镀膜装置，通过步进电机带动转轴转动，依次将放置槽转动至极靶下方，使靶材上的材料溅镀在滤光片上，可对数片滤光片同时进行镀膜，有效提高镀膜的效率，缩短镀膜的时间，提高生产效率。同时，开启吸风机将镀膜机内的空气输送至除尘装置内进行除尘，方便对镀膜机的除尘，同时，真空泵对镀膜机进行抽真空时，空气经过除尘装置后再进入真空泵，防止颗粒堵塞真空泵，提高装置使用寿命。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的夹具盘的结构示意图。

图中：镀膜机1，极靶2，托盘3，转轴4，步进电机5，夹具盘6，放置槽7，进气管8，排气管9，管道10，除尘箱11，吸风机12，支管13，真空泵14，转动轴15，竖直滤网16，电机17，过滤筒18，水平滤网19，排尘口20，进气口21，安装轴22，安装孔23，支撑环24，连接杆25，通孔26，顶紧杆27，滑动孔28，顶紧块29，弹簧30，手柄31。

具体实施方式

如图1~2所示，一种滤光片镀膜装置，包括镀膜机1，镀膜机1内设有至少一个极靶2，所述极靶2下方设有托盘3，托盘3底部设有转轴4，转轴4通过步进电机5驱动，步进电机5通过电机支架安装在镀膜机1底部，托盘3上方设有与转轴4同心的夹具盘6，夹具盘6上侧沿圆周设有若干放置槽7，其中一个放置槽7位于极靶2的正下方，镀膜机1设有进气管8以及排气管9，排气管9通过管道10依次与除尘装置和吸风机12连接，除尘箱11通过支管13与真空泵14连接，进气管8上设有阀门。

通过步进电机5带动转轴4转动，依次将放置槽7转动至极靶2下方，使靶材上的材料溅镀在滤光片上，可对数片滤光片同时进行镀膜，有效提高镀膜的效率，缩短镀膜的时间，提高生产效率。同时，开启吸风机12将镀膜机1内的空气输送至除尘装置内进行除尘，方便对镀膜机1的除尘，同时，真空泵14对镀膜机1进行抽真空时，空气经过除尘装置后再进入真空泵14，防止颗粒堵塞真空泵14，提高装置使用寿命。

优选的，所述除尘装置包括除尘箱11，除尘箱11内设有水平设置的转动轴15，转动轴15上沿长度方向设有若干层竖直滤网16，竖直滤网16下端设置在除尘箱11内的水中，转动轴15通过设置在除尘箱11外侧的电机17驱动，除尘箱11与管道10的连接端设置在水面以上，除尘箱11上侧设有加水口32，下侧设有排水口33，加水口32上设有盖板，排水口33上设有阀门。

转动轴15在电机17的驱动下带动竖直滤网16转动，竖直滤网16位于液面以上的部分网孔内形成水膜，空气进入除尘箱11内经过竖直滤网16，一方面竖直滤网16对空气进行滤尘，另一方面竖直滤网16上的水膜对灰尘进行粘附，而且在竖直滤网16转动的过程中，除尘箱11内的水对竖直滤网16进行清洗，保证除尘效果。

所述进气管8与竖直设置的过滤筒18连通，过滤筒18内设有水平滤网19，过滤筒18的下方设有排尘口20，排尘口20上设有封盖，过滤筒18的进气口21设置在水平滤网19下方。

当打开进气管8上的阀门进行进气时，设置的过滤筒18对进入的空气进行过滤，减少空气中的灰尘进入镀膜机1内，降低镀膜机1的除尘压力。

所述托盘3上侧设有安装轴22，夹具盘6上设有与安装轴22配合的安装孔23，安装轴22与安装孔23通过键连接。夹具盘6与托盘3实现可拆卸连接，方便将夹具盘6取出，从而装夹滤光片更加方便。

优选的，如图2所示，所述夹具盘6的外侧设有支撑环24，支撑环24与夹具盘6通过连接杆25连接，夹具盘6外侧设有与放置槽7连通的通孔26，顶紧杆27一端设置在通孔26内，另一端穿过支撑环24上的滑动孔28，顶紧杆27上设有顶紧块29，顶紧块29设置在支撑环24和夹具盘6之间，顶紧杆27上套有弹簧30，弹簧30设置在支撑环24和顶紧块29之间。

放置槽7根据滤光片的形状进行设置为矩形或圆形。

所述顶紧杆27远离夹具盘6的一端设有手柄31。

具体使用时，拉动顶紧杆27，将滤光片放置在放置槽7中，松开顶紧杆27，在弹簧30的作用下，顶紧杆27将滤光片固定在放置槽7中，从而实现对滤光片的固定，防止托盘3在转动的过程中滤光片位置发生移动。

本实用新型的具体使用过程如下：镀膜之前首先对镀膜机1进行除尘，打开进气管8上的阀门，开启吸风机12将镀膜机1中的空气吸入除尘箱11中进行除尘，此时镀膜机1内空气保持流动，完成除尘后，关闭进气管8上的阀门；将滤光片装夹在夹具盘6上后，将夹具盘6安装在托盘3上；开启真空泵14进行抽真空，空气经过除尘箱11除尘后进入真空泵14；完成抽真空后开启镀膜机1以及步进电机5进行镀膜，步进电机5带动托盘3依次将滤光片转至极靶2下方完成镀膜。

上述的实施例仅为本实用新型的优选技术方案，而不应视为对于本实用新型的限制，本实用新型的保护范围应以权利要求记载的技术方案，包括权利要求记载的技术方案中技术特征的等同替换方案为保护范围。即在此范围内的等同替换改进，也在本实用新型的保护范围之内。