一种外置式的晶棒自动夹持机构的制作方法

文档序号:17968342发布日期:2019-06-21 23:01阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及晶棒外圆滚磨领域,旨在提供一种外置式的晶棒自动夹持机构。该机构包括包括机械手组件、机械手安装座、自动复位装置与驱动组件。机械手安装座前侧设有机械手安装框架,机械手组件设于机械手安装框架前侧,驱动组件设于机械手安装框架内,用于驱动机械手组件,自动复位装置设于机械手安装框架顶端,用于实现机械手组件的自动复位。本产品实现了在设备外部自动夹持晶棒的功能,使用本实用新型能够实现晶棒的自动上、下料及自动对中。有效的减少了人工操作,同时保证了装夹精度,从而可有效控制加工余量,减少晶棒损耗,提高加工效率。通过各类机械传动结构相连并与电机驱动,结构稳定,动作简单,夹持快速可靠。

技术研发人员:凃瑾;曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王思宇;高红刚;聂魁宏;周锋;刘文涛
受保护的技术使用者:浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日:2018.09.21
技术公布日:2019.06.21

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